ISO 14644-8:2022(EN)

前言

ISO/IEC 指令第 1 部分描述了制定本文件所用的程序以及用于进一步维护本文件的程序。特别需要注意的是，不同类型的 ISO 文件所需的不同批准标准。本文件是根据 ISO/IEC 指令第 2 部分的编辑规则起草的（请参阅 www.iso.org/directives）。

请注意，本文件的某些元素可能属于专利权的主题。ISO 不负责识别任何或所有此类专利权。在文件开发过程中确定的任何专利权的详细信息将在引言和/或 ISO 收到的专利声明列表中（请参阅 www.iso.org/patents）。

本文件中使用的任何商品名称均是为了方便用户而提供的信息，并不构成认可。

有关标准的自愿性质、与合格评定相关的 ISO 特定术语和表达的含义以及 ISO 在技术性贸易壁垒 (TBT) 中遵守世界贸易组织 (WTO) 原则的信息，请访问 www.iso.org/iso/foreword.html。

本文件由 ISO/TC 209 技术委员会（洁净室和相关受控环境）与欧洲标准化委员会 (CEN) 技术委员会 CEN/TC 243（洁净室技术）合作编制，符合 ISO 和 CEN 之间的技术合作协议（维也协议）。

本第三版取消并取代第二版（ISO 14644-8:2013），对第二版进行了小幅修订。变化如下：

• 在适当的情况下，将“类别”（分类、已分类）一词改为“等级”或“评估”；

• 3.1.2，修订定义；

• 更新参考书目；

• 进行少量编辑修改。

ISO 14644 系列中所有部分的列表可在 ISO 网站上找到。

有关本文档的任何反馈或问题都应直接提交给用户的国家标准机构。 这些机构的完整列表可在 www.iso.org/members.html 上找到。

介绍

洁净室和相关受控环境可将空气中的颗粒污染控制到适合完成对一系列污染物敏感的工艺活动的清洁度水平。受益于空气污染控制的产品和工艺包括航空航天、微电子、制药、医疗设备、食品、医疗保健、光学、仪器仪表、真空技术、涂料、光伏、显示器、LED、涂层、汽车和表面分析等行业的产品和工艺。

在这些行业中的一些行业中，产品或工艺可能对化学污染敏感，或可能被化学污染破坏，这些化学污染是由外部、工艺或其他产生的来源产生的化学物质造成的。

在本文件中，化学物质的存在表示为空气化学污染。化学污染是一个三步事件。第一步是由于外部来源（例如工艺泄漏、建筑材料、人员或材料排气）而产生的。第二步是作为空气中的化学污染物运输。第三步是在敏感表面上吸附，可以量化为表面化学污染。

除了实际的空气污染外，生成材料和发生吸附的表面将对生成和吸附步骤产生很大影响。因此，对于这两个步骤，不仅需要定义污染物，还需要定义所涉及的体积和表面。为了使标准普遍适用于任何类型的洁净室或相关受控环境，已选择空气化学洁净度 (ACC) 进行水平评估。

本文件分配了 ISO 等级，用于指定洁净室和相关受控环境中的 ACC 水平，其中产品或工艺被认为存在空气化学污染的风险。

为了进行水平评估，本文件为一系列 ACC 水平提供了指导，并提供了关于化学化合物、测试和分析方法以及时间加权因素的标准协议，用于指定此类水平。

附件 A 至 D 包含以下信息：

• 需要考虑的参数：附件 A；
  

• 典型的污染化学品和物质：附件 B；

• 典型的测量和分析方法：附件 C；

• 分离装置具体要求的考虑：附件 D。

本文件是一系列有关洁净室和污染控制的标准之一。在洁净室和其他受控环境的设计、规范、操作和控制中，除了 ACC 之外，还需要考虑许多因素。这些特征在本文件中得到认可，并在 ISO/TC 209 制定的国际标准的其他部分（包括 ISO 14698 系列）中进行了详细介绍。在某些情况下，相关监管机构可以实施补充政策或限制。在这种情况下，可能需要对本文件进行适当的调整。

注意：当使用关键控制点的 ACC 评估作为根据 ISO 14644-1 按空气中的颗粒浓度对空气洁净度进行分类的附加清洁度属性时，该空间可描述为洁净室或洁净区。如果单独使用 ACC，则必须将该空间描述为受控区。