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洁净室气流模式的综合分析

  • 作者:彭建军

  • 得创坤灵公司洁净室工程技术经理。

    GDC公司洁净室设备制造公司产品研发经理。

    中国广东省洁净室行业协会执行理事。

    从事相关洁净室工程项目规划、设计、施工工作15年,具备丰富的相关技术经验。

  • 2025-11-16  |  Visits:
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单向流、非单向流和混合流

引言

任何洁净室运行的成功都取决于对空气中颗粒物污染的精确控制,而这种控制的基础在于了解洁净室的气流模式。这些模式决定了空气在受控环境中的流动方式,直接影响污染物的去除效率和洁净室的整体性能。

不同类型的洁净室气流模式各有其用途,适用于特定的洁净度要求和应用。要做出明智的选择,需要全面了解其原理、优势和局限性。本指南将详细探讨洁净室气流模式的三大主要类别。

读者将学会识别不同的洁净室气流模式,了解其工作原理,并运用这些知识选择最适合自身需求的气流模式。这种理解对于优化性能和降低运营成本至关重要。

洁净室系统示意图

洁净室系统基本示意图,显示典型气流路径.jpg

图 1:洁净室系统基本示意图,显示典型气流路径

洁净室气流模式概述

了解洁净室气流模式首先要认识到其在污染控制中的根本作用。这些模式经过专门设计,用于控制空气在受控环境中的流动,从而直接影响颗粒物的浓度和分布。

选择合适的洁净室气流模式至关重要,因为它不仅影响洁净度,还会影响能耗、运营成本和工艺兼容性。不同的洁净室气流模式对颗粒物污染的防护能力也各不相同。

1.1 什么是洁净室气流模式?

定义:洁净室气流模式是指洁净室内空气的有序流动和方向控制。这些模式经过精心设计,旨在引导洁净空气流经关键区域,稀释污染物,并快速清除空间内产生的颗粒物。

核心目标包括持续供应过滤后的空气、建立可预测的空气流动路径以及确保高效去除污染物。精心设计的洁净室气流模式能够为敏感工艺和产品创造一个保护环境。

1.2 气流模式选择的重要性

洁净室气流模式的选择直接影响以下几个关键因素:

  • 清洁度等级:决定可达到的 ISO 等级
  • 能耗:不同的使用模式需要不同的风扇功率和暖通空调容量。
  • 资本成本和运营成本:安装费用和持续维护需求
  • 工艺兼容性:适用于特定的制造或研究活动
  • 灵活性和可扩展性:能够适应不断变化的需求

例如,一家制药公司可能使用垂直单向气流,风速为 0.45 米/秒 ±20%,达到 ISO 5 级标准;而一家电子组装厂可能使用非单向气流,每小时换气 40-60 次,以显著更低的成本维持 ISO 7 级标准。

单向气流(层流)

单向气流是洁净室气流模式的黄金标准,适用于对污染控制要求极高的应用。这种模式能够产生可预测且稳定的气流,有效清除关键区域的颗粒物。

单向洁净室气流模式的实施需要精心的工程设计和大量的投资,但能为敏感工艺提供无与伦比的保护。这种模式的特点是气流呈直线平行排列,相邻气流之间的交叉污染极小。

2.1 原理和特点

单向气流的工作原理是使空气以均匀的速度沿单一方向流经洁净室或指定区域的整个横截面。空气通常垂直流动(从天花板到地板)或水平流动(从一面墙到另一面墙),就像“活塞”一样将污染物推向排气口。

层流原理图

单向气流原理及颗粒去除机制.jpg

图2:单向气流原理及颗粒去除机制

优势:

  • 卓越的污染控制效率(对于≥0.3μm的颗粒,通常可达99.99%以上)
  • 可预测的气流路径,湍流最小
  • 适用于最高洁净度要求(ISO 1-5)
  • 从污染事件中快速恢复

缺点:

  • 高额资本投入(通常比非单向系统高出 30-50%)
  • 能耗较大(风扇必须克服过滤器阻力)
  • 布局变更的灵活性有限
  • 更高的运营和维护成本

2.2 垂直单向流

运行机制:空气通过覆盖天花板表面 80-100% 的 HEPA 或 ULPA 过滤器进入,然后通过穿孔地板砖或低位回风口排出。向下流动形成一道洁净空气的保护性“气幕”,将颗粒物从关键工艺流程中带走。

垂直层流洁净室示意图

Vertical unidirectional airflow system layout.jpg

图 3:垂直单向气流系统布局

应用示例:

  • ISO 1-5 级环境
  • 半导体制造(光刻领域)
  • 药品无菌灌装作业(A/B级区域)
  • 生物技术研究实验室
  • 用于植入式医疗器械的组装

技术规格:典型气流速度范围为 0.3 至 0.5 米/秒(60-100 英尺/分钟),整个横截面上的速度变化不超过 ±20%。Deiiang™ 的工程师,例如 Jason.peng,建议将这些速度保持在严格的公差范围内,以确保性能稳定。

2.3 水平单向流

工作原理:过滤后的空气从一面覆盖有HEPA/ULPA过滤器的墙壁进入,水平穿过房间,到达对面墙壁上的排气格栅。这种清洁的“扫掠”作用可将污染物从关键区域带走。

水平层流洁净室示意图

Horizontal unidirectional airflow configuration.jpg

图 4:水平单向气流配置

应用示例:

  • ISO 5 级或更高洁净度要求的环境
  • 模块化洁净室和独立工作站
  • 空气淋浴房和更衣室
  • 特定的电子组装工艺
  • 实验室称重站和采样区

注意事项:水平流系统通常需要更谨慎地安排操作人员的位置,因为污染物可能从上游工艺带入下游工艺。Jason.peng 的 Deiiang™ 设计通常会采用策略性的工作站布局来最大限度地降低这种风险。

非单向气流(湍流/混合流)

非单向洁净室气流模式采用不同的污染控制方法,依靠稀释和混合而非定向吹扫。这些模式的特点是空气流动更加随机,速度和方向各不相同。

非单向洁净室气流模式的设计重点在于实现足够的换气次数,以维持目标洁净度等级,同时优化能源效率。对于许多洁净度要求适中的工业应用而言,这些系统是一种经济高效的解决方案。

3.1 原理和特点

非单向气流的工作原理是稀释,即从多个点引入过滤后的空气,使其与污染物混合并逐渐降低污染物浓度。与单向气流不同,非单向气流的路径更难以预测,会产生涡流和回流区。

湍流原理图

TURBULENT AIR FLOW.jpg

图 5:非单向气流混合模式

优势:

  • 较低的资本投入(通常为单向系统的 40-60%)
  • 降低能耗(降低过滤器压降)
  • 设备布局和工艺变更方面具有更大的灵活性
  • 更容易与现有建筑基础设施集成

缺点:

  • 污染控制效率较低(可能存在死角)
  • 污染事件后的恢复速度较慢
  • 仅限于中等清洁度要求(通常为 ISO 6-8 级)
  • 验证和维持一致的条件更具挑战性

3.2 运行机制和空气分配

空气通常通过安装在天花板上的扩散器或过滤模块进入,然后通过位于墙壁或有时位于地板上的低位格栅排出。该系统依靠高换气率(ACH)将污染物稀释到可接受的水平。

洁净室湍流图

具有送风口和回风口的非单向气流系统.jpg

图 6:具有送风口和回风口的非单向气流系统

空气交换率计算示例:对于尺寸为 10m × 8m × 3m(容积为 240m³)的 ISO 7 级洁净室,需要 60 次/小时的空气交换率:

               所需风量 = 房间体积 × 换气次数 = 240立方米 × 60小时⁻¹ = 14,400立方米/小时
               这大约相当于8,472 CFM (14,400 × 35.315 ÷ 60)            

Deiiang™ 的专家 Jason.peng 等专家利用此类计算来正确设计 HVAC 系统,以适应非单向洁净室气流模式。

3.3 应用场景

非单向流适用于:

  • ISO 6-8 级环境
  • 通用电子产品组装和测试
  • 医疗器械包装和二次加工
  • 药物配制和非无菌生产
  • 在受控环境下进行食品加工
  • 对洁净度要求中等的研究实验室

例如,Deiiang™ 为一家汽车电子制造商开展的项目采用 45 ACH 的非单向流动来维持 ISO 7 条件,与单向替代方案相比,能源成本降低了 35%。

混合流和局部单向流

混合流洁净室气流模式是一种结合了单向和非单向系统优势的混合方法。这种策略仅在需要时才应用更高等级的防护,从而优化了性能和成本。

混合洁净室气流模式的实施需要仔细的区域划分和界面管理,以确保适当的压力级联,并最大限度地减少具有不同气流特性的区域之间的交叉污染。

4.1 混合流系统

概念:混合流技术在以非单向气流为主的洁净室的特定区域内整合了单向防护。常见的实现方式包括在关键工艺区域上方安装风机过滤单元(FFU)或层流罩,同时在空间的其余部分保持一般稀释气流。

混合流洁净室示意图

洁净室湍流图.jpg

图 7:具有局部保护的混合气流模式

优势:

  • 经济高效的解决方案(针对性的高级别防护)
  • 能源效率(仅在需要时才采用单向流动)
  • 能够根据流程变化灵活地重新配置关键区域
  • 可扩展的方法,能够随着运营需求而发展

实施示例:一条药品包装线可能采用 ISO 8 背景环境,并在灌装和封盖站使用 ISO 5 单向流动模块,与完整的 ISO 5 单向洁净室相比,可节省 40% 的成本。

4.2 局部单向流动装置

一些专用设备可在大型洁净室内创建局部单向环境:

FFU(风扇过滤单元)

FFU.jpg

集成风扇和HEPA/ULPA过滤器的独立模块可安装在网格系统中,以创建可定制的单向区域。Deiiang™提供具有变速控制功能的FFU,以实现最佳能源管理。

层流罩/工作台

层流罩:工作台.jpg

封闭式或半封闭式工作站,可为特定工艺流程提供 ISO 5 或更高标准的洁净度条件。这些工作站非常适合实验室工作、样品制备或小规模装配作业。

隔离器和 RABS

RABS.jpg

全封闭系统集成单向气流,可实现工艺流程与操作人员之间的完全物理隔离,为无菌工艺提供最高级别的保护。

Deiiang™ 的高级产品设计师 Jason.peng 强调,“本地化设备的正确集成需要仔细考虑界面动力学,包括压力关系和气流与周围环境的相互作用。”

气流模式对比分析

选择合适的洁净室气流模式需要仔细评估多种因素。下表全面概述了每种气流模式的关键特征。

范围单向流非单向流混合流
清洁度ISO 1-5ISO 6-8ISO 5(本地)+ ISO 6-8(背景)
气流方向平行,单向混合湍流两者的结合
空气速度0.3-0.5 米/秒(指导值)变量,未指定0.3-0.5 米/秒(局部),可变(背景)
每小时换气次数不适用(连续流)20-100+(取决于 ISO 等级)背景:20-60,局部:连续
污染控制极佳(扫射动作)良好(稀释原理)优秀(本地),良好(背景)
建筑成本高的缓和中等至高
运营成本高的缓和缓和
能源消耗高的缓和中等至高
典型应用制药无菌灌装,微电子医疗器械组装、包装非无菌药品、电子组装

通过对不同类型洁净室气流模式的比较表明,没有一种普遍优越的选择——最佳选择取决于具体的操作要求、预算限制和性能预期。

选择气流模式的关键因素

选择最合适的洁净室气流模式需要系统性的方法,并考虑多种技术、操作和经济因素。这一决策会对性能和生命周期成本产生重大影响。

洁净室气流设计评估应首先全面评估工艺要求,然后逐步考虑各种限制因素和优化机会。Deiiang™ 采用结构化的方法论来指导这一选择过程。

6.1 要求的清洁度

目标 ISO 等级通常是选择洁净室气流模式的主要决定因素。每个 ISO 等级都有推荐或要求的气流方式:

  • ISO 1-3:始终要求单向流动
  • ISO 4-5:通常采用单向流
  • ISO 6-7:可使用非单向流或混合流
  • ISO 8-9:通常采用非单向流

值得注意的是,一些监管标准(例如欧盟GMP)可能会强制规定特定的气流方法,而不管颗粒物计数是否达到标准。

6.2 工艺要求和污染源

洁净室内的操作性质会对气流模式的选择产生显著影响:

  • 颗粒物生成:高颗粒物生成过程可能需要单向流动才能有效控制颗粒物。
  • 热负荷:对于热量输出较大的工艺,非单向流动有助于提高混合效果。
  • 操作人员在场:人员频繁流动的区域可能需要精心引导气流,以保护关键区域。
  • 物料流动:物料和设备的移动应与气流方向协调一致

6.3 预算限制

财务因素在选择洁净室气流模式时起着至关重要的作用:

  • 资本投入:单向系统的成本通常是同等尺寸非单向系统的 1.5-2 倍。
  • 运行成本:由于单向流过滤器压降较大,其能耗可能高出 40-60%。
  • 维护费用:由于单向过滤系统的过滤面积较大,其滤芯更换成本通常较高。

6.4 空间约束和布局

物理限制可能会影响不同洁净室气流设计的可行性:

  • 天花板高度:垂直单向气流需要在过滤器上方留出足够的静压空间。
  • 设备摆放位置:大型设备会扰乱气流模式并造成气流死角。
  • 房间尺寸:长宽比可能更有利于水平而非垂直的动线布局。
  • 结构限制:楼板承重能力可能会限制架空地板系统的选择。

6.5 能效要求

可持续性因素在洁净室设计中越来越重要:

  • 变风量(VAV)系统:可降低非单向系统的能耗
  • FFU技术:采用EC电机的现代FFU可显著节省能源
  • 热回收:可融入任何气流模式以提高效率
  • 照明和工艺负荷:无论气流模式如何,都会影响暖通空调系统的选型。

来自 Deiiang™ 的 Jason.peng 指出,“最成功的项目源于洁净室设计师、工艺工程师和设施人员之间的早期合作,以使气流策略与运营需求和限制保持一致。”

气流模式验证与优化

洁净室气流模式一旦实施,就必须进行严格的验证,以确保其按设计运行。此过程旨在确认已安装的系统满足特定要求,并找出优化机会。

定期评估洁净室气流模式有助于长期保持性能稳定,并可在问题影响产品质量或工艺产量之前发现潜在隐患。Deiiang™ 建议建立一套全面的监测和维护方案。

7.1 验证方法

目前采用多种标准化方法来验证洁净室气流模式:

风速测试:测量多个位置的气流速度,以确保气流均匀并符合设计规范。对于单向气流,测量位置通常在过滤器表面下方 150-300 毫米处。

气流可视化(烟雾测试):利用人工烟雾或雾气,直观地展示气流方向,识别湍流区域,并检测潜在的气流盲区。该方法能够提供对气流行为的即时、直观的了解。

烟雾测试可视化

烟雾测试展示洁净室内的气流模式.jpg

图 9:烟雾测试展示洁净室内的气流模式

颗粒物计数:这是测量空气中颗粒物浓度以确认是否符合目标 ISO 分类的最终验证方法。此项测试应在竣工状态、静止状态和运行状态下进行。

压差测量:验证相邻区域之间是否维持适当的压力级联,以防止交叉污染。典型的压差范围为 10-15 Pa,即相邻清洁区域之间的压差。

7.2 计算流体动力学 (CFD) 模拟

计算流体动力学(CFD)技术为洁净室施工前的气流模式预测、分析和优化提供了强大的分析能力。该技术能够创建虚拟模型,模拟各种条件下的气流行为。

CFD仿真分析

CFD仿真分析.jpg

图 10:洁净室气流模式和污染控制的 CFD 分析

CFD应用:

  • 预测不同设计方案下的气流模式
  • 识别潜在的湍流区和死角
  • 优化设备摆放位置,最大限度地减少干扰
  • 评估特定来源的污染扩散情况
  • 评估人员流动的影响

Deiiang™ 利用先进的 CFD 建模技术,为客户优化洁净室气流设计,与传统设计方法相比,通常可实现 15-25% 的气流效率提升。

7.3 优化策略

根据验证结果,以下几种优化方法可以改善洁净室气流模式性能:

  • 供气/回气调整:修改供气扩散器和回气格栅的位置或配置
  • 设备重新配置:重新定位工艺设备以最大程度地减少气流干扰
  • 操作规程:实施与气流模式相辅相成的人员规程
  • 控制系统调优:调整压差和气流量以获得最佳性能
  • 改造方案:根据需要添加导流装置或局部抽气装置

定期重新验证(通常每年一次或在重大修改后)可确保洁净室气流模式在整个设施生命周期内持续按预期运行。

结论

洁净室气流模式是关键环境中污染控制的基础。单向流、非单向流和混合流方式的选择是一项战略决策,需要在性能要求和经济性之间取得平衡。

了解每种洁净室气流模式的原理、应用和局限性,有助于根据具体的操作需求做出明智的决策。并不存在放之四海而皆准的最佳方案——最佳选择取决于对洁净度要求、工艺特性、空间限制和预算限制的仔细评估。

必须认识到,洁净室气流模式并非静态装置,而是动态系统,需要持续验证、监控和定期优化。工艺、设备或操作规程的改变可能需要进行调整,以维持最佳性能。

行动号召

准备优化您的洁净室气流模式?由 Jason.peng 等经验丰富的专业人士领导的 Deiiang™ 团队提供全面的洁净室设计服务、气流模式分析和根据您的具体要求量身定制的优化解决方案。

立即联系我们,咨询有关洁净室气流设计难题,或索取有关为各种应用选择和优化洁净室气流模式的技术指南。

附录

术语表

  • ACH(每小时换气次数):指房间内所有空气每小时更换的次数。
  • 高效空气微粒过滤器(HEPA):能够去除至少 99.97% 的 ≥0.3μm 颗粒物的过滤器。
  • ULPA(超低穿透率空气)过滤器:能够去除至少 99.999% 的 ≥0.12μm 颗粒的过滤器
  • 风扇过滤单元 (FFU):包含风扇和 HEPA/ULPA 过滤器的独立模块,用于创建局部洁净区。
  • 计算流体动力学 (CFD):基于计算机的流体流动及相关现象模拟

常见问题解答

问:如何确定我的洁净室采用哪种洁净室气流模式?

答:最简单的方法是目测气流方向和送风/回风位置。单向气流通常采用全吊顶式过滤器和地板回风,而非单向气流则采用吊顶式扩散器和墙壁回风。烟雾测试可以提供最终的验证。

问:单向洁净室的典型气流速度是多少?

答:标准指南建议垂直单向流速为 0.45 米/秒(90 英尺/分钟)±20%。然而,具体要求可能因应用而异,一些现代化设施通过合理的设计,可以在较低的流速(0.3-0.35 米/秒)下成功运行。

问:设备摆放位置会影响洁净室的气流模式吗?

答:是的,影响显著。大型设备可能会产生湍流、死区或气流旁路,从而影响污染控制。设计阶段的CFD分析和安装后的烟雾测试有助于识别和缓解这些问题。

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