ISO 14644-3:2019(EN)

前言

       ISO（国际标准化组织）是各国标准机构（ISO成员机构）的全球性联合会。制定国际标准的工作通常通过ISO技术委员会进行。每个对已成立技术委员会的主题感兴趣的成员机构都有权在该委员会中派代表。与ISO联络的政府和非政府国际组织也参与这项工作。ISO与国际电工委员会（IEC）在所有电工标准化事务上密切合作。

       ISO/IEC 指令第 1 部分描述了制定本文档所用的程序以及其进一步维护的程序。特别要注意不同类型的 ISO 文档所需的不同批准标准。本文档是根据 ISO/IEC 指令第 2 部分的编辑规则起草的（请参阅 www.iso.org/directives）。

       请注意，本文档的某些元素可能涉及专利权。ISO 不负责识别任何或所有此类专利权。在文档开发过程中识别的任何专利权的详细信息将在简介中和/或 ISO 收到的专利声明列表中列出（请参阅 www.iso.org/patents）。

      本文件中使用的任何商品名称仅为方便用户而提供的信息，并不构成认可。

有关标准的自愿性质、与合格评定有关的 ISO 特定术语和表达的含义，以及有关 ISO 在技术性贸易壁垒 (TBT) 中遵守世界贸易组织 (WTO) 原则的信息，请访问 www.is       o.org/iso/foreword.html。

     本文件由 ISO/TC 209、洁净室和相关受控环境制定。

     有关本文档的任何反馈或问题都应直接提交给用户所在国家的标准机构。这些机构的完整列表可在 www.iso.org/members.html 上找到。

     ISO 14644-3 第二版取消并取代了第一版（ISO 14644-3:2005），并进行了技术修订。与上一版相比，主要变化如下：

• 条款 B.7 已简化并更正，以解决对其复杂性和已知错误的担忧；

• 有关按空气中颗粒浓度对空气洁净度进行分类的指导已移至 14644-1[1]

• 整个文件的文本已修订或澄清，以方便应用。

ISO 14644 系列所有部分的列表可在 ISO 网站上找到。

ISO 14644-3：2019 的修正版本包含以下内容：

• 表 A.1、B.4.4、C.1、C.4.2 和 C.4.3 中的交叉引用已更正；

• B.2.1 a)、表 B.2 中的措辞已更改；

• 旧图 B.2 已被删除。

介绍

      洁净室和相关受控环境可将污染控制在适合完成污染敏感活动的水平。受益于空气污染控制的产品和工艺包括航空航天、微电子、制药、医疗设备、医疗保健和食品等行业的产品和工艺。

     本文件规定了测量洁净室、洁净区或相关受控环境（包括分离设备和受控区域）以及所有相关结构、空气处理系统、服务和公用设施性能的适当的测试方法。

注：本文件并未列出所有洁净室参数测试程序。ISO 14644-1[1] 提供了按颗粒浓度和大颗粒进行空气洁净度等级测试的程序和设备，ISO 14644-12[8] 提供了按纳米级颗粒浓度监测空气洁净度的规范。ISO/TC 209 编写的其他文件中讨论了用于表征特定产品或工艺的洁净室和洁净区中关注的其他参数的程序和设备[例如，可行材料的控制和测量程序（ISO 14698 系列）、洁净室功能测试（ISO 14644-4[3]）和分离装置测试（ISO 14644-7[4]）]。此外，其他标准也可考虑适用。其他清洁度属性级别可按照 ISO 14644-8[5]（按化学品确定的空气清洁度级别）、ISO 14644-9[6]（按颗粒浓度确定的表面清洁度级别）和 ISO 14644-10[7]（按化学品浓度确定的表面清洁度级别）来确定。