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美国联邦尺度209E尺度-清理室和清洁区的环境控制

发布时间:2021-05-11 12:37 人气: 来源:http://www.whwccj.com

(1992年9月11日公布,替代1988年6月5日公布的FED-STD-209E), 本限度经联邦政府服务质监总局、联邦政府供货服务司运营专员准许,供联邦政府各组织 应用。, 文件目录,1.      局限性及局限性,1.1.    局限性,1.2.    局限性,2.      论文参考文献,3.      界说,3.1.    飘浮颗粒清理等级分类,3.2.    非动态性取样,3.3.    校准,3.4.    清洁区,3.5.    清理室,3.5.1.   空态清理室(设备),3.5.2.   静态数据清理室(设备),3.5.3.   动态性清理室(设备),3.6.    凝聚力核电子计数器(CNC),3.7.    离散变量颗粒计数器(DPC),3.8.    通道平面图,3.9.    同轴线性,3.10.  均动态性取样,3.11.  检测,3.12.  非单边流,3.13.  颗粒,3.14.  颗粒浓度值,3.15.  颗粒规格,3.16.  学员漫衍,3.17.  U外貌,3.18.  超微颗粒,3.19.  单边流,3.20.  相信限制(UCL),3.21.  分辨,4.      飘浮颗粒清理室等级分类和U外貌,4.1.    表I中列举的洁净度等级分类,4.1.1.   测量表I中列出颗粒规格,4.1.2.   其他颗粒规格的测量,4.2.    其他飘浮颗粒洁净度等级分类更换真是定标准,4.3.    外貌超微颗粒浓度值的划分(U外貌),4.4.    飘浮颗粒浓度值的取名,4.4.1.   飘浮颗粒洁净度等级分类的明堂,4.4.2.   U外貌的明堂,5.      飘浮颗粒洁净度的分辨和检测,5.1.    飘浮颗粒洁净度的分辨,5.1.1.   频率,5.1.2.   自然环境检测标准,5.1.2.1.  分辨过程中清理室或清洁区的情况,5.1.2.2.  环境监控系统,5.1.3.   颗粒记数,5.1.3.1.  取样点和数量:单边流,5.1.3.2.  取样点和数量:非单边流,5.1.3.3.  取样点的限定,5.1.3.4.  取样量和取样時间,5.1.3.4.1.表I各个其他单一取样设计方案,5.1.3.4.2.其他等级或粒度的单一取样设计方案,5.1.3.4.3.U外貌的单一取样设计方案,5.1.3.4.4.持续取样设计方案,5.1.4.   数据信息处理,5.2.    飘浮颗粒洁净度的检测,5.2.1.   检测设计方案,5.2.2.   检测用的颗粒记数,5.3.    测量飘浮颗粒浓度值的方法和设备,5.3.1.   超过就是5微米的颗粒的记数,5.3.2.   低于5微米的颗粒的记数,5.3.3.   超微颗粒的记数,5.3.4.   颗粒记数方法的局限性,5.3.5.   颗粒记数方法的校准,5.4.    统计分析分析,5.4.1.   分辨的工程验收标准,5.4.2.   决定工程验收的筹算,5.4.2.1.  取样点的均值颗粒浓度值,5.4.2.2.  均值的中值,5.4.2.3.  均值的限度差值,5.4.2.4.  均值的限度差值,5.4.2.5.  相信限制(UCL),5.4.2.6.  取样筹算,6.      获得强烈推荐,7.      与论文参考文献的分歧,8.      涉及到的联邦政府组织 ,
, 附则A,应用显微镜对飘浮颗粒举办记数和测量,附则B,离散变量颗粒计数器操作方法,附则C,均速及非均速取样,附则D,超微颗粒浓度值测量方法,附则E,FED-STD-209E限度所接受的统计分析基本原理推理,附则F,持续取样:一种分辨气体洁净度的可选择方法,附则G,弥补信息内容的源泉,注:本汉语翻译并未囊括全部附则,1. 局限性及局限性,1.1    局限性,本文档建立了由飘浮颗粒成分来划分气体清理室和清洁区的气体洁净度的限度等级分类,并且出示了别的可选择的等级分类方法。外貌了分辨气体洁净度的方法及其建立气体洁净度监测方案的规定。也出示了明确和外貌超微颗粒浓度值的方法(U外貌法)。,1.2    局限性,本文档技艺规定不适感用以清理室和清理区域内应用的武器装备、物件,除飘浮颗粒的大小等级分类和数量外,本文档对飘浮颗粒的物理学、有机化学、放射性物质或生命特征将未作外貌。在飘浮颗粒浓度值与有性命的飘浮颗粒量中间沒有明确的关联。为了更好地检测及操纵别的方式的环境污染,除开对清理气体供货要检测全部颗粒空气污染物并满足所明确的限制值外,还须有别的专业规定。,2.          论文参考文献,
,2.1.         《实验概率论》Box,George E. P.,Hunter,William G.,J.stuart主编,John Wileg&Sons出版书籍,New York (1982).,2.2.         《悬浮微粒子手艺:悬浮微粒子性子、状态及丈量》Hinds, W. C.主编,John Wileg&Sons出版书籍,New York (1982).,2.3.         《联邦政府强烈推荐常见公英制模块》FED-STD-376,强烈推荐应用国际性模块制(SI),在国际性模块与英国习用模块相排斥时,国际性模块制优先选择。,3.  界说,
,3.1.飘浮颗粒的洁净度等级分类,  洁净度是由每立方(每立方英寸)空气中所带有较大 容许尘粒数量来明确的,其等级分类确立见表I,其测量见5.4节中的几率方法。国际性模块制中等级分类名字是由每立方空气中带有0.5μm或更高粒子的较大 容许数之常用对数来提示的,而螺纹公称直径模块(英国习用)等级分类名字则源自每立方英寸空气中带有0.5μm或更高粒子的较大 容许数。,3.2.非动态性取样,  在挪动空气的平均速率差别于气体进到采样器通道平均速率的取样情况下,因为颗粒惯性力,非动态性取样会使试品中的颗粒浓度值差别于所取样空气中的颗粒浓度值。,3.3.校准,  将精确度不明的测量限度或仪器设备与另一精确度已经知道的测量限度或仪器设备相对性照,用于检验、调整、叙述或根据调节来清除精确度不明的限度或仪器设备在精确度上的差值。,3.4.清洁区,指其中飘浮颗粒浓度值被控制在某一特殊的清理等级内的某一限定室内空间。,3.5.清理室,  制其中飘浮颗粒浓度值被控制的屋子,它可囊括一个或好几个清洁区。,3.5.1.空态清理室(设备),  指已完工并提前准备投用的清理室,在其中全部服务设备均已接入并抵达作用规定,但房间内沒有生产制造武器装备和实际操作员工。,3.5.2.静态数据清理室(设备),  指已完工并安裝好全部服务武器装备及生产制造武器装备,可以或已经运作的清理室,但房间内无实际操作员工。,3.5.3.动态性清理室(设备),  指一切正常运作的清理室,亦即房间内全部服务设备、生产制造武器装备及事儿员工已经一切正常运作时的 清理室。,3.6.            凝聚力核电子计数器(CNC),  一种用以对超过或即是0.01μm的小飘浮粒子记数的仪器设备,它凭借电子光学方法来测量由蒸汽凝聚力在尘粒上而产生的液体。,3.7.            离散变量颗粒计数器(DPC),  一种可以辨别离散变量颗粒的仪器设备,它类似电子光学颗粒计数器和凝聚力核电子计数器。,3.8.            通道平面图,  指垂直平分单边气旋的平面图,这一平面图就取决于大家很感兴趣的地区(无新奇表明即专指事儿区)的上升气流内,且这一平面图与垂直平分这一气旋偏重的清洁区横剖面具备同样的总面积。,3.9.            同轴线性,  指采样器通道的气旋偏重与被取样单边气旋的偏重同样的取样情况。,3.10.          均动态性取样,  指在同轴线取样情况下,进到采样器入语气流的均值度与测定单边气旋的平均速率同样的情况。,3.11.          检测,  指在清理室或清理区域内对飘浮颗粒浓度值以及他有关情况的常规测量。,3.12.          非单边流,  指与单边流界说不符合的气旋,之前称之为“漩涡”或“非层.流”。,3.13.          颗粒,  一样平常规格为0.001~1000μm的固态、液态或非均相参杂化学物质。,3.14.          颗粒浓度值,  模块容积空气中所带有的离散变量颗粒的数量。,3.15.          颗粒规格,应用光学显微镜调查时,在调查平面图上见到的颗粒视在较大 线形长短,或由自动仪器测出的颗粒的当量直径。(当量直径就是指对体会用详尽和被测颗粒同样体现的已经知道特点的参照圆球直徑。),3.16.          学员漫衍,  漫衍涵数为:t=(样本均值-整体平均值)/样本均值的限度差值,  该式是以正态(高斯函数)漫衍取样得到的,临界点表可从统计学教材中寻找(见2.1节),3.17.          U外貌,  指超微颗粒的较大 浓度值(每立方空气中颗粒数),U外貌可适度用做为相信限制、当场均值的限制或者一样做为当场均值与相信限制。U外貌不会受到飘浮颗粒清理级其他限定,它适用单独清理等级的飘浮颗粒也可用以好几个清理等级相参杂的飘浮颗粒。,3.18.          超微颗粒,  指规格局限性约莫从0.02μm到附则D中外貌的离散变量颗粒计数器(DPC)的测量值限制中间的颗粒,超微颗粒在筹算上是根据电子计数器高效率与附则D中的颗粒规格之比以明确的。,3.19.          单边流,  指一般 具备平行面的气旋线以单一偏重健身运动并均速根据其横剖面的气旋。之前称之为“层.流”。,3.20.          相信限制(UCL),  若是平均值是以正态(高斯函数)漫衍中取样得到的,而按给出值信度(本限度中取95%)下筹算个人所得的估算限制将超过实际平均值,则称这一平均值估算限制为相信限制。,3.21.          分辨,  指在清理室或清理区域内按飘浮颗粒洁净度漫衍界限、U外貌或别的相关划分,明确气体的洁净度的过程。,4.                  飘浮颗粒清理室等级分类和U外貌,  气体洁净度的分辨按本限度第5节应用一个新奇限定的等级分类系统软件。,  本单位明确了气体洁净度的等级分类限度,每一洁净度等级对飘浮颗粒规格局限性和浓度值均有限定(见表I)。另外,为了更好地明确根据颗粒规格变化的限度等级分类和其他更换的(非限度)等级分类,也制定了划分。除此之外,还出示了应用超微颗粒浓度值(U外貌)外貌气体洁净度的基本概念。,  给出的专业名词系统软件合适外貌全部洁净度等级分类和U外貌。,4.1.            表I中列举的洁净度等级分类,  飘浮颗粒洁净度等级分类列于表I中,气体洁净度的分辨则根据对表I中的一种或多种多样颗粒规格或其他划分颗粒规格的测量来进行,详述如下:,4.1.1.             测量表I中列出颗粒规格,  根据测量表I中的某一等级列出的一种或多种多样颗粒规格来进行分辨,并应用4.4.1.中上述的明堂抄录叙述。倘若测出的颗粒浓度值是按4.5节的统计分析分析明确的,并在表I列出相匹配级划分的任一颗粒浓度值的界限内,则认为飘浮颗粒洁净度满足该级。,4.1.2.             其他颗粒规格的测量,  也可根据测量表I中列出以外的别的颗粒的规格来进行分辨,并按下列限定标准来举办:别的粒度或规格挑选务必在表I所标出级其他规格局限性内。倘若测出的颗粒浓度值是按5.4节的统计分析分析明确的,并且每一选中的别的颗粒的粒度也不超越表I中得出的下一级很大粒度的界限,则认为飘浮颗粒洁净度满足该级。,4.2.            其他飘浮颗粒洁净度等级分类更换真是定标准,  在独特主要用途的情况下还可以界说差别于表I中列出洁净度等级分类的别的等级(如M2.2级、M4.3级及M6.四级(5600~7000级))。与表I中列出的洁净度等级同样,别的等级的等级分类名字明确也是建立在对0.5μm及之上颗粒浓度值的界限上。别的规格颗粒的浓度值界限可在表I中按邻近的洁净度等级浓度值界限一样的占比得到,此界限还可以根据表I论文脚注内的类似化学方程筹算出去。一样,针对洁净度等级超越M1或1级的情况。颗粒规格差别于0.5μm的颗粒浓度值界限与M1或1级的浓度值界限具备同样的占比。,
,表I  飘浮颗粒洁净度等级分类,  对每一分级名字均得出了其等级分类界限,此界限强调的特殊飘浮颗粒浓度值(模块容积颗粒数)均超过就是表格中所列举的颗粒规格。,表I所显示洁净度等级分类界限只求等级分类界说的目地而明确,在一切独特情况下不提示从而所建立的粒度规格漫衍。,中央级其他浓度值界限可类似根据下式筹算:,正离子数/m3=10M(0.5/d)2.2,式中M为国际性模块(SI)制中等级分类的特殊数据名字,d是颗粒规格(模块为μm)。,或    正离子数ft3=Nc(0.5/d)2.2,式中Nc为螺纹公称直径模块中等级分类的特殊数据名字,d是颗粒规格(模块为μm)。,取名和外貌洁净度等级分类时强烈推荐应用国家标准模块(SI)制的名字和模块,但螺纹公称直径(英国习用)模块也可应用。,当用国际性制模块提示时,等级分类的特殊数据名字是由每立方空气中带有的0.5μm及之上颗粒的较大 容许数之常用对数值(以10为底,末尾数求整到第一位小数)得到的,当用螺纹公称直径(英国习用)模块提示时,等级分类的特殊数据名字则由每立方英寸空气中所带有的超过或即是0.5μm颗粒的较大 规定值得到的。,(a)                   针对 洁净度等级分类低于M4.5级(1000级)的别的等级,其浓度值可根据测量下列颗粒规格局限性内的颗粒来明确,按划分此颗粒规格局限性就可以是超过或即是0.5μm又但是超过或就是5μm或二种均可。,(b)                   针对洁净度等级分类超过M4.5级(1000级)又低于3.5级(100级)的别的等级,其明确能够根据测量下列颗粒规格局限性内的一种或多种多样得到的,按划分此颗粒规格局限性能够是超过或即是0.2μm、超过或即是0.3μm、超过或即是0.5μm。,(c)                   针对洁净度等级分类低于M3.5级(100级)的别的等级,其明确能够根据测量下列颗粒规格局限性内的一种或多种多样得到的,按划分此颗粒规格局限性能够是超过或即是0.1μm、超过或即是0.2μm、超过或即是0.3μm及超过或即是0.5μm。,4.3.            外貌超微颗粒浓度值的划分(U外貌),  按划分,U外貌用于提示超颗粒浓度值时可按3.17节的划分。U外貌可以用来弥补洁净度等级分类的界说,也可独立应用。U外貌的明堂将在4.4.2节中表明。,4.4. 飘浮颗粒浓度值的取名,4.4.1.飘浮颗粒洁净度等级分类的明堂,  各洁净度等级分类可应用“X级(在Yμm)”的明堂来提示,这时X意味着飘浮颗粒洁净度等级分类的特殊数自名字,Y意味着颗粒规格或与划分浓度值(等级分类)界限相对性应的颗粒规格。,  比如:“M2.5级(在0.3μm和0.5μm)即指每立方空气中带有0.3μm之上的颗粒不超越1060个,0.5μm之上的颗粒不超越353个。,  “100级(在0.5μm)即指每立方英寸空气中带有0.5μm之上的颗粒不超越一百个。,4.4.2.U外貌的明堂,  U外貌可独立应用或做为飘浮颗粒洁净度等级分类明确的弥补。因为超微颗粒的低限早已为应用的武器装备所决定,因此对U外貌无须划分颗粒规格(参照3.18节及附则D)。,  U外貌可应用明堂“U(X)”来提示。这儿X为每立方空气中超微颗粒的较大 浓度值。,  比如“U(20)”提示每立方空气中超微颗粒不超越20个。“M1.5级(在0.3μm),U(2000)”则提示每立方空气中0.3μm颗粒不超越106个,超微颗粒不超越2000个。,5.   飘浮颗粒洁净度的分辨和检测,5.1.            飘浮颗粒洁净度的分辨,  凭据4节界说,分辨是明确一个清理室或清理区域内的气体是不是满足飘浮颗粒洁净度等级分类界限或U外貌(或二者均满足)的过程。应在5.11~5.14节中上述的标准下,根据对飘浮颗粒浓度值的测量来进行分辨。颗粒规格或为分辨而举办测量的颗粒规格理应按划分应用4.4节中所外貌的类似明堂提示。,5.1.1.             频率,  分辨检测应在考研初试之后按一定间距或别的划分按时举办。,5.1.2.             自然环境检测标准,  洁净度等级分类的分辨应在囊括下列划分的实际操作标准下根据测量颗粒浓度值来进行。,5.1.2.1.                  分辨过程中清理室或清洁区的情况,  分辨过程中清理室或清洁区的情况应标出“空态”、“静态数据”、“动态性”或别的划分情况。,5.1.2.2.                  环境监控系统,  应当记录在分辨过程中与清理室和清洁区相关的测量及调查的实际环境监控系统,该类主要参数能够囊括(但不但仅限于此)气体压力、 换风、房间内标准气压、弥补排风量、单边流平面度、气体绕度、溫度、环境湿度或漏点、房间内震动,除此之外,房间内员工及武器装备流动性情况也应标明。,5.1.3.             颗粒记数,  分辨清理室和清洁区的洁净度按适度的颗粒计数法或5.3节中上述方法或按别的划分的方法举办,适度的取样详细地址和取样设计方案应当从下列表明中挑选。,5.1.3.1.                  取样点和数量:单边流,  对单边流,取样点应在全部清洁区的通道平面图上均值漫衍,清理区域内受武器装备限定或有独特划分的以外。对单边流清洁区的分辨所规定的最少取样点数量应是下列(a)、(b)中的小点的。,  (a)、国际性模块(SI)制:A/2.32,        这儿A就是指通道平面图的总面积(模块为平米)。,        螺纹公称直径模块(英国习用):A/25,        这儿A就是指通道平面图的总面积(模块为平方米)。,  (b)、国际性模块(SI)制:A*64(10M)0.5,        这儿A就是指通道平面图的总面积(模块为平米),M是表I中列出国际性模块制洁净度等级分类的特殊数据名字。,螺纹公称直径模块(英国习用):A/(Nc)0.5,        这儿A就是指通道平面图的总面积(模块为平方米),M是表I中列出国际性模块制洁净度等级分类的特殊数据名字。,  取样点数量一般 求整到下一个上位整数金额。,5.1.3.2.取样点和数量:非单边流,对非单边流,取样点应在清洁区水准偏重均布,但独特划分的可在竖直偏重布署,清理区域内受武器装备限定的以外。,  对非单边流清洁区的分辨所规定的最少取样点数量应就是:,  国际性模块(SI)制:A*64/(10M)0.5,  这儿A就是指清洁区的路面总面积(模块为平米),M是表I中列出国际性模块(SI)制洁净度等级分类的特殊数据名字。,  螺纹公称直径(英国习用):A/(Nc)0.5,这儿A就是指清洁区的路面总面积(模块为平米),Nc是表I中列出螺纹公称直径模块洁净度等级分类的特殊数据名字。,  取样点娴熟一般 求整到下一个上位整数金额。,5.1.3.3.取样点的限定,  一切清洁区的取样点不少于两个,除在清理区域内受武器装备限定外,取样点应在清理地区内均值漫衍,每一个取样点最少取样一次(见5.1.3.1节或5.1.3.2节),每一个取样点取样可超过一次,且差其他取样点会有差其他取样频次。但每一个清理区域内总取样频次不少于5次。,  在适度的時刻,取样部位超过所规定的至少取样点的取样将增加平均值和其相信限制平均值的精确度。,5.1.3.4.取样量和取样時间,  取样的空宇量和取样時间凭据以下适度的阶段明确。,5.1.3.4.1.表I各个其他单一取样设计方案,  倘若对每一个划分的颗粒规格,颗粒浓度值均在该洁净度等级分类的界限内,则对每一个取样点每一次取样的被测空宇量务必是至少能测到20个颗粒的有效空宇量。,  下边的公式计算出示了一个被取样的最少空宇量的均值筹算公式计算,此公式计算可做为表I中列出的每模块容积颗粒数量的有关归属于单位。,  V=20个颗粒/[表I中的等级分类界限(颗粒数量/容积)],  气体的取样容积应不少于0.00283M3(0.1立方英寸),除此之外,取样容积的筹算实际效果不可求整。,  很大的取样容积可能减少各取样值中间的差别,但取样容积不可以大到使取样時间越来越不切实际。取样容积无须在全部取样点都同样。但是颗粒浓度值要以每立方(立方英寸)空气中的颗粒数量记录叙述,而与取样容积不相干。取样容积也应记录。在取样容积超过最少取样容积时将提升 取样平均值两者之间相信限制平均值的精确度。,  取样時间可根据取样容积除于取样速度来筹算得到。,5.1.3.4.2.其他等级或粒度的单一取样设计方案,  按4.2节划分,为了更好地分辨气体是不是满足别的洁净度等级分类界限需要的最少取样容积,务必凭据5.1.3.4节上述的方法,由表I中列出的邻近洁净度等级分类的取样容积所决定。,  按4.2节上述,对别的颗粒规格测量的分辨需要的最少取样容积,务必凭据5.1.3.4.1节上述的方法,由表I中列出的邻近洁净度等级分类的取样容积所决定。,  取样時间可根据取样容积除于取样速度来筹算得到。,  对相关取样容积的别的考虑,一样适用以上情况,详细5.1.3.4.1节上述。,5.1.3.4.3.U外貌的单一取样设计方案,  分辨超微颗粒浓度值需要的取样容积是在划分U外貌标准下能测得至少20个颗粒的有效气体容积,最少容积(立方)由20/U(x)筹算得到,筹算实际效果不必求整,但一切标准下都不可低于0.00283立方。,  取样時间可根据取样容积除于取样速度来筹算得到。,5.1.3.4.4.持续取样设计方案,  分辨洁净度等级在M2.5级及之上(10级之上)的气体的另一种方法是应用附则F中上述的持续取样方法(持续取样是分辨洁净度等级在M2.5级及之上的气体的一种可选方法),持续取样的优势是它有可能明显地减少每一个取样点的取样容积,另外也减少取样時间。,5.1.4.             数据信息处理,  ,
,5.2             飘浮颗粒洁净度的检测,  分辨以后,倘若有划分,则应在运作时期对清理室或清理区域内飘浮颗粒的洁净度举办检测。为了更好地表明飘浮颗粒洁净度的变化趋于,对5.1.2.2节中列出的别的环境监控系统也可按划分举办检测。,5.2.1. 检测设计方案,  检测设计方案应凭据飘浮颗粒洁净度等级和生产制造过程及物质爱惜对环境污染操纵的必须水准来制定,检测设计方案应划分检测频率、实际操作标准、颗粒计数方法、取样点以及数量、取样容积以及数据信息处理方法。,5.2.2.               检测用的颗粒记数,  按划分,检测设计方案中的颗粒计数应接受5.3节的一种方法举办,颗粒浓度值的测量应在全部清理区域内,或在洁净度规定新奇重要的地区,或是在测量分辨检测中发觉颗粒浓度值较高的地区举办。,5.3.                    测量飘浮颗粒浓度值的方法和设备,测量飘浮颗粒浓度值的方法和设备应凭据颗粒规格和规定的粒度来挑选,除开有别的划分的,下边的方法适用分辨空气中飘浮颗粒的洁净度和U外貌,一样也适用气体洁净度的检测。若是确认别的的颗粒计数方法或武器装备及其别的的方法和武器装备的组成的精确度和可重复性就是或好于下列方法和武器装备的,那麼还可以接受。,用于明确飘浮颗粒浓度值的武器装备应按划分凭据生产厂家的表明精确维护保养并按时验证。,5.3.1.               超过就是5微米的颗粒的记数,  针对超过就是5μm的颗粒,其浓度值明确应应用附则A中的方法(应用显微镜对飘浮颗粒举办记数和测量)。,  此外,若是下边上述的样版互联网、传输和测量过程都满足划分规定,那麼能够应用离散变量颗粒记数器。凭据附则B中的方法(离散变量颗粒记数器操作方法),针对超过5μm的颗粒,离散变量颗粒计数器的记数高效率是可明确的。离散变量颗粒记数器仅有在超过5μm的颗粒记数时才华应用。,  不管应用哪种方法,抽样口规格、抽样速度及抽样口精准定位的挑选应容许均速取样互联网。均速取样是应优先选择接受的,但是若是均速取样不可以完成时,取样差值的估计可根据应用附则C(均速及非均速取样)中的方法得到。纵使在采样器通道立即遭遇注入气旋(同轴线取样)的時刻,倘若入语气流速度差别于采样器周边的气旋速度,也将人为因素地导致在入口周边的颗粒浓度值的增加或减少。其公式计算也适用筹算此类非均值取样在调查测量颗粒浓度值时需产生的危害(参照例2.2和附则C)。针对超过即是0.5μm的颗粒,当这类人为因素导致的浓度值调整低于5%时,能够忽略。但针对超过就是5μm的颗粒,当预见到这类人为因素导致的浓度值变化超越5%时,则应记录这一基因突变的增减量,在同飘浮颗粒洁净度等级分类界限对比前,务必校准这一标值。,5.3.2.               低于就是5微米的颗粒的记数,低于就是5微米颗粒的浓度值凭据附则B中的方法应用离散变量颗粒计数器来明确。粒度大小数据信息应按用限度颗粒校准的当量直径记录。,前边提及(见5.3.1节)对低于即是0.5微米的颗粒,由非均值取样产生的差值低于5%,但是对超过就是5微米的颗粒则会产生明显的误差。倘若要对粒子尺寸在0.5μm到5μm局限内的一种或多种多样粒子举办分辨,那麼由非均值采样产生的误差则会随粒子尺寸的扩大而增添,这时必须对非均值采样举办校准。,5.3.3.               超微粒子的记数,  超微粒子浓度值由附则D中的方法(超微粒子浓度值测量方法)来明确。,5.3.4      . 粒子记数方法的局限,  在统一采样点应用离散变量粒子电子计数器举办气体采样记数时,差别设计方案构造或事儿基本原理的电子计数器会产生差其他数据信息,乃至刚经过校准的同样设计方案的仪器设备对一样的气体举办采样时,也会产生很大的差别。以是在对比差别仪器设备的测量实际效果时要重视这一点。,  应用离散变量粒子电子计数器时,不可超越生产厂家所划分的粒子浓度值或粒子尺寸的限制。,  因为显微镜记数和测量的粒子尺寸是根据粒子的视觉效果较大 线形尺寸,而离散变量粒子电子计数器所测出的粒子尺寸是根据比照限度粒子直徑的当量直径。以是由这二种方法测出的粒子浓度值数据信息是差其他,因此不可以混在一起应用。,5.3.5. 粒子记数方法的校准,  全部的仪器设备应按划分,用已经知道的参照限度,根据容许的程序流程举办校准。校准应囊括(但不但仅限于此)水流量和粒度等,在分辨中的每一次粒度测量都应举办相关粒度层面的校准。,5.4.                统计分析分析,  为分辨气体飘浮粒子洁净度界限或U外貌所举办的飘浮粒子浓度值数据信息的互联网和统计分析分析应按下边规定举办。该统计分析分析仅与任意误差(欠缺周全度)相关并非偶然性误差(误差),如不正确校准。,  此限度中的统计分析方法基本原理在附则E中得出。,5.4.1.               分辨的工程验收标准,  在每一个采样点测到的粒子浓度值均值落在或好于洁净度等级分类界限或U外貌的時刻,则清理室或清理区域内气体满足飘浮粒子洁净度等级分类的工程验收标准。除此之外,若是当场采样点数量低于10个,这种均值的平均值之95%相信限制务必落在或好于洁净度等级分类界限或U外貌。,5.4.2. 决定工程验收的筹算,5.4.2.1.采样点的均值粒子浓度值,  在某采样点处,粒子浓度值的均值A为该采样点初各次采样的粒子浓度值Ci之和,除于该点的采样频次N,或如式(5-1)所显示。仅有在采样一次时,均值粒子浓度值才与所测到的粒子浓度值同样。,     A =(C1 C2 …… CN)/N            (式5-1),5.4.2.2.均值的中值,  均值的中值M为单独均值Ai之和除于采样等级L,如式(5-2)所显示。全部采样点的权重计算同样,不思量各采样点的采样频次多个。,     M =(A1 A2 …… AL)/L          (式5-2),5.4.2.3.均值的限度误差,  均值的限度误差SD就是各单独均值与中值的差的平方和(Ai-M)2,除于采样等级L减去1的商的平方根,如式(5-3)所显示。,     SD =[(A1-M)2 (A2-M)2 …… (AL-M)2]1/2          式(5-3),5.4.2.4.均值的限度误差,  均值平均值的限度误差SE就是限度误差SD除于采样等级的平方根,如式(5-4)所显示。,     SD=SD/L1/2                      (式5-4),5.4.2.5.相信限制,  均值之平均值M的95%相信限制由M再加上适度的相信限制(UCL)指数(见表II)与限度误差的相乘来明确,如式(5-5)所显示。,UCL=M (UCL指数 SE)      (式5-5),表II  95%相信限制的相信指数,*当采样等级超越9时,相信限制的筹算已不会再规定(见5.4节)。,5.4.2.6.采样筹算,  采样筹算由附则E得出。,6.                         获得强烈推荐,  当某联邦政府组织 认为此限度不可以满足其基本上要求必须时,应注明对本限度的获得必须并附以适度的确认寄至美国联邦政府服务项目质监总局,确认中应强调哪单位不可以满足基本上必须。建议可寄至服务项目质监总局(GSA)、产品商业服务中间(GPCC)、联邦政府供货办事处(FSSED)、联邦政府供货服务中心工程处(FSED),819Talor街,Fort Worth,TX76102。服务项目质监总局将接受适度行動并通告建议组织 。,7.                         与论文参考文献的分歧,  当本限度中谈及的技艺规定与所参照的参考文献中的规定产生分歧时,应接受本限度中的规定。但应将此分歧的脾气一式二份递交美国联邦政府服务项目质监总局、产品商业服务中间、联邦政府供货服务项目司工程处、819Talor街,Fort Worth,TX76102。,8.     涉及到的美国联邦政府组织 ,  国家商务部,  外交部,国防安全助手秘书办公室,  海军,  水师,  航空兵,  能源部门,  环境卫生与公共性服务中心,交通运输部,服务项目税务局,我国航天航空整治局,核整治联合会, (1992年9月11日公布,替代1988年6月5日公布的FED-STD-209E),

美国限度209E限度-清理室和清洁区的自然环境操纵规定

(1992年9月11日公布,替代1988年6月5日公布的FED-STD-209E)

本限度经美国联邦政府服务项目质监总局、联邦政府供货服务项目司运营专员准许,供美国联邦政府各组织 应用。

文件目录

1.      局限及局限

1.1.    局限

1.2.    局限

2.      论文参考文献

3.      界说

3.1.    飘浮粒子清理等级分类

3.2.    非动态性采样

3.3.    校准

3.4.    清洁区

3.5.    清理室

3.5.1.   空态清理室(设备)

3.5.2.   静态数据清理室(设备)

3.5.3.   动态性清理室(设备)

3.6.    凝聚力核电子计数器(CNC)

3.7.    离散变量粒子电子计数器(DPC)

3.8.    通道平面图

3.9.    同轴线性

3.10.  均动态性采样

3.11.  检测

3.12.  非单边流

3.13.  粒子

3.14.  粒子浓度值

3.15.  粒子尺寸

3.16.  学员漫衍

3.17.  U外貌

3.18.  超微粒子

3.19.  单边流

3.20.  相信限制(UCL)

3.21.  分辨

4.      飘浮粒子清理室等级分类和U外貌

4.1.    表I中列举的洁净度等级分类

4.1.1.   测量表I中列出粒子尺寸

4.1.2.   其他粒子尺寸的测量

4.2.    其他飘浮粒子洁净度等级分类更换真是定标准

4.3.    外貌超微粒子浓度值的划分(U外貌)

4.4.    悬浮粒子浓度的命名

4.4.1.   悬浮粒子洁净度等级分类的明堂

4.4.2.   U外貌的明堂

5.      悬浮粒子洁净度的分辨和检测

5.1.    悬浮粒子洁净度的分辨

5.1.1.   频率

5.1.2.   自然环境检测标准

5.1.2.1.  分辨过程中清理室或清洁区的情况

5.1.2.2.  环境监控系统

5.1.3.   粒子记数

5.1.3.1.  取样点和数量:单边流

5.1.3.2.  取样点和数量:非单边流

5.1.3.3.  取样点的限定

5.1.3.4.  取样量和取样時间

5.1.3.4.1.表I各个其他单一取样设计方案

5.1.3.4.2.其他等级或粒度的单一取样设计方案

5.1.3.4.3.U外貌的单一取样设计方案

5.1.3.4.4.持续取样设计方案

5.1.4.   数据信息处理

5.2.    悬浮粒子洁净度的检测

5.2.1.   检测设计方案

5.2.2.   检测用的粒子记数

5.3.    测量悬浮粒子浓度的方法和设备

5.3.1.   超过就是5微米的粒子的记数

5.3.2.   低于5微米的粒子的记数

5.3.3.   超微粒子的记数

5.3.4.   粒子记数方法的局限性

5.3.5.   粒子记数方法的校准

5.4.    统计分析分析

5.4.1.   分辨的工程验收标准

5.4.2.   决定工程验收的筹算

5.4.2.1.  取样点的均值粒子浓度

5.4.2.2.  均值的中值

5.4.2.3.  均值的限度差值

5.4.2.4.  均值的限度差值

5.4.2.5.  相信限制(UCL)

5.4.2.6.  取样筹算

6.      获得强烈推荐

7.      与论文参考文献的分歧

8.      涉及到的美国联邦政府组织


附则A

应用显微镜对悬浮粒子举办记数和测量

附则B

离散变量粒子电子计数器操作方法

附则C

均速及非均速取样

附则D

超微粒子浓度测量方法

附则E

FED-STD-209E限度所接受的统计分析基本原理推理

附则F

持续取样:一种分辨气体洁净度的可选择方法

附则G

弥补信息内容的源泉

注:本汉语翻译并未囊括全部附则

1. 局限性及局限性

1.1    局限性

本文档建立了由悬浮粒子成分来划分气体清理室和清洁区的气体洁净度的限度等级分类,并且出示了别的可选择的等级分类方法。外貌了分辨气体洁净度的方法及其建立气体洁净度监测方案的规定。也出示了明确和外貌超微粒子浓度的方法(U外貌法)。

1.2    局限性

本文档技艺规定不适感用以清理室和清理区域内应用的武器装备、物件,除悬浮粒子的大小等级分类和数量外,本文档对悬浮粒子的物理学、有机化学、放射性物质或生命特征将未作外貌。在悬浮粒子浓度与有性命的悬浮粒子量中间沒有明确的关联。为了更好地检测及操纵别的方式的环境污染,除开对清理气体供货要检测全部粒子空气污染物并满足所明确的限制值外,还须有别的专业规定。

2.          论文参考文献


2.1.         《实验概率论》Box,George E. P.,Hunter,William G.,J.stuart主编,John Wileg&Sons出版书籍,New York (1982).

2.2.         《悬浮微粒子技艺:悬浮微粒子脾气、情况及测量》Hinds, W. C.主编,John Wileg&Sons出版书籍,New York (1982).

2.3.         《联邦政府推荐常用公制单元》FED-STD-376,强烈推荐应用国际性模块制(SI),在国际性模块与英国习用模块相排斥时,国际性模块制优先选择。

3.  界说


3.1.悬浮粒子的洁净度等级分类

  洁净度是由每立方(每立方英寸)空气中所带有较大 容许微粒子数量来明确的,其等级分类确立见表I,其测量见5.4节中的几率方法。国际性模块制中等级分类名字是由每立方空气中带有0.5μm或更高粒子的较大 容许数之常用对数来提示的,而螺纹公称直径模块(英国习用)等级分类名字则源自每立方英寸空气中带有0.5μm或更高粒子的较大 容许数。

3.2.非动态性取样

  在挪动空气的平均速率差别于气体进到采样器通道平均速率的取样情况下,因为粒子惯性力,非动态性取样会使试品中的粒子浓度差别于所取样空气中的粒子浓度。

3.3.校准

  将精确度不明的测量限度或仪器设备与另一精确度已经知道的测量限度或仪器设备相对性照,用于检验、调整、叙述或根据调节来清除精确度不明的限度或仪器设备在精确度上的差值。

3.4.清洁区

指其中悬浮粒子浓度被控制在某一特殊的清理等级内的某一限定室内空间。

3.5.清理室

  制其中悬浮粒子浓度被控制的屋子,它可囊括一个或好几个清洁区。

3.5.1.空态清理室(设备)

  指已完工并提前准备投用的清理室,在其中全部公共服务设施均已接入并抵达作用规定,但房间内沒有生产制造武器装备和实际操作员工。

3.5.2.静态数据清理室(设备)

  指已完工并安裝好全部服务项目武器装备及生产制造武器装备,可以或已经运作的清理室,但房间内无实际操作员工。

3.5.3.动态性清理室(设备)

  指一切正常运作的清理室,亦即房间内全部公共服务设施、生产制造武器装备及事儿员工已经一切正常运作时的清理室。

3.6.            凝聚力核电子计数器(CNC)

  一种用以对超过或即是0.01μm的小悬浮粒子记数的仪器设备,它凭借电子光学方法来测量由蒸汽凝聚力在微粒子上而产生的液体。

3.7.            离散变量粒子电子计数器(DPC)

  一种可以辨别离散变量粒子的仪器设备,它类似电子光学粒子电子计数器和凝聚力核电子计数器。

3.8.            通道平面图

  指垂直平分单边气旋的平面图,这一平面图就取决于大家很感兴趣的地区(无新奇表明即专指事儿区)的上升气流内,且这一平面图与垂直平分这一气旋偏重的清洁区横剖面具备同样的总面积。

3.9.            同轴线性

  指采样器通道的气旋偏重与被取样单边气旋的偏重同样的取样情况。

3.10.          均动态性取样

  指在同轴线取样情况下,进到采样器入语气流的均值度与测定单边气旋的平均速率同样的情况。

3.11.          检测

  指在清理室或清理区域内对悬浮粒子浓度以及他有关情况的常规测量。

3.12.          非单边流

  指与单边流界说不符合的气旋,之前称之为“漩涡”或“非层.流”。

3.13.          粒子

  一样平常规格为0.001~1000μm的固态、液态或非均相参杂化学物质。

3.14.          颗粒浓度值

  模块容积空气中所带有的离散变量颗粒的数量。

3.15.          颗粒规格

应用光学显微镜调查时,在调查平面图上见到的颗粒视在较大 线形长短,或由自动仪器测出的颗粒的当量直径。(当量直径就是指对体会用详尽和被测颗粒同样体现的已经知道特点的参照圆球直徑。)

3.16.          学员漫衍

  漫衍涵数为:t=(样本均值-整体平均值)/样本均值的限度差值

  该式是以正态(高斯函数)漫衍取样得到的,临界点表可从统计学教材中寻找(见2.1节)

3.17.          U外貌

  指超微颗粒的较大 浓度值(每立方空气中颗粒数),U外貌可适度用做为相信限制、当场均值的限制或者一样做为当场均值与相信限制。U外貌不会受到飘浮颗粒清理级其他限定,它适用单独清理等级的飘浮颗粒也可用以好几个清理等级相参杂的飘浮颗粒。

3.18.          超微颗粒

  指规格局限性约莫从0.02μm到附则D中外貌的离散变量颗粒计数器(DPC)的测量值限制中间的颗粒,超微颗粒在筹算上是根据电子计数器高效率与附则D中的颗粒规格之比以明确的。

3.19.          单边流

  指一般 具备平行面的气旋线以单一偏重健身运动并均速根据其横剖面的气旋。之前称之为“层.流”。

3.20.          相信限制(UCL)

  若是平均值是以正态(高斯函数)漫衍中取样得到的,而按给出值信度(本限度中取95%)下筹算个人所得的估算限制将超过实际平均值,则称这一平均值估算限制为相信限制。

3.21.          分辨

  指在清理室或清理区域内按飘浮颗粒洁净度漫衍界限、U外貌或别的相关划分,明确气体的洁净度的过程。

4.                  飘浮颗粒清理室等级分类和U外貌

  气体洁净度的分辨按本限度第5节应用一个新奇限定的等级分类系统软件。

  本单位明确了气体洁净度的等级分类限度,每一洁净度等级对飘浮颗粒规格局限性和浓度值均有限定(见表I)。另外,为了更好地明确根据颗粒规格变化的限度等级分类和其他更换的(非限度)等级分类,也制定了划分。除此之外,还出示了应用超微颗粒浓度值(U外貌)外貌气体洁净度的基本概念。

  给出的专业名词系统软件合适外貌全部洁净度等级分类和U外貌。

4.1.            表I中列举的洁净度等级分类

  飘浮颗粒洁净度等级分类列于表I中,气体洁净度的分辨则根据对表I中的一种或多种多样颗粒规格或其他划分颗粒规格的测量来进行,详述如下:

4.1.1.             测量表I中列出颗粒规格

  根据测量表I中的某一等级列出的一种或多种多样颗粒规格来进行分辨,并应用4.4.1.中上述的明堂抄录叙述。倘若测出的颗粒浓度值是按4.5节的统计分析分析明确的,并在表I列出相匹配级划分的任一颗粒浓度值的界限内,则认为飘浮颗粒洁净度满足该级。

4.1.2.             其他颗粒规格的测量

  也可根据测量表I中列出以外的别的颗粒的规格来进行分辨,并按下列限定标准来举办:别的粒度或规格挑选务必在表I所标出级其他规格局限性内。倘若测出的颗粒浓度值是按5.4节的统计分析分析明确的,并且每一选中的别的颗粒的粒度也不超越表I中得出的下一级很大粒度的界限,则认为飘浮颗粒洁净度满足该级。

4.2.            其他飘浮颗粒洁净度等级分类更换真是定标准

  在独特主要用途的情况下还可以界说差别于表I中列出洁净度等级分类的别的等级(如M2.2级、M4.3级及M6.四级(5600~7000级))。与表I中列出的洁净度等级同样,别的等级的等级分类名字明确也是建立在对0.5μm及之上颗粒浓度值的界限上。别的规格颗粒的浓度值界限可在表I中按邻近的洁净度等级浓度值界限一样的占比得到,此界限还可以根据表I论文脚注内的类似化学方程筹算出去。一样,针对洁净度等级超越M1或1级的情况。颗粒规格差别于0.5μm的颗粒浓度值界限与M1或1级的浓度值界限具备同样的占比。


表I  飘浮颗粒洁净度等级分类

  对每一分级名字均得出了其等级分类界限,此界限强调的特殊飘浮颗粒浓度值(模块容积颗粒数)均超过就是表格中所列举的颗粒规格。

等级分类名字

等级分类界限

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

5.0μm

模块容积

模块容积

模块容积

模块容积

模块容积

SI

螺纹公称直径

M3

Ft3

M3

Ft3

M3

Ft3

M3

Ft3

M3

Ft3

M1

1

350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10.0

0.283

--

--

M1.5

14240

35.0

265

7.50

1069

3.00

35.3

1.00

--

--

M2

3500

99.1

757

21.4

309

8.75

100

2.83

--

--

M2.5

10

12400

350

2650

75.0

1060

30.0

353

10.0

--

--

M3

35000

991

7570

214

3090

87.5

1000

28.3

--

--

M3.5

100

--

--

26500

750

10600

300

3530

100

--

--

M4

--

--

75700

2140

30900

875

10000

283

--

--

M4.5

1000

--

--

--

--

--

--

35300

1000

247

7.00

M5

--

--

--

--

--

--

100000

2830

618

17.5

M5.5

10000

--

--

--

--

--

--

353000

10000

2470

70.0

M6

--

--

--

--

--

--

1000000

28300

6180

175

M6.5

100000

--

--

--

--

--

--

3530000

100000

24700

700

M7

--

--

--

--

--

--

10000000

283000

61800

1750

表I所显示洁净度分级界限只求分级界说的目地而明确,在一切独特情况下不提示从而所建立的粒度规格漫衍。

中央级其他浓度值界限可类似根据下式筹算:

正离子数/m3=10M(0.5/d)2.2

式中M为国际性模块(SI)制中分级的特殊数据名字,d是颗粒规格(模块为μm)。

或    正离子数ft3=Nc(0.5/d)2.2

式中Nc为螺纹公称直径模块中分级的特殊数据名字,d是颗粒规格(模块为μm)。

取名和外貌洁净度分级时强烈推荐应用国家标准模块(SI)制的名字和模块,但螺纹公称直径(英国习用)模块也可应用。

当用国际性制模块提示时,分级的特殊数据名字是由每立方空气中带有的0.5μm及之上颗粒的较大 容许数之常用对数值(以10为底,末尾数求整到第一位小数)得到的,当用螺纹公称直径(英国习用)模块提示时,分级的特殊数据名字则由每立方英寸空气中所带有的超过或即是0.5μm颗粒的较大 规定值得到的。

(a)                   针对洁净度分级低于M4.5级(1000级)的别的等级,其浓度值可根据测量下列颗粒规格局限性内的颗粒来明确,按划分此颗粒规格局限性就可以是超过或即是0.5μm又但是超过或就是5μm或二种均可。

(b)                   针对洁净度分级超过M4.5级(1000级)又低于3.5级(100级)的别的等级,其明确能够根据测量下列颗粒规格局限性内的一种或多种多样得到的,按划分此颗粒规格局限性能够是超过或即是0.2μm、超过或即是0.3μm、超过或即是0.5μm。

(c)                   针对洁净度分级低于M3.5级(100级)的别的等级,其明确能够根据测量下列颗粒规格局限性内的一种或多种多样得到的,按划分此颗粒规格局限性能够是超过或即是0.1μm、超过或即是0.2μm、超过或即是0.3μm及超过或即是0.5μm。

4.3.            外貌超微颗粒浓度值的划分(U外貌)

  按划分,U外貌用于提示超颗粒浓度值时可按3.17节的划分。U外貌可以用来弥补洁净度分级的界说,也可独立应用。U外貌的明堂将在4.4.2节中表明。

4.4. 飘浮颗粒浓度值的取名

4.4.1.飘浮颗粒洁净度分级的明堂

  各洁净度分级可应用“X级(在Yμm)”的明堂来提示,这时X意味着飘浮颗粒洁净度分级的特殊数自名字,Y意味着颗粒规格或与划分浓度值(分级)界限相对性应的颗粒规格。

  比如:“M2.5级(在0.3μm和0.5μm)即指每立方空气中带有0.3μm之上的颗粒不超越1060个,0.5μm之上的颗粒不超越353个。

  “100级(在0.5μm)即指每立方英寸空气中带有0.5μm之上的颗粒不超越一百个。

4.4.2.U外貌的明堂

  U外貌可独立应用或做为飘浮颗粒洁净度等级分类明确的弥补。因为超微颗粒的低限早已为应用的武器装备所决定,因此对U外貌无须划分颗粒规格(参照3.18节及附则D)。

  U外貌可应用明堂“U(X)”来提示。这儿X为每立方空气中超微颗粒的较大 浓度值。

  比如“U(20)”提示每立方空气中超微颗粒不超越20个。“M1.5级(在0.3μm),U(2000)”则提示每立方空气中0.3μm颗粒不超越106个,超微颗粒不超越2000个。

5.   飘浮颗粒洁净度的分辨和检测

5.1.            飘浮颗粒洁净度的分辨

  凭据4节界说,分辨是明确一个清理室或清理区域内的气体是不是满足飘浮颗粒洁净度等级分类界限或U外貌(或二者均满足)的过程。应在5.11~5.14节中上述的标准下,根据对飘浮颗粒浓度值的测量来进行分辨。颗粒规格或为分辨而举办测量的颗粒规格理应按划分应用4.4节中所外貌的类似明堂提示。

5.1.1.             频率

  分辨检测应在考研初试之后按一定间距或别的划分按时举办。

5.1.2.             自然环境检测标准

  洁净度等级分类的分辨应在囊括下列划分的实际操作标准下根据测量颗粒浓度值来进行。

5.1.2.1.                  分辨过程中清理室或清洁区的情况

  分辨过程中清理室或清洁区的情况应标出“空态”、“静态数据”、“动态性”或别的划分情况。

5.1.2.2.                  环境监控系统

  应当记录在分辨过程中与清理室和清洁区相关的测量及调查的实际环境监控系统,该类主要参数能够囊括(但不但仅限于此)气体压力、换风、房间内标准气压、弥补排风量、单边流平面度、气体绕度、溫度、环境湿度或漏点、房间内震动,除此之外,房间内员工及武器装备流动性情况也应标明。

5.1.3.             颗粒记数

  分辨清理室和清洁区的洁净度按适度的颗粒计数法或5.3节中上述方法或按别的划分的方法举办,适度的取样详细地址和取样设计方案应当从下列表明中挑选。

5.1.3.1.                  取样点和数量:单边流

  对单边流,取样点应在全部清洁区的通道平面图上均值漫衍,清理区域内受武器装备限定或有独特划分的以外。对单边流清洁区的分辨所规定的最少取样点数量应是下列(a)、(b)中的小点的。

  (a)、国际性模块(SI)制:A/2.32

        这儿A就是指通道平面图的总面积(模块为平米)。

        螺纹公称直径模块(英国习用):A/25

        这儿A就是指通道平面图的总面积(模块为平方米)。

  (b)、国际性模块(SI)制:A*64(10M)0.5

        这儿A就是指通道平面图的总面积(模块为平米),M是表I中列出国际性模块制洁净度等级分类的特殊数据名字。

螺纹公称直径模块(英国习用):A/(Nc)0.5

        这儿A就是指通道平面图的总面积(模块为平方米),M是表I中列出国际性模块制洁净度等级分类的特殊数据名字。

  取样点数量一般 求整到下一个上位整数金额。

5.1.3.2.取样点和数量:非单边流

对非单边流,取样点应在清洁区水准偏重均布,但独特划分的可在竖直偏重布署,清理区域内受武器装备限定的以外。

  对非单边流清洁区的分辨所规定的最少取样点数量应就是:

  国际性模块(SI)制:A*64/(10M)0.5

  这儿A就是指清洁区的路面总面积(模块为平米),M是表I中列出国际性模块(SI)制洁净度等级分类的特殊数据名字。

  螺纹公称直径(英国习用):A/(Nc)0.5

这儿A就是指清洁区的路面总面积(模块为平米),Nc是表I中列出螺纹公称直径模块洁净度等级分类的特殊数据名字。

  取样点娴熟一般 求整到下一个上位整数金额。

5.1.3.3.取样点的限定

  一切清洁区的取样点不少于两个,除在清理区域内受武器装备限定外,取样点应在清理地区内均值漫衍,每一个取样点最少取样一次(见5.1.3.1节或5.1.3.2节),每一个取样点取样可超过一次,且差其他取样点会有差其他取样频次。但每一个清理区域内总取样频次不少于5次。

  在适度的時刻,取样部位超过所规定的至少取样点的取样将增加平均值和其相信限制平均值的精确度。

5.1.3.4.取样量和取样時间

  取样的空宇量和取样時间凭据以下适度的阶段明确。

5.1.3.4.1.表I各个其他单一取样设计方案

  倘若对每一个划分的颗粒规格,颗粒浓度值均在该洁净度等级分类的界限内,则对每一个取样点每一次取样的被测空宇量务必是至少能测到20个颗粒的有效空宇量。

  下边的公式计算出示了一个被取样的最少空宇量的均值筹算公式计算,此公式计算可做为表I中列出的每模块容积颗粒数量的有关归属于单位。

  V=20个颗粒/[表I中的等级分类界限(颗粒数量/容积)]

  气体的取样容积应不少于0.00283M3(0.1立方英寸),除此之外,取样容积的筹算实际效果不可求整。

  很大的取样容积可能减少各取样值中间的差别,但取样容积不可以大到使取样時间越来越不切实际。取样容积无须在全部取样点都同样。但是颗粒浓度值要以每立方(立方英寸)空气中的颗粒数量记录叙述,而与取样容积不相干。取样容积也应记录。在取样容积超过最少取样容积时将提升 取样平均值两者之间相信限制平均值的精确度。

  取样時间可根据取样容积除于取样速度来筹算得到。

5.1.3.4.2.其他等级或粒度的单一取样设计方案

  按4.2节划分,为了更好地分辨气体是不是满足别的洁净度等级分类界限需要的最少取样容积,务必凭据5.1.3.4节上述的方法,由表I中列出的邻近洁净度等级分类的取样容积所决定。

  按4.2节上述,对别的颗粒规格测量的分辨需要的最少取样容积,务必凭据5.1.3.4.1节上述的方法,由表I中列出的邻近洁净度等级分类的取样容积所决定。

  取样時间可根据取样容积除于取样速度来筹算得到。

  对相关取样容积的别的考虑,一样适用以上情况,详细5.1.3.4.1节上述。

5.1.3.4.3.U外貌的单一取样设计方案

  分辨超微颗粒浓度值需要的取样容积是在划分U外貌标准下能测得至少20个颗粒的有效气体容积,最少容积(立方)由20/U(x)筹算得到,筹算实际效果不必求整,但一切标准下都不可低于0.00283立方。

  取样時间可根据取样容积除于取样速度来筹算得到。

5.1.3.4.4.持续取样设计方案

  分辨洁净度等级在M2.5级及之上(10级之上)的气体的另一种方法是应用附则F中上述的持续取样方法(持续取样是分辨洁净度等级在M2.5级及之上的气体的一种可选方法),持续取样的优势是它有可能明显地减少每一个取样点的取样容积,另外也减少取样時间。

5.1.4.             数据信息处理

  


5.2             飘浮颗粒洁净度的检测

  分辨以后,倘若有划分,则应在运作时期对清理室或清理区域内飘浮颗粒的洁净度举办检测。为了更好地表明飘浮颗粒洁净度的变化趋于,对5.1.2.2节中列出的别的环境监控系统也可按划分举办检测。

5.2.1. 检测设计方案

  检测设计方案应凭据飘浮颗粒洁净度等级和生产制造过程及物质爱惜对环境污染操纵的必须水准来制定,检测设计方案应划分检测频率、实际操作标准、颗粒计数方法、取样点以及数量、取样容积以及数据信息处理方法。

5.2.2.               检测用的颗粒记数

  按划分,检测设计方案中的颗粒计数应接受5.3节的一种方法举办,颗粒浓度值的测量应在全部清理区域内,或在洁净度规定新奇重要的地区,或是在测量分辨检测中发觉颗粒浓度值较高的地区举办。

5.3.                    测量飘浮颗粒浓度值的方法和设备

测量飘浮颗粒浓度值的方法和设备应凭据颗粒规格和规定的粒度来挑选,除开有别的划分的,下边的方法适用分辨空气中飘浮颗粒的洁净度和U外貌,一样也适用气体洁净度的检测。若是确认别的的颗粒计数方法或武器装备及其别的的方法和武器装备的组成的精确度和可重复性就是或好于下列方法和武器装备的,那麼还可以接受。

用于明确飘浮颗粒浓度值的武器装备应按划分凭据生产厂家的表明精确维护保养并按时验证。

5.3.1.               超过就是5微米的颗粒的记数

  针对超过就是5μm的颗粒,其浓度值明确应应用附则A中的方法(应用显微镜对飘浮颗粒举办记数和测量)。

  此外,若是下边上述的样版互联网、传输和测量过程都满足划分规定,那麼能够应用离散变量颗粒记数器。凭据附则B中的方法(离散变量颗粒记数器操作方法),针对超过5μm的颗粒,离散变量颗粒计数器的记数高效率是可明确的。离散变量颗粒记数器仅有在超过5μm的颗粒记数时才华应用。

  不管应用哪种方法,抽样口规格、抽样速度及抽样口精准定位的挑选应容许均速取样互联网。均速取样是应优先选择接受的,但是若是均速取样不可以完成时,取样差值的估计可根据应用附则C(均速及非均速取样)中的方法得到。纵使在采样器通道立即遭遇注入气旋(同轴线取样)的時刻,倘若入语气流速度差别于采样器周边的气旋速度,也将人为因素地导致在入口周边的颗粒浓度值的增加或减少。其公式计算也适用筹算此类非均值取样在调查测量颗粒浓度值时需产生的危害(参照例2.2和附则C)。针对超过即是0.5μm的颗粒,当这类人为因素导致的浓度值调整低于5%时,能够忽略。但针对超过就是5μm的颗粒,当预见到这类人为因素导致的浓度值变化超越5%时,则应记录这一基因突变的增减量,在同飘浮颗粒洁净度等级分类界限对比前,务必校准这一标值。

5.3.2.               低于就是5微米的颗粒的记数

低于就是5微米颗粒的浓度值凭据附则B中的方法应用离散变量颗粒计数器来明确。粒度大小数据信息应按用限度颗粒校准的当量直径记录。

前边提及(见5.3.1节)对低于即是0.5微米的颗粒,由非均值取样产生的差值低于5%,但是对超过就是5微米的颗粒则会产生明显的差值。倘若要对颗粒规格在0.5μm到5μm局限性内的一种或多种多样颗粒举办分辨,那麼由非均值取样产生的差值则会随颗粒规格的扩大而增加,这时必须对非均值取样举办校准。

5.3.3.               超微颗粒的记数

  超微颗粒浓度值由附则D中的方法(超微颗粒浓度值测量方法)来明确。

5.3.4      . 颗粒记数方法的局限性

  在统一取样点应用离散变量颗粒计数器举办气体取样记数时,差别设计方案构造或事儿基本原理的电子计数器会产生差其他数据信息,乃至刚经过校准的同样设计方案的仪器设备对一样的气体举办取样时,也会产生很大的差别。以是在对比差别仪器设备的测量实际效果时要重视这一点。

  应用离散变量颗粒计数器时,不可超越生产厂家所划分的颗粒浓度值或颗粒规格的限制。

  因为显微镜记数和测量的颗粒规格是根据颗粒的视觉效果较大 线形规格,而离散变量颗粒计数器所测出的颗粒规格是根据比照限度颗粒直徑的当量直径。以是由这二种方法测出的颗粒浓度值数据信息是差其他,因此不可以混在一起应用。

5.3.5. 颗粒记数方法的校准

  全部的仪器设备应按划分,用已经知道的参照限度,根据容许的程序流程举办校准。校准应囊括(但不但仅限于此)水流量和粒度等,在分辨中的每一次粒度测量都应举办相关粒度层面的校准。

5.4.                统计分析分析

  为分辨气体飘浮颗粒洁净度界限或U外貌所举办的飘浮颗粒浓度值数据信息的互联网和统计分析分析应按下边规定举办。该统计分析分析仅与随机偏差(欠缺周全度)相关并非偶然性差值(差值),如不正确校准。

  此限度中的统计分析方法基本原理在附则E中得出。

5.4.1.               分辨的工程验收标准

  在每一个取样点测到的颗粒浓度值均值落在或好于洁净度等级分类界限或U外貌的時刻,则清理室或清理区域内气体满足飘浮颗粒洁净度等级分类的工程验收标准。除此之外,若是当场取样点数量低于10个,这种均值的平均值之95%相信限制务必落在或好于洁净度等级分类界限或U外貌。

5.4.2. 决定工程验收的筹算

5.4.2.1.取样点的均值颗粒浓度值

  在某取样点处,颗粒浓度值的均值A为该取样点初各次取样的颗粒浓度值Ci之和,除于该点的取样频次N,或如式(5-1)所显示。仅有在取样一次时,均值颗粒浓度值才与所测到的颗粒浓度值同样。

     A =(C1 C2 …… CN)/N            (式5-1)

5.4.2.2.均值的中值

  均值的中值M为单独均值Ai之和除于取样等级L,如式(5-2)所显示。全部取样点的权重计算同样,不思量各取样点的取样频次多个。

     M =(A1 A2 …… AL)/L          (式5-2)

5.4.2.3.均值的限度差值

  均值的限度差值SD就是各单独均值与中值的差的平方和(Ai-M)2,除于取样等级L减去1的商的平方根,如式(5-3)所显示。

     SD =[(A1-M)2 (A2-M)2 …… (AL-M)2]1/2          式(5-3)

5.4.2.4.均值的限度差值

  均值平均值的限度差值SE就是限度差值SD除于取样等级的平方根,如式(5-4)所显示。

     SD=SD/L1/2                      (式5-4)

5.4.2.5.相信限制

  均值之平均值M的95%相信限制由M再加上适度的相信限制(UCL)指数(见表II)与限度差值的相乘来明确,如式(5-5)所显示。

UCL=M (UCL指数 SE)      (式5-5)

表II  95%相信限制的相信指数

取样指数L

2

3

4

5

6

7

8

9

>9*

95%相信指数

6.31

2.92

2.35

2.13

2.02

1.94

1.90

1.86

NA

*当取样等级超越9时,相信限制的筹算已不会再规定(见5.4节)。

5.4.2.6.取样筹算

  取样筹算由附则E得出。

6.                         获得强烈推荐

  当某联邦政府组织 认为此限度不可以满足其基本上要求必须时,应注明对本限度的获得必须并附以适度的确认寄至美国联邦政府服务项目质监总局,确认中应强调哪单位不能满足基本上必须。提议可寄至服务总局(GSA)、产品商业服务中间(GPCC)、联邦供应服务处(FSSED)、联邦供应服务企业工程处(FSED),819Talor街,Fort Worth,TX76102。服务总局将接受适度行動并通告提议组织 。

7.                         与论文参考文献的分歧

  当本限度中谈及的技艺规定与所参照的参考文献中的规定产生分歧时,应接受本限度中的规定。但应将此分歧的脾气一式二份递交联邦政府部门服务总局、产品商业服务中间、联邦供应服务司工程处、819Talor街,Fort Worth,TX76102。

8.     涉及到的联邦政府部门

  国家商务部

  外交部,国防安全助手秘书办公室

  海军

  水师

  航空兵

  能源部门

  环境卫生与公共性服务部

交通运输部

服务税务局

我国航天航空整治局

核整治联合会

英国联邦限度209E限度-清理室和清洁区的自然环境操纵规定由whwccj翻译片梳理.
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