渗透性

铝更容易受到表面缺陷和渗透性问题的影响，这可能导致更高的脱气率。然而，这可以通过表面处理（如阳极氧化或使用扩散屏障）在一定程度上缓解。

化学相容性

铝和不锈钢都对各种化学品具有出色的抵抗力，但不锈钢更适合用于具有刺激性化学品或腐蚀性物质的环境。铝与某些化学品的反应性限制了它在存在腐蚀性气体的环境中的使用。

导热系数

导热系数在涉及大量热负荷的过程中非常重要。铝的导热性高于不锈钢，这在需要高效散热或温度循环的应用中可能具有优势。不锈钢具有散热较慢、温度范围较快等优点，使其适用于需要极端温度循环或长时间暴露在高温下的任务。

重量和可加工性

不锈钢以其高强度和硬度而闻名，比铝更具加工性。它需要更大的力和功率，导致工具磨损增加，需要更坚固的设备。铝比不锈钢更轻、更容易加工，这有利于以较低的制造成本定制馈通端口、阀门和计量表。

密封真空焊接

扩展铝和不锈钢材料的设计自由度和定制制造能力。这两种材料都可能带来挑战，并且高度依赖于特定的焊接技术和条件。铝焊缝需要更周到的清洁度、接头设计和焊接技术方法。真空密封铝焊缝更难实现，因为如果去除覆盖材料，该材料更容易出现冷却不均匀、表面氧化和泄漏路径的发展。因此，当定制制造需要密封焊缝时，不锈钢是一种更宽容的材料。

成本

虽然铝通常更具成本效益，但随着时间的推移，不锈钢具有卓越的耐用性和较低的维护成本。尽管不锈钢真空室的前期成本较高，但从长远来看，其更高的耐用性和化学弹性可以节省大量成本并减少维护负担。

球形真空室

球形真空室受益于所有侧面的压力均匀分布，因此在低压下表现出最大的稳定性和强度。这就是为什么您会发现大多数深海船只和潜艇都保持圆柱形或球形的原因。

球形腔室以其在最大限度地减少材料使用、实现均匀真空条件以及为真空室系统提供具有最小挠度的理想几何形状方面的效率而闻名。然而，有几个因素会使球形腔室不太实用。

球形腔室提供最少的内腔空间，并且由于其独特的几何形状，制造更大尺寸的成本越来越高。球形腔室需要精确而复杂的几何形状，要生产出厚度均匀的几何形状可能具有挑战性且成本高昂。对于许多工业或高要求应用，替代几何形状和非塑料材料通常更实用且更具成本效益。

圆柱形真空室

圆柱形真空室由于其高强度和均匀的压力分布而适用于通用应用。圆柱形形状最大限度地减少了应力点，使其成为需要一致真空度的工艺的理想选择。然而，圆柱形设计的缺点是它们的内腔空间最小，并且检修门可能会带来限制。

方箱式真空室

箱式真空室经常用于实验室环境，易于访问、配置灵活且制造成本最低。方形或矩形真空室适用于需要频繁进入真空室内部并支持平板物体（如电路板、文件、纺织品和大容量阵列）的实验。平坦的墙壁最大限度地减少了光线的扭曲，无需打开门即可更容易看到腔室内的真实形状。

Terra 的箱形铝制真空室和 304 不锈钢真空室配有铰链门，允许真空室的门朝上或朝前放置，具体取决于您的应用。将腔室门朝上放置有助于安全地容纳液体溢出或腐蚀性化学品。将腔室放置在门朝前的位置，使门可以轻松打开，从而加快批处理速度。

主室体

主体由优质铝或不锈钢制成，提供结构完整性并最大限度地减少脱气。材料的选择会影响腔室在化学相容性、防潮性、刚度和宽温度范围方面的性能和耐用性。

门和端口

对于进入腔室和引入材料或仪器至关重要。同样，门和端口必须在不影响主要结构件的情况下集成。平坦的表面会产生最大的挠度，并且最容易屈曲，因此将密封法兰与碟形头或弧板相结合是使门在真空下更坚固的常用方法。

真空泵

真空泵对于在真空室内产生和维持低压至关重要。泵的选择取决于所需的真空水平、抽气速度和工艺要求。常见的类型包括旋转叶片泵、涡旋泵、涡轮分子泵和低温泵。

真空计

真空计测量真空室内的压力。它们对于监测和控制真空水平至关重要。常见类型包括皮拉尼计、电容压力计和电离计，每种都适用于不同的压力范围。