ISO14644-1清洁标准(中文翻译完整版)

ISO 14644 1-8洁净室及相关受控环境(中英完整版)

ISO 14644 1-8洁净室及相关受控环境(中英完整版)

前言，ISO是世界各国标准化团体(ISO会员团体)的联合会.

其国际标准工作一般由ISO各技术委员会执行.

每个会员团体对技术委员会的某个课题感兴趣的话，有权成为这个技术委员会的代表.

与ISO保持联系的国际组织，无论是政府还是非政府组织，都可以参加这项工作.

ISO与国际电气技术委员会(IEC)在电气技术标准化方面紧密合作.

，国际标准草案经技术委员会批准后，发送各会员团体，等待表决.

草案作为国际标准，至少需要75%的会员团体投票.

，国际标准ISO14644-1由ISO/TC209洁净室和相关控制环境技术委员会提交.

第二部分，ISO的第一部分，第一部分，第一部分，第一部分，第二部分，第一部分，第一部分，第一部分，第二部分，第一部分，第一部分，第二部分，第一部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第一部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第从工作计划中删除一部分或几部分，其馀部分可以重新编写.

，附录b和c是ISO14644的构成部分，附录a、d、e和f只用于资料.

、、引言、洁净室和相关控制环境保证空气中悬浮粒子控制在适当的水平，完成对污染敏感的活动.

以下行业的产品和技术由于空气中浮游污染物的控制:宇宙、微电子、医药、医疗器械、食品和健康食品.

ISO14644本部分指定ISO等级的各个等级，作为洁净室和相关控制环境内空气洁净度的技术要求.

本部分不仅确定了空气中悬浮颗粒测试的程序，还确定了测试的标准方法.

为了划分等级，ISO14644的本部分仅限于确定粒子浓度限制值用的指定粒径范围.

本部分还提供标准协议，以大于或小于指定等级用粒径范围的悬浮粒子浓度等级为基础.

ISO14644的本部分是洁净室和污染控制系列标准之一.

除了悬浮颗粒的洁净度外，还有很多因素需要考虑到洁净室及其控制环境的设计、技术要求、运行和控制.

这些内容在ISO/TC209技术委员会制定的其他国际标准中有详细的论述.

在某些情况下，相关管理机构可能会规定一些补充政策或限制.

这可能需要适当修改标准测试程序.

、洁净室和相关控制环境——第1部分:空气洁净度的分级、金属、1范围、ISOboe14644的本部分根据空气中悬浮粒子浓度划分洁净室和相关控制环境中的空气洁净度的等级.只有在0.1μm-0.5μm的阈值(低于阈值)粒径范围内积累分布的粒子组才能分级.

ISO14644的本部分不包括0.1μm-0.5μm规定粒径范围以外的粒子组的等级.

超微粒子(<0.

1μm)和大粒子(>0.

5μm)可以分别用u描述符和m描述符量化粒子组.

ISO14644的本部分不能用于悬浮粒子的物理性、化学性、放射性和生存性.

，注射粒径遵守法律增加范围内粒子浓度的实际分布状况通常是无法预测的，随着时间而变化.

，2定义，以下定义适用于ISO14644的本部分，2.无线电，2.无线电，无线电，无线电，无线电，无线电，无线电，无线电，无线电，无线电、、2、1、清洁区、悬浮粒子浓度控制的限定空间.

空间的建设和使用方式应尽量减少区域内引进、产生和滞留颗粒，空间内其他相关参数如温度、湿度和压力按要求控制.

注:该区域可开放或密闭，可位于洁净室内.，2.1.3、设施、洁净室或一个或多个洁净区，与所有相关建筑物、空气处理系统、动力和公共设施相连.，2.2.1.分级4，适用于一个悬浮粒子的清洁度等级(或规定或确定该等级的过程)，用ISO等级n表示考虑的粒径的最大允许浓度(pc/m3空气计).

注1，这个浓度是3.

2中的公式(1)决定的.

注2根据本国际标准分级，限定在ISO的1级到ISO的9级.

注3适用于按本国际标准分级的粒径(低阈值)范围限于0.1μm-0.5μm.等级范围以外的阈值粒径的空气清洁度可以用U或M描述符(见2.3.1或2.3.2)进行说明和规定(但不是等级).

注4，ISO等级可以规定中间等级编号，最小允许增值0.

1，ISO1到8.9级.注5级可按3种占有状态(见2.

4)规定或实现.，，2.2.悬浮粒子，2.命令2.命令1，粒子，用于空气清洁度等级的固体或液体物体，其粒径阈值(低限度)范围为0.1μm-0.5μm，累积分布.，2.2.粒径2，由给定的粒径测定器响应(与被测定粒子的响应量)的球体直径.

注射离散粒子的计数和光散射器使用当量的光学直径.，，2.2.3，粒子浓度，单位体积空气中的单个粒子数.，2.2.粒径分布4，粒径函数粒子浓度的累积分布.，2.2.2.5，超微粒子，当量直径小于0.

1μm的粒子.，，2.2.2.6，大颗粒，当量直径大于0.

5μm的颗粒，2.下降2.下降7，纤维，长宽比等于或大于10的颗粒.2.2.超微粒子浓度为pc/m3空气计，即pc/m3空气计.

注射U描述符可以认为是取样点的平均值的上限(或者相信上限，可以确定清洁室和清洁区域特性的取样点数).，2.3.m描述符，测量或规定的每m3空气中大颗粒的浓度，用作测试方法特性的当量直径.

注，m描述符可以认为是取样点平均值的上限(或者相信上限，不能用m描述符来定义悬浮粒子的清洁度等级，但可以单独引用或与悬浮粒子的清洁度等级一起引用.

、、、、、、、、、、、、，2.4.静态，设施完成，生产设备完成，用户和供应商同意运行，但没有人.，2.4.动态，设施以规定的方式运行，有规定数量的人在场，双方同意的方式工作.

表1洁净室和洁净区选择的悬浮粒子的洁净度等级，2.

5thark的角色，2.

thark1，用户负责规定洁净室和洁净区要求的组织及其代理.，2.5.2.供应商，采用符合规定洁净室或洁净区要求的组织.

、、3、3、3、1、占有状态、洁净室和洁净区域内空气粒子的洁净度应根据空态、静态和动态三种占有状态的一种或三种(见2.

4)进行定义.

注意到空态适用于新建或新发行的洁室和清洁区域.

空态测试完成后，应进一步测试静态或动态或两种状态.、、3.2、等级、空气中悬浮粒子的清洁度以等级序数n命名.

考虑粒径d的各种粒子Cn的最大允许浓度由以下公式决定:、在公式中，Cn-大于考虑粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3空气).

Cn以有效数量为三位四舍五进入最接近的整数.

n-ISO等级，最大不超过9.

ISO等级n之间的中间数可以以0.

1为最小允许增值规定.

d-微米(μm)计的选择粒径.0.1————————————————表1表示选择的悬浮粒子的清洁度等级和表中考虑粒径的粒子的相应浓度限制值以上.图A.1(见附录a)以图形表示选定的等级.

在有争议的情况下，公式(1)得到的浓度Cn必须作为标准值.，3.3.3.洁净室或洁净区悬浮颗粒洁净度的命名应包括:，a)级别，以ISO小ClassN为b)分组时的占有状态:c)分级公式(1)测定的粒径，分别考虑粒径的0.1μm.的双曲馀弦值.

，命名实例:ISO，Class4:动态:粒径:0.

2μm(2370pc/m3)，1μm(83pc/m3)，测定浓度的粒径必须得到用户和供应商的同意.

测量一个以上的粒径时，各大粒径(例如D2)至少是下一个小粒径(例如D1)的1.5倍.也就是说，D2≥1.

5分钟×D1、启动4分钟、合并认证、启动1原则通过执行用户和供应商双方同意的指定测试程序，提供测试条件和测试结果的规定文件，认证是否符合用户规定的空气清洁度(ISOclass)的要求.4.2测试，附录b提供了认证一致性的基准测试方法.

也可以规定其他具有相似准确性的方法，如果不就其他方法提出规定或达成一致意见，则应采用标准方法.

应采用校舍批准的食品进行一致认证测试.4.3悬浮粒子浓度限制，4.

2完成测试后，按附录c的公式计算平均粒子浓度和95%的信赖上限.

根据公式(C.

1)计算的平均粒子浓度不得超过3.

2中公式(1)确定的浓度限制值.

被认为的粒子必须符合[3.

3注c]的规定.

另外，采样点数至少为2个，但不超过9个的情况下，C.

3计算的95%的上限不得超过上述决定的浓度限制值.

注意附录d中计算等级的工作例子.

考虑到各种粒径用同样的方法测定，认证等级的粒子浓度限制值具有一致性.4.4.各洁净室或洁净区的测试结果应记录，以综合报告形式提交，说明是否符合规定.

，测试报告应包括以下内容:，a)测试组织的名称、地址和测试日期.，b).ISO14644部分的出版号码和时代，ISO1464-1:当前版本的日期.

，c)命令明确标明了被测洁净室或洁净区域的实际位置(必要时包括附近的参考区域)和所有样品坐标的具体标记.

，d)规定的洁净室或洁净区域命名标准，包括ISO等级、相关占用状态和被考虑的粒径.

，e)详细说明测试方法，包括与测试相关的测试方法或偏离的测试方法和最近的样品.

注意，如果超微粒子或大粒子的浓度已经按照附录e的说明量化，适当的资料必须包括在测试报告中.

、、、ISO14644-1(附录部分中文翻译)、附录a、(资料)、表1中等级的图解形式、图a.

1以图解形式说明表1中的空气清洁度等级，仅供演示使用.

表1中的ISO等待认可等级在此用线表示该等级的考虑阈值粒径的浓度限制，其依据是3.

2中式(1)进行的计算.

因为线条显示的只是近似的等级限制值，所以不能用于定义限制值.

限制值只能由公式(1)决定.

图表的等级线不得超过实心圆符号.

实心圆符号是各ISO等级认可的最大和最小粒径限制值.

等级线并不意味着洁净室和洁净区域出现的实际粒径分布.

、注1、注1、注1、注1、注1、注1、注1、注1、注1注意2，表示规定的ISO等级.

、、、附录b、(标准部分)、.

采用离散粒子计数和光散射仪确定微粒子清洁度的等级，b.

1原理上选择离散粒子计数和光散射仪确定在指定的采样点以上或等于规定粒径的悬浮粒子浓度.B.2仪器要求，B.2.1.1.1.1.1.1.1.1.1.1.1.000000000航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空、B.2.2、仪器标定、、、、、、、、b.3的预测.测试条件，B.3.1.测试准备，测试前，应根据技术性能要求认证洁净室和洁净区作为运行的整体，完整、功能正常.

，预测工作一般包括:，a)空气流量或流速测试，b)空气压差测试，c)围护结构泄漏测试，d)安装的过滤器泄漏测试.B.3.2.2预测设备的配置，根据制造商的说明书进行设备的配置和设备的预测试.，B.4采样，BB4.1.确定采样点位置，BB4.11111.根据公共bbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbloook.

a，清洁室和清洁区的面积是M2.

注意水平单向流动时，面积a可视为与气流方向垂直流动的空气截面积.、B.4.1.2、、、、、、、、、、、、、，如果用户规定增加采样点，其数量和位置也必须规定.

注释增加的采样点被认为是风险分析的关键.B.4.2.2确定各采样点的采样量，B.4.2.1指定的ISO等级最大考虑粒径粒子浓度的限制值时，每个采样点采集足够的空气量，保证至少能检测出20个粒子.

医院空气净化管理规范WS/T368―2012（全文完整）

医院空气净化治理规范WS/T368―2012（全文完整）

，，每个取样点的每个取样量VS用以下式确定:，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，Cn.

m--关联等级规定的最大考虑粒径等级限制值(pc/m3空气).

20、粒子浓度处于这个等级的限制值时，可以检测到的粒子数.

注:VS值大时，取样时间可能会变长.

利用顺序采样程序(见附录f)可以减少要求的采样量，减少采样所需的时间.B.4.2.2，每个采样点的采样量至少为2升，采样时间至少为1分钟.，B.4.3采样程序，B.4.3.1，根据制造商的说明书和仪表标定证明书，调定粒子计数器(B2.1，B.4.3.2，根据制造商的说明书和仪表标定证明书，将粒子计数器(B2.1，B.4.3.2，向下采样探针的位置插入空气流.

被采样的气质方向没有被控制或无法预料的情况下，采样控制头的入口必须垂直向上.B.4.3.3，每个采样点，按B4.

2确定的最小采样量采样.B.4.3.44，当只要求一个样品点(B4.

1)时，至少要求三次样品.，B.5结果记录，B.5.1.每个采样点的粒子平均浓度，B.5.1.1，采样测量结果与空气清洁度等级相关的各个考虑粒径浓度(3.3)记录.在计算95%的上限之前，请注意B6.1的要求.B.5.1.2、只使用一个采样点时，计算并记录各考虑材料径的采样数据平均值(B.4.3.4).B.5.1.3、在一个采样点采集2次以上采样时，按照C.

2给定的程序，从每次采样粒子浓度(B.5.1.1)计算各采样点考虑粒径的平均粒子浓度，记录结果.B.5.2计算95%的信用上限(UCL)的要求，B.5.2.1，采样点在1个以上，不足10个时，按照C.

3给定的程序，从各点的平均粒子浓度(B.5.1)计算平均值、标准误差和95%的信用限制.B.5.2.2，抽样点只有1个，或者9个以上，不计算95%的信用上限.、、B.6整理、B.6.1分级要求、选拔、选拔、选拔、选拔、选拔、选拔、选拔、选拔、选拔、选拔、选择、选择、选择、选择、选择、选择、选择、选择、选择、选择、选择、选择，如果测试结果不符合规定的空气清洁度，可以增加均匀分布的采样点进行测试.

再次计算的结果，包括增加的采样点数据，判断确立洁净度等级.B.6.2界外处理，95%相信上限(UCL)的计算结果可能不符合规定的ISO等级.

由于(程序上的误差或设备功能不良)测量错误或(由于空气异常清洁)异常低的粒子浓度而产生单一的单一机械性界外值，在符合以下条件的情况下，可以排除该界外值:、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、在取样点，粒子浓度值的大差异可能是合理的，也可能是故意的，这取决于需要测量清洁设施的应用性质.

、、、附录c、(标准部分)、、、粒子浓度数据统计处理、c.

1通则、无论如何，无论如何，无论如何，无论如何，无论如何，无论如何，无论如何).，C.2计算某采样点(西安)平均粒子浓度的算法，当采样点多次采样时，应使用公式(C.

1)确定该点的平均粒子浓度.

平均颗粒浓度的计算应在采样次数不低于2次的各采样点进行.

、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、1————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————在这种情况下，应该使用公式(C.

1)的算法和本方法.C.3.2.2平均总平均值.

kd_img6，.用公式.2.确定平均总平均值.平均值.平均值.(C.2).————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————，C.3.3取样点平均值的标准偏差(S)，通过公式(C.

3)确定取样点平均值的标准偏差.

————————————表C.

1提出了95%的信赖上限(UCL)的研究t分布系数(t0.95).此外，统计计算机程序中的学生T分布也是合格的.，，表C.195%相信上限(UCL)研究t的分布系数，无、无、无、无、无、无、无、无、无、无、无、无、无、无、无、无、无需要确定动态下是否符合规定的悬浮粒子的清洁度等级.

该洁净室规定的空气洁净度等级为ISO，Class5(5级).D.1.2、被认为粒径为0.

3μm(D1)和0.

5(D2)μm，a2个粒径在ISOClass5的粒径范围内，(见3.

3c)和表1:0.1μm≤0.3μm，0.5μm≤5μm，b)的粒径是否符合粒径要求，D2≥1.

5XD1(3.3):0.5μm(1.5X0.3μm=0.45m)，D.1.3，#kdk金_img10，，.D.4.采样分数按照公共关系计算.

#kdg11#计算.

因此，采样分数至少为9分.

金，金，金，金，金，金，金，金，金，金，金，金，金，金，金因为采样点数不足10，所以用附录c计算95%的上限是适用的.，D.1.5，.单次采样量V升计按公式B.2.2计算，按公式B.2.2.2计算，按照公式B.2.2.2计算，按照公式B.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.2.1.2.1.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.1.2.2.1.2.2.2.1.2.1.2.2.1.2.2.2.1.2.2.2.2.1.2.2.2.1.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.1.2.2.2.1.2.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.1.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.测量中得到的计数记录如下(B.5.1.1).，，D.1.7，根据原始数据(D.1.6)计算粒子pc/m3，西安:0.3μm和0.5μm计算的浓度值低于D.1.3确定的限度值，满足等级的第一部分(B.6.1)的要求，因此可以根据附录C95%的限度计算.、、、D.1.8、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、平均总平均值应按公式(C.

2)计算(见C.3.2).≥0.3μm的粒子:3#，d.1.9，根据公式(C.

3)计算取样点平均的标准误差(C.3.3).0.3μm的粒子:，4，四舍五入382pc/m3，D.1.10，上限(UCL)(C.3.4)计算95%.

单个平均采样点m=9，表c.

1中的分布系数t=1.9.5#，D.1.11，按b.6.1整理结果.D.1.7中各单次取样量的颗粒浓度低于规定的等级限值.在D.1.10中，计算的95%相信上限值也低于D.1.3中规定的等级限值.

因此，该洁净室悬浮粒子的洁净度符合要求水平.、、D.2实例2、D.2.1、钟、本实例目的是证明95%UCL的计算对结果的影响.

，，某洁净室规定悬浮粒子的洁净度为ISO，动态，采样点数为5个.

采样点数在1个以上，在10个以下，应按附录c计算95%的信用上限.

，，只考虑一种粒径(D≥0.1μm).，D.2.2，，ISO3级，粒径≥0.

1μm，从表1取粒子浓度限值，Cn(≥0.

1μm)=10000pc/m3，D.2.3，从表1取粒子浓度限值，按(B.5.1.1)记录各点的粒子浓度Xip/m3，并记录如下.

是、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、因为这个结果符合等级的第一部分(B.6.1)，所以可以用附录c计算95%的信用上限.，，D.2.4，平均值的总平均值按公式(C.

2)计算(见C.3.2).6#、D.2.5、.根据公式(C.

3)计算样品点平均值的标准误差(C.3.3):7#、D.2.6、公式(C.

4)计算95%的信用上限(UCL)(C.3.4):、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、.D.2.2).，但是，95%的人相信上限的计算表明该洁净室悬浮粒子的洁净度不符合规定的水平.

，根据95%UCL的计算结果，单采样界外低粒子浓度(即采样点5)的影响.

，因为空气清洁度等级的不一致性采用了95%UCL，单次采样的低粒子浓度，可以根据B.6.2的程序确定是否无效.

、、、附录e、(资料部分)、、对等级表粒径以外粒子粒径和计数的考虑，e.

1通则，如果与具体技术要求相连，则可以根据等级表粒径范围以外的粒子组规定另外适用的空气清洁度等级.

用户和供应商应就此类颗粒最大允许浓度和选择验证匹配性的测试方法等问题达成一致.在E.2(U说明符)和E.

3(M说明符)中，考虑了测试方法和规定的技术要求形式.、、E.2小于0.1μm的粒子(超微粒子)的评价——U说明符、E.2.1.应用、微粒子小于0.

1μm的粒子造成的污染危险，应采用适合这种粒子具体特性的采样装置和测量程序.，根据B.4.1确定取样点的数量，最小取样量Vs为2L(B.4.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2u描述符以u(x)y)的形式表示，其中，、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、例如，粒径范围最大允许超微粒子的浓度为14000个pc/m3，其标志为u(140000个0.1μm.注1在IEST-G-CC1002[1]中提供了不足0.

1μm的悬浮粒子浓度测试方法.

注2用u描述符作为悬浮粒子的清洁度水平的补充，超微粒子的浓度(x)不得小于规定的ISO水平的0.1μm.，e.3大于5μm的粒子(大粒子)的评价——m说明符，e.3.1应用，对超过5μm的粒子造成的污染危险进行评价，应采用适合这种粒子具体特性的采样装置和测量程序.

，悬浮颗粒群体中的大颗粒主要是在工艺环境中释放的颗粒.

应根据具体应用确定适用的采样装置和测量程序.

需要考虑的因素有颗粒的密度、形状、容积和空气动力特性.

也可能需要特别强调的总悬浮粒子中的特殊成分，如纤维.E.3.2.2M记述符的形式，可以单独使用，也可以作为悬浮粒子的清洁度水平的补充使用.

m描述符用m(a)b).

c的形式表示，其中，大粒子的最大允许浓度(以大粒子pm3的空气表示)，b——当量直径(或直径)，与规定的测量大粒子的方法有关(以微米表示)，注1采样的悬浮粒子组中含有纤维，M描述符可以添加单独的纤维用描述符，表示形式为Mfiber(b):c.

例如，如果使用测定粒子空气动力直径的浮游气溶胶粒子计数器，粒直径范围为≥5μm的浮游粒子浓度为1000pc/m3时，其标志符为m(10000>5μm)的浮游气溶胶粒子计数器.

例如，如果使用多级冲击取样器，用显微法测定粒径并计数，粒径范围为10-20μm的悬浮粒子浓度为1000μmpc/m3，则标志符为m(1000.

10-20μm的多级冲击取样器注2在IEST-G-CC1003[2]中提供了超过5μm的悬浮粒子浓度的测试方法.

注3用m描述符作为悬浮粒子的清洁度水平的补充，大粒子的浓度(a)不得超过规定的ISO水平的5μm.

、、、附录f、(资料)、、顺序样品法、F.

1的背景和局限性、F.1.1.1的背景、挑选样品的空气污染程度明显大于或小于考虑粒径的规定水平浓度，采用顺序样品法通常可以大幅度减少样品量和样品时间.

试图接近规定的限制值时，也可以节一定程度的采样量和时间.

顺序采样法最适合空气清洁度预期达到ISO的4级或更清洁的环境.

注意顺序采样法的进一步资料，看IEST-G-CC赛1004[3].F.1.2的局限性(顺序采样法的主要局限性为:)，a)这种方法只适用于考虑粒径的粒子在规定等级和浓度限制值时，每次测量20粒的采样.

b)每次采样测量需要辅助监视和数据分析，可以用计算机自动进行.

c)由于采样量减少，粒子浓度的确定不如通常的采样法正确.、、F.2顺序采样法的依据是，该方法基于实时累积粒子计数和参考计数的对比.

参考值是求上下限值的公式，得出的.上限值是3.961.961.03ET-下限值的公式.考.两种形式均可采用9#，表F.1.时间应达到c观察计数值时的上下限值，在计数值的总粒子计数值作为规定的计数值的上下限值进行比较.

如果正在计数的总数值低于与已采样量相应的参考限值，则认为正在采样的空气符合规定的等级或浓度，并停止采样.

，如果正在计数的总数值高于与采样量相应的参考限制值，则采样的空气被认为不符合规定的等级和浓度，采样停止，只要计数的数值在上下限之间，采样就会连续进行，直到整个采样累积为止.，图F.1描绘了计数值c和期待计数值e的关系.

期待计数值e是在测量所有单一采样空气的时间内产生20个计数的流量(容积/时间)时采样空气的计数，浓度合考虑粒径的规定限制值.啊，F.1提供了一等效果的方法.

将观察计数c的时间与表中测量的所有单次采样空气要求的增加时间进行比较.

计数的出现比表中预期的时间早的话，采样的空气不符合规定的限制值.

计数的出现迟于表中的期待时间，采样的空气符合规定的限制值.

最多要求21次颗粒得出时间与表中限定时间的对比.、、F.3采样程序、F.3.1顺序采样基准、、、、、、、进展式计算机化的数据分析比较好，这里推荐使用.F.3.2图形采样比较，表示根据公式(F.1)和(F.2)构筑的界限.

到E=20为止，表示收集-全采样量所需的时间，C=20是允许的最大观察数值.

，观察到计数值比粒子浓度准确等于规定水平的空气预期计数值.

经过的时间与预计值的增加数相对应，E=20表示粒子浓度为等级限制值时，累积——全采样量所要求的时间.

，随着采样的进行，记录作为时间函数的粒子计数，将该计数与图F.

1中的上下线进行比较.

当累计观察到计数与上限线交叉时，该点采样停止，空气被认为与规定等级限值不符.

如果累计观察到计数与下限线相交，则该点采样停止，空气被认为符合规定等级限值.

如果累计观察到计数保持在上下限线之间，采样将继续进行.

，如果在规定的采样期结束时总数为20或不足20，并且没有与上限线相交，则空气被认为符合等级限制值.F.3.3图表采样比较，为此提供了有效的采样方法.

基于公式(F.1)和(F.2).表中的时间T给予了10000的值，表示完整的单次采样期.

空气中含有考虑粒径的正确等级限制值的当量浓度时，此次采样量是提供20个粒子所需的量.

表中列出的时间值是累积单次取样所需的总时间的小部分.，f.1中顺序采样法的程序如下:，根据采样记录，将每次观察到的时间与表达式的两列时间进行比较.

如果与表左侧的一排相比，证明给出的累计观察到计数的出现比预期时间早，该点采样停止，空气被认为与规定等级限值不符.

假如与表格右侧的一相比，证明累计观察到计数的出现迟于预期时间，该点采样停止，空气被认为符合规定等级限值.

累计观察到计数连续出现在两列时间之间，采样继续进行.

如果与表左侧的一列相比21次，计数仍在继续，没有比预期时间早的计数，空气符合所有单次采样的规定限制值.

，前言，文章来源:http://www.

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