洁净室工程师培训教材大全-张利群。

综合医院修建设计规范GB 51039-2014(全文完整版)

综合医院建筑设计规范GB 51039-2014(全文完整版)

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采用必要的技术手段创造和维持空间内要求的空气环境是空气调节的任务.

在空调系统中，空气处理设备即空调是实现空气热、湿交换和空气过滤净化的核心部分.

一个房间或一个空间，一般来说，除了房间内部的围护结构、人员、照明灯具和设备产生的热、湿、颗粒、微生物或其他有害物质的干扰外，还有房间外部的大气、太阳辐射等干扰.

为了消除上述来自室内外的干扰，必须采取必要的技术手段，用于空气处理设备量、湿气和过滤处理的空气转移、更换、稀释和淡化，保证室内必要的空气环境.

空调原例图见图1和图2.

，，，，图2，美，美，美，美，美，美，美，美，美，美，美，美，美，美，美，美，美，美，美，美，美，美，美，美、、、、舒适的空气调节是为了满足人们的舒适要求而设置的空气调节.

、、、、、、、、、、、、、、、、、、环境空气的温湿度等参数由生产技术决定.

不同的生产工艺对环境空气参数的要求也不同.

，b，湿空气蛆湿图及其应用≠1.

不，湿空气是我们生活和工作的环境空气，是生产和科学研究的环境空气.

其主要成分为干燥空气和水蒸气.

干空气是指不含水蒸气的空气，其中有78%的氮气、21%的氧气和不足1%的氩气、霓虹等惰性气体和少量的二氧化碳.

湿空气中水蒸汽的含量非常少，但其作用非常大.

从某种意义上说，调节湿空气中水蒸气的含量是空气调节的重要任务之一.

潮湿空气的≠潮湿图是用来表现潮湿空气的温度、相对湿度、含湿量和隈值等空气状态参数及其关系的线计算图.

在一定的大气压力条件下，蛆虫值作为纵坐标的湿度作为横坐标，其夹角为1350.

图中有等温线、等相对湿度线、等含湿量线和等㎜值线.

利用㎜湿图可以表示空调处理过程中发生的混合、加热、冷却、加湿、除湿等所有空气处理过程，并且利用㎜湿图可以计算空气处理过程中所需的冷量、加热量、加湿量等各种用量.

濑湿图看图3.

、、2、濑湿图的名词定义:、a.

干球温度:干球温度计测定的空气温度.b.湿球温度:用湿球温度计测定的空气温度.

也就是说，用浸水的纱布包裹温度计的水银球，测定的稳定的空气温度.

理论上，湿球温度在室内放置水，水吸收空气中的热量后，部分水蒸发成水蒸气释放到空气中，增加空气的潜在热量，空气失去热量，降低温度失去空气的热量.

该热湿交换平衡后，空气得到的潜热(水蒸汽)和失去的显热(温度下降)达到平衡后，该空气的总热量(㎜值)不变时，此时的水面空气温度为空气湿球温度，<指增加的潜热等于失去的显热时，>湿球温度，相对湿度为100%时的饱和温度.c.相对湿度:空气中实际水蒸气的分压与同温饱和状态空气的水蒸气的分压之比.

饱和水蒸气的分压力为：100%.d.饱和水蒸气的分压力:空气中的水蒸气增加饱和时，空气中的水蒸气凝结成水从空气中分离，当时的温度为饱和温度，其相对湿度达到100%.e.露点温度:在一定大气压力的条件下，某湿度下的未饱和空气温度下降，相对湿度增加，达到饱和状态的空气中的水蒸气凝结成水珠，从空气中分离时的温度被称为露点温度.

也就是说，空气中的水蒸气压力随着空气温度的降低而上升，达到饱和状态(100%以上)时的温度被称为露点温度.f.含湿量:即环境空气中1公斤干燥空气中含有水蒸气的质量(g.g).g.:空调室内全热负荷与全湿负荷的比较.

电子工业生产热量大、生产湿量小的清洁现场一般的热湿度比8000~10000大卡/kg大.

医院清洁手术部清洁手术室的热湿比约为18002400大卡/kg.

人多，人产湿量大，但热负荷小.

、、3、㎜湿图的应用，在㎜湿图中可以划出空气调节系统中各种空气处理的过程线，在线计算图中可以查出各种空气处理过程的空气参数和各种必要的用量.a.等湿加热:空气湿度不变的条件下的加热.

环境空气干球温度升高，相对湿度降低.

例如，空气处理中以热水和蒸汽为热源的换热器加热、电加热器加热.

是正确的无限大过程图.请看图4.b.等湿冷却:空气湿度不变条件下的冷却.

环境空气干球温度下降，相对湿度增加，但没有露点，没有凝结水.

例如，空气处理中的干表很冷.

也就是说，送入表冷冻器的冷冻水的初温比空气露点高.

这个时候，是无限大的过程线.看图5.，图四.加热过程.也就是说，空气和水直接充分进行热交换的过程.

水吸收空气中的热量后，部分水蒸发成水汽进入空气，空气失去热量温度下降.

最终达到失去空气的热量等于空气中增加的水蒸气的热量.

其空气的总热量不变.

工艺线为135，O线，KT=KT，工艺线见图6.

空气处理中淋浴室(淋浴循环水)湿膜加湿、高压喷雾加湿、超声波加湿等加湿的过程线.，d.生温除湿:空气温度上升，湿度下降的过程.

固体化学除湿的过程是生温除湿的过程.

也就是说，固体吸湿剂吸收空气中的水分发生化学反应放热，空气温度上升，绝对湿度下降，相对湿度也下降.

过程线类似于蛆.

常见的分子筛、氯化锂、硅等固体吸湿是生温除湿过程.

过程线见图7.、.，图六，图六.

蛆虫加湿过程:空气干球温度不变条件下的加湿.

向空气中喷洒水蒸汽的过程是等待温度加湿的过程.

空气温度保持不变，直接将水蒸气喷入空气中变成空气中的水蒸气.

空气处理中常用的喷雾蒸汽、喷雾蒸汽电极式、电热式加湿器.

过程线见图8.f.降温除湿(降温干燥):降低空气温度同时降低湿度的空气处理过程.

向空气中喷洒低于空气露点的冷冻水，或者将低于空气露点的冷冻水(冷冻剂)通过表面冷却器，与空气接触后，降低空气温度，冷凝到空气中的水蒸气，从空气中分离出水滴，降低空气温度，降低绝对湿度.

这是空气处理中最常用的降温除湿方法，也是冷冻除湿方法.

过程线见图9.

对空气中喷淋液体吸湿剂的处理过程也是降温除湿减湿的过程，但在工程中很少应用.

，，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图8，图9，图9，图9，图，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图9，图6，图9，2在工程中很少应用.

过程线可以看到图10.h.空气混合过程:两种不同状态的空气混合时，其空气混合状态点在两种空气状态点的连接上.

线段长度的比例是两个空气质量的比例.

其过程线见图11.

，图十升温，加湿过程湿过程，看图十二典型的空气处理过程.

湿空气状态的各种参数，例如干球温度、湿球温度、露点温度、相对湿度、湿度含量等相互关联，只要知道其中的2、3个参数，就能确定湿空气状态点.看图13.，图十二.

典型的空气处理过程.

例如，洁净室的室内参数参数是NNT，送风参数是性的，热湿比是攻击性的.新风系统.夏季户外计算参数为Ws，冬季户外计算参数为Wd.

现在需要将室外空气处理到送风参数点s，用管道送到清洁室内，可以满足清洁室的温度、湿度要求.

采用以下方法，热空气，湿处理可达到同样的目的.看图14.1#，初步图十四.

纣为湿的空气处理过程，例如，夏季空调的空气处理过程可以通过以下方式实现:a.，b.WS，→a，→，s，莎，莎，莎，用固体化学去潮湿，室外空气冷却.c.WS→S，用喷淋液吸湿剂降温、除湿、降湿、降湿.

另外，例如，冬季空调的空气处理过程可以通过以下方法实现.a.Wd→b带→b带→l→→s带，首先用加热器预热室外空气，然后用加热器加热.b.Wd→→c，→l，→s，用加热器预热室外空气，然后用加热器加热.，c.Wd，→d，→，ST，沙，沙，沙，沙，沙，沙，沙，沙，沙，沙，沙，沙，沙，d.

Wd，→L，→，S，沙，沙，沙，沙，沙，沙，沙2#、、、、、、、、、、气流组织不合理织不仅直接影响空调房间的空调参数和空调效果，还需要空调系统的能源消耗.

空调系统的送风口注射空气流是影响室内气流组织的主要因素，空调的回风口从流体力学的角度是空气的汇流，回风速度衰减快，与其距离的平方成反比.

因此，回风口位置对室内气流组织的影响较小.

空调系统的气流组织形式主要有上下、上下、上下、上下、上下等形式.看图15.，3#，图十五、空气调节的气流组织，金，金，a，洁净室及其四大技术要素，根据生产和科研要求控制室内空气环境的洁净度、温度、相对湿度、压力、噪音、振动、静电等参数的房间洁净室的四个技术要素是粗效、中效和高效三级过滤、足够的净化送风量、室内正压的建立和维护、讨伐方面的高效或超高效过滤器的设置.

、另外，随着国民经济和科研事业的迅速发展，洁净室的应用越来越广泛，越来越重要，洁净室可以根据气流型、使用用途和控制的主要对象进行分类.

1、洁净室按气流型划分，①、谭、单向流(层流)洁净室，其中垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室.

(2)、非单向流(乱流)洁净室、③、③、混合流洁净室、④、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金、金▲单向流气流的净化原理是活塞和挤出原理，将灰尘从一端挤出另一端，用清洁的气流置换污染气流.

包括垂直单向流和水平单向流.

，垂直单向流是气流以一定的速度(0.

25m/s~0.

5m/s)从天花板流向地坪的气流型.

这种气流可以创造100级、10级、1级、1级或更高的清洁级.

但是，最初的投资高，运行费高，工程中尽量将面积压缩到最小，使用必要的部分.

水平单向流是气流以一定的速度(0.

3m/s~0.

5m/s)从一面墙流向对面墙壁的气流型.

该气流可创造100级净化水平.

其初始投资和运行费用低于垂直单向流动型.

▲非单向流气流的净化原理是稀释原理.

一般类型为高效过滤器送风口顶部送风的回风类型有下部回风、侧下部回风、顶部回风等.

不同的送风通风次数，实现不同的净化水平，其初始投资和运行费用也不同.

▲混合流是将垂直单向流和非单向流组合而成的流.

该气流的特点是将垂直单向流面积压缩到最小，用大面积的非单向流代替大面积的单向流，节约初始投资和运行费用.

▲举个例子，给出不同气流型的送风量、冷却量、初始投资和运行消耗电力的具体指标，该指标以电子工业清洁现场为代表，具体数据具有参考价值，但不能随意应用.

表一是不同清洁水平的清洁现场的送风量、冷量投资消耗电力的指标，注:表中的送风量、单向流以断面风速表示，非单向流以通风次数表示.

表中冷却量指标一般指电子工业清洁现场.

表中的初始投资包括清洁现场的包围、冷冻供应系统、空调净化系统、土建结构和自动控制的投资.

表中的功耗系统是指制冷系统和空调供气系统的功耗，不含电加热和电加湿的功耗.

，2、根据使用用用途和控制的主要对象，①工业用洁净室:以控制灰尘为主要对象.

用于电子、宇宙、机械、化学工业、化学制药…….

②生物洁净室:以控制细菌(微生物)为主要对象.

用于生物制药、医疗、食品、生物工程、动物饲养、生物安全等.c.洁净室与一般空调的差异见表2，表2洁净室与一般空调的差异，d.

工业洁净室与生物洁净室的差异见表3，表3洁净室与生物洁净室的差异见表3，表3洁净室与生物洁净室的差异见表，表3洁净度的等级标准ISO-14644，ISO-14644是国际标准，现在美国、欧洲、日本、俄罗斯和我国采用这个标准，美国原本应用的是美国联邦标准209A、B、C、D、E，现在美国也不用了.

原本我们熟悉的100级、1000级、10000级、10000级，都是来自美国联邦标准，FS，209B，现在分别被国际标准ISO、5级、6级、7级、8级.

的双曲馀弦值.

的双曲馀弦值.

ISO-14644的清洁度等级标准列表如下.

表4、洁净室和洁净空气中悬浮粒子的洁净度等级ISO-1464，注:①每点至少要采样.

②本标准不适用于表现悬浮粒子的物理、化学、放射和生命性.

③根据技术要求确定1~2粒径.

④式根据要求粒径D.

粒子最大允许浓度由下确定.粒径0.1μm.1μm至5μm，金黄色，金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金.金黄色.金黄色.金.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金.金黄色.金黄色.金黄色.金.金.金黄色.金黄色.金.金.金黄色.金黄色.金黄色.金黄色.金.金.金黄色.金黄色.金.金黄色.金黄色.金黄色.黄色.黄色.黄色.金.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.金黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.黄色.，，国家标准清洁等级标准，ISO-谭14644，各国清洁等级标准的比较表5.

钟表五级国际标准ISO-14644与各国标准的比较钟表关注:美国联邦标准FS209E停止使用，a.

收集国和地方有关洁净室建设的政策，标准，规范，1，洁净度等级的国家标准和国际标准ISO1464，2，洁净厂设计规范GB50073-2001，3，电气工业洁净厂设计规范(预约)，4，制药工业洁净厂设计规范(修订中)，5，医院洁净厂手术部建设计规范，20073-2，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，3，b.

该项目的可行性研究报告和上级主管部门对报告的批准意见该项目的设计任务书和建设者对该项目建设的要求、意见和建议.c.该项目建设地区气象资料、水文地质资料和周围大气污染的环境状况.d.清洁室内生产技术对清洁空调的要求和必须收集的生产技术条件和相关数据、资料:1、清洁现场生产技术设备平面布局图和设备清单，以及技术对天花板高度的要求.

2、技术对洁净室内的洁净度、温度和精度、相对湿度和精度、正压、振动、噪音、照度、静电、屏蔽等要求越具体越好.

3、洁净室内生产技术设备的产热量、产湿量、产尘量.

各设备的安装功率、效率、热转换系数和同时使用系数等.

4、洁净室内生产技术设备的局部排气量、排气性质、成分、浓度和排气量、排气管理方法.

5、洁净室内生产运行的班级、运行规则、生产的最大班级人数.、、e.清洁现场建筑和结构状况及相关数据、1、清洁室建筑平面布局图、立面图、剖面图.

各房间的分割、面积、名称、层高.

2、洁净室围护结构(墙、地、顶、门、窗等)的建筑材料及其热工性能.

3、建筑结构状况、结构承载能力，特别是旧建筑改造项目结构的安全非常重要.，f.全厂冷源、热源、电源状况和供给、1、冷热源性质、参数和供给量.

有无加湿用蒸汽等.

2、电源的性质、参数和供给量.、、g.地方消防、环境保护部门对该项目建设的要求和意见.h.其他相关专家(供水排水、气体动力、建筑结构、强电弱电等)的要求和意见.I.设计时使用的设备、材料、零件的性能、参数和价格的资料.，A.洁净室的热负荷计算(热平衡计算)，6#，指南，无温度条件下成年男性的散热(w)，散湿(g/h)量，7#，表6.

洁净工厂内的灰尘来源主要是人，是工厂内操作的人.

人员的尘土量大小与人员的动作状态和着装有关.

下表是人员不同服装和不同动作的灰尘量.

表7人穿着不同的服装和不同动作的灰尘量(一个/分钟.人≥0.5μm)，一般穿着清洁工作服生产电子工业组合的工人的灰尘量为3~5×105个/小分钟.人(≥0.5μm).2、洁净室建筑产尘、资料介绍实测建筑产尘量(包括墙壁).

地、顶等围护的产尘)0.

8×104，个子，分钟，分钟.

随着建筑材料的发展，建筑产尘量越来越少.

从上述数据可以看出，一个人的粉尘量相当于30~50毫米的建筑粉尘量.3.技术设备和技术生产过程的产尘、技术设备和生产过程的产尘与生产技术本身有关，不同生产技术的产尘量大不相同.

资料显示，微电机的发尘量为4.

5~45x104.台(≥0.5μm).，f.洁净室的风量计算(风平衡计算)，1、洁净室的送风量计算，洁净室的送风量不仅能消除洁净室的总馀热，还能保证洁净室的温度和相对湿度，洁净室的送风量也能消除室内产生的灰尘等粒子的污染因此，洁净室的送风量应消除馀热的送风量，消除馀湿的送风量和颗粒污染的净化送风量三者之间最大的送风量应为该洁净室的送风量.

9#，一般来说，室内产尘量GG很难正确，所以在工程中不需要以上公式计算送风量.

采用断面风速法(单向流洁净室)和通风次数法(非单向流洁净室)计算净化送风量.

，表8，气流型和送风量(静态)，注:①表中的通风次数适应于低于4.

0m的清洁室.

②室内人员少，热源少时，应采用下限值.

，2、洁净室的新风量计算，洁净室的新风量不仅要补充洁净室的排气量，还要保持洁净室正压的泄漏风量，同时保证洁净室内工作人员每小时不低于40m3.

因此，0#、钟表9.

围护结构部门长度间隙泄漏风量表(m3/h)m)、、、表十、洁净室的压差值和房间通风次数表(次/时)、g、g、g、toooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooooo空调净化系统的总冷量、总热量和加湿量因空调处理方案而异.

为了节能，在设计时必须对空气处理方案进行技术经济比较和优化，选择简单、实用、节能、维护管理方便的空气处理方案.

空气处理方案确定后，净化空调系统总冷量、QQ冷.预热量.再热量.再热量.再热量.再热量.再加湿量.再加湿量.可以在I-D图上获得.

下面我们举三个典型的空气处理方案来说明.

，11、一次回风的空气处理方案:一次回风的空气处理方案示意图和空气处理过程的蛆虫图，见图20.

1#、嗯、2、1、2次回风的空气处理方案、1、2次回风的空气处理方案示意图和空气处理过程的i-dt图21.

2#、、、、、、、、、、、、、、、3#、、ht、htion空调系统的水力计算、空调系统的水力计算包括水系统和风系统的水力计算.

水系统(冷冻水和冷却水系统)的水力计算的目的是为了进行水系统的阻力平衡(减少失调)而选择管径和泵的风系统(送风系统、回风系统、新风系统、排气系统)的水力计算的主要目的是确定管道的管径(尺寸)和选择鼓风机(送风机、排气机).

系统的水力计算实际上是系统的阻力计算.

4#.

基于建筑专业提供的建筑平面图、技术专业提供的技术设备平面图和技术对各洁净室的清洁度、温度、湿度等环境的要求，可以进行空调系统的分类.a.净化空调系统的划分原则，1、洁净度、温度、湿度及其精度相同或相近的洁净室应划分为净化空调系统.

易于控制洁净度和温度和湿度.

2、距离较近的清洁房间应设置为系统，可以减少系统管道的长度和管道的交叉.

，3，有条件时，可将4，5级单向流和6，7级，8级单向流组成混合流净化空调系统.

4、洁净室不应与一般空调室合为系统.

5、使用规则和使用时间不同的洁净室不适合净化空调系统.

6、产尘量大、发热量大、有害物质多、噪音大的房间应单独设计为系统.

7、混合后发生剧毒、引起火灾和爆炸的房间不能成为净化空调系统.

8、有剧毒和易燃易爆的甲乙类房间应单独设置系统，并且应该是不回风的直流系统.

9、净化空调系统不太大.

一般来说，净化送风量不得超过10万m3/h.

否则，空气处理设备过大，噪音大，送回管道大，占空间和面积大，使用也不灵活.

10、净化空调系统时，应考虑送风管道、回风管道、排风管道、水、电、气等管道的配置，尽量合理、短、使用管理方便，尽量减少交叉和重叠.

11、净化空调系统新风的热湿度和净化处理可以集中分散设置.、、b.技术设备局部排气系统划分原则，1、技术设备局部排气系统不应过大，各排气系统排气点数不应过多，排气管理调节方便，排气效果好.

2、一个排气系统不得超过两个或两个以上的净化空调系统.

3、混合后发生剧毒、爆炸、火灾、凝结水、结晶和有害物质的排气不能成为排气系统.

4、使用规则不同的房间和设备的排气不能成为排气系统.a.净化送风和空调送风一体化的送风模式，通常也称为集中送风模式.

该方案的净化空调单元(空气处理单元AHU.

)集中设置在空调室内，所有净化空调的送风在净化空调单元内进行净化和热、湿处理，然后通过巨大的送风管道将所有的送风输送到洁净室的天花板上部，通过设置在洁净室天花板上的终端高效过滤器和高效过滤器的送风口过滤后送到洁净室内，实现洁净室工艺生产所需的温度、湿度、洁净度和房间的压差，洁净室的回风通过回风口、回风管回到空调室的洁净空调单元内与新风混合后进行热、湿处理.

该方案分为新的送风方案(直流系统)一次回风方案一、二次回风方案和(MAU)加上(FFU)方案等四种不同的净化空调送风方式.

这种送风方案是目前洁净室，特别是非单向流洁净室应用最广泛的净化空调送风方案.

该送风方案的系统划分明确，风量和温度、湿度控制调节单一.

但是，如果清洁度水平高，送风量大，空调室占地面积大，送风、送风管体积大，占地面积大，送风、送风管道长，送风机馀压高，噪音大，送风量耗电量大等问题存在.

因此，该送风方案适用于低级非单向流动洁净室的送风，对于5级以上的单向流动洁净室的送风不太经济合理.1.AHU新风净化空调送风方案(直流系统)，新风净化空调送风方案用于特殊不允许回风的洁净室送风方案.

例如，清洁室内技术的生产类别在甲、乙类火灾危险等级和技术过程中产生剧毒等有害物质不允许回风的清洁送风系统中.

它的原理图和㎜湿图如下.，2.AHU一次回风的净化空调送风方案，一次回风的送风方案多用于洁净室内的发热量和产湿量大，室内的馀热和馀湿的送风量大于净化送风量的低洁净度等级的非单向流洁净室.

该方案的原理图和⑨湿图如下:5#，为了节能、消除空气热湿处理过程中的冷热相互抵消，3.

AHUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUHUUUUUUUUUUUUUUHUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUHUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUHUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUHUHUUUUHUUUUUUUUHUUUUUUUUUUUUUUUUUHUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUHUUUUUUUUUUUUUUUUUUUHUUUUUUUUUHUUUUUUUUUUUUUUUUUUUHUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUHUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUHUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUHUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUU其原理图和邳湿图如下:.

#kd_img26，图二十五强化空调送风方案(AHU)一、二次回风空气处理方案示意图和邳湿图，4.

MAURAU的净化空调送风方案多用于多个洁净室的洁净度，温度、湿度要求不同，室内产热量和产湿量也不接近，为了确保每个洁净室的洁净度，温度、湿度及其精度，需要设置多个洁净室的洁净度，温度、湿度要求不同，室内产热量和产湿量也不接近，为了确保每个洁净室的洁净度，温度、湿度和其精度，需要设置多个洁净室的洁净室的洁净度，需要设置洁净室的洁净度，必须设置多个洁净室的洁净室的洁净室的洁净度，必须设置多个洁净室的洁净室的洁净室内送风机组合由于循环单元设置在洁净室的天花板上，循环单元的送风馀压相对较小，单元体积和单元噪音、振动也较小，送回管道也较短，但要注意循环单元的凝结水排放问题，这个方案的问题往往是凝结水排放的处理.

该方案的新风扇组装在空调室内，这些洁净室所需的新风均由新风扇组(MAU线)进行清洁和热湿集中处理.

然后分配给每个循环单元，与回气混合.

新风机组的新风量不仅要补充各洁净室的排气，还要保证各洁净室的正压.

新风机组的热湿处理最好去某洁净室空气的机械露点，如果新风热湿处理点低于洁净室的机械露点，新风不仅承担新风本身的湿负荷，还消除洁净室的湿负荷，循环机组内的表冷器可以是干式表冷器.

该方案的原理图和⑨湿图如下:kd_img27.

为了大幅度节约运行时的能源消耗，清除洁净室内的馀热、馀湿的空调送风量(通常大幅度小于洁净室的净化送风量)，由设置在空调室内的新风扇组(MAU)进行必要的净化和热湿处理，占总送风量的50~90%以上的洁净室的洁净度的净化送风量由设置在洁净室附近的循环组进行净化和补充的热、湿处理，或者直接使用天花板上的FFU(风扇过滤器组)和洁净室的洁净度等级和温度的微调节这种净化送风与空调送风分离的送风方案不仅节约了运行的能源消耗，而且大幅度减少了空调室的面积，节约了巨大的送风、回风管道，降低了洁净室的空间高度.

该净化空调送风方案分为空调单元(AHU)加风扇过滤单元(FFU)计划、新风扇单元(FFU)加循环单元(RAU)加上(FFU)计划的新风扇单元(MAU)加风扇过滤单元(FFU)加干冷盘管(DC)计划等3种送风方案.

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whwccj.

com/a-967/，1.

空调单元AHU(MAU)和鼓风机过滤单元(FFU)的净化空调供气方案，该方案净化空调系统的所有热、湿负荷(洁净室内产生的热、湿负荷和新风的热、湿负荷)都由设置在空调室内的空调单元负担.

此时，空调单元的送风量是消除本系统馀热、馀湿的空调送风量(其中包括所有新风和部分回风，但远小于保证洁净室洁净度等级的净化送风量)，必须确保洁净室内的温度和相对湿度的一定.

该洁净室的洁净度由设置在洁净室天花板上的鼓风机过滤器单元(FFU，)在当场循环过滤净化送风量保证.

该方案应注意FFU运转中产生的热量也应由空调单元承担.

该方案适用于大面性非单向流清洁室内局部垂直单向流的混合流清洁室.

其送风原理图和⑨湿图如下:8，电影中的电影中的电影中的电影中的爱情中的爱情中的爱情中的爱情中的爱情爆2.

新风机(MAU)加上循环机(RAU)加上鼓风机过滤机单元(FFU)净化空调送风方案，该方案多用于多个洁净室的洁净度、温度、湿度要求不同，室内产热量和产湿度也接近#鼓风机过滤机单元(FFFU)净化空调送风方案，该方案多用于多个洁净室的洁净度、温度、湿度要求不同，室内产热量和产湿度不同，保证室内产湿度，保证室内所有洁净度，保证室内洁净度，保证室内洁净度，保证室内洁净度.

由于循环单元设置在洁净室的天花板上，循环单元的送风馀压相对较小，单元体积和单元噪音、振动也较小，送回管道也较短，但要注意循环单元的凝结水排放问题，这个方案的问题往往是凝结水排放的处理.

该方案的新风扇组装在空调室内，这些洁净室所需的新风均由新风扇组(MAU线)进行清洁和热湿集中处理.

然后分配给每个循环单元，与回气混合.

新风机组的新风量不仅要补充各洁净室的排气，还要保证各洁净室.的正压.新风机组的热湿处理最好去某洁净室空气的机械露点，如果新风热湿处理点低于洁净室的机械露点，新风不仅承担新风本身的湿负荷，还消除洁净室的湿负荷，循环机组内的表冷器可以是干式表冷器.

多个洁净室有几个高净化水平的垂直单向流洁净室时，为了减少循环单元(RAU)的负担和输送、回气管道的断面，循环机组只解决了该单向流洁净室的空调送风量，保证了洁净室的温度、相对湿度和洁净室的正压，占90%以上的绝大部分风量由洁净室吊顶的FFU负担该方案的原理图和濑湿图如下:kd_img29，图208加上RAU，加上FFU的空气处理方案的示意图和(i-d)图，新风机组(MAU)加上鼓励RAU，加上FFU的空气处理方案的示意图和(i-d)图，3.

新风机组(MAU)加风机过滤器单元(FFU)加上干冷盘管(DC)的净化空调送风方案，该方案是新风机组将新风机组处理到洁净室的湿气比例和相对湿气比较高的室内湿气相对湿气相对湿气相对湿气相对湿气相对湿气相对湿气相对湿气相对湿气相对湿气相对湿气相对湿气相对湿气相对湿气相对湿气相对湿气相对较高的室内需要清除.

新风机组热处理不足部分的干冷负荷由设置在洁净室天花板上(或夹层内)的干表冷冻器补充.

干表冷冻器设置在FFU循环空气通过的天花板和夹层内，因此干表冷冻所补充的干冷负荷被循环空气带到清洁室内.

新风机组处理的新风用道以最均匀的方式与FFU、循环空气混合到洁净室的送风静压箱.

FFU配置在洁净室的天花板上，与新风混合的循环风通过FFU，被高效的过滤器过滤后送到洁净室，保证洁净室的洁净度.

FFU的规格多为：1200mm，其断面风速应≥0.

45mm/s，余压应≥120Pa，噪声应≤50dB(A).

FFU的鼓风机风量应整，高效过滤器应更换.

干冷盘管一般由双排组成，为了减小阻力铝翅片间距≥3mm，阻力损失应为3040Pa，循环风通过干盘管的面风速度<2m/s，最好m/s.

进入干盘管冷水的进水温度应高于洁净室的露点温度，通常称为中温冷冻水.

虽然它被称为干盘管，但它也可能在开始运行时产生结露水，所以干盘管还应该有结露水滴管和排水措施.

在这个方案中，洁净室的相对湿度由新风扇组(MAU)保证，洁净室的温度由干冷盘管保证，洁净室的洁净度由FFU保证.

该类MAU加FFU加DC的净化空调送风方案，目前在中国和外国的微电子(集成电路)工业、光电子(TTFT-LCD)工业等大面积、高清洁度等清洁现场得到广泛应用，具有节能、适应性、LCD、LED等大面积换.

而且，随着清洁技术和清洁设备的发展和进步，FFU风扇的效率不断提高，消耗电力不断下降，整体价格不断下降，其初期投资的送风方案基本持平，但运行费用大幅节约.

MAU加入DC方案的原理图和濑湿图如下.

，0，示意图，示意图.

大型生产厂集中设置冷冻站，有利于建设投资和运行管理.

但是，由于一些温湿要求的较大的冷冻参数不同的运行规则、运行时间不同的清洁工厂，在集中冷冻站的基础上，在附近设置分散、独立、专用的冷冻机组，节约能源，保证参数和运行管理方便.2.冷冻媒体是冷冻水还是氟立昂直接蒸发.

大型工厂有利于从集中冷冻站供给冷冻水净化空调系统的冷媒.

由于冷冻水输送方便，输送过程中冷损失小，冷冻水作为冷冻媒体也有利于空调系统参数的控制、调节和维护管理.

但是，小的独立分散的冷冻机组可以采用水冷冻水机组，也可以采用风冷直接蒸发的冷冻机组.

这取决于具体项目的具体情况.3.使用压缩冷冻机或直燃溴化锂吸收冷冻机.

活塞式、离心式、螺旋式冷冻机都是压缩式冷冻机，净化空调设计中最多采用的是离心式、螺旋式等压缩式冷冻机.

由于其投资低，运行管理方便，但运行功耗高.

压缩式冷冻机组的冷冻水供水温度可以调整，最低供水温度可以调整到4℃.

但是，在供电紧张、煤气供应方便的地区，特别是废热废气蒸汽可利用的情况下，采用直燃式溴化锂吸收式冷冻机更经济，特别是该冷冻机组在供冷的同时也可供热.4.确定空调系统冷冻水的温度.

以冷冻水为净化空调系统的制冷剂时，一般来说，冷冻水的初温(表冷冻水的进口温度)比处理后的空气的终温(设计中确定)至少要低3.

5℃的冷冻方式除湿降温为目的的的空气处理系统，冷冻水的终温(表冷冻水的出口温度)比处理后的空气的终温低0.7℃b.净化空调系统热源的选择，1.

以冬季防冻为目的的的新风预热加热器的热媒体最好采用电加热和蒸汽加热，一般不采用热水作为热媒，预热器本身可能有冻结的危险.，器2.空调单元内加热器的热媒体可以采用热水、蒸汽或电加热，其中电加热控制灵活，温度控制精度高，但运行费用高，一般在没有热水和蒸汽供应的地方使用电加热的热水作为热媒体时，蒸汽不仅方便，而且控制精度也高，3.

温度精度要求高时2#送到洁净室的支管上设置温度精度微调节的电加热器是可行的方法.，4.净化空调系统加湿方便、可行、经济、可靠的方法是用过热蒸汽(≥0.

2MPat)加湿热媒体，或用电热式或电极式加湿器.

相对湿度的精度要求不高，加湿量大的情况下，可以用水加湿，用湿膜和喷雾等形式.a.洁净室的空调负荷、洁净室的洁净空调负荷由以下部分构成:1、室内负荷主要包括①、室内作业人员的散热、散湿负荷.

②室内照明灯具的散热负荷.

③洁净室围护结构(墙、顶、地、门、窗)的传热、湿负荷.

④生产设备和生产过程的散热、散湿负荷.

2、洁净室新风处理的热、湿负荷.

夏天是降温除湿冬天是加热、加湿.

3、空气循环时鼓风机(或FFU)的温度上升和泵的温度上升负荷.，，B.洁净室空调负荷特征，1，高级洁净室(100级，10级，1级)垂直单向流洁净室，其鼓风机风量非常大，高达400~500次/h通风，鼓风机压头也高，一般为1000~1500Pa，鼓风机负荷大.

理论上，在集中送风方式的系统中，鼓风机的温度上升到1.

5℃，仅此项的负荷为500700W/m2.

采用FFU送风方式，鼓风机温度上升的负荷也为250~350W/m2.

因此，鼓风机温度上升的负荷是其负荷特征之一.

，2、服务于微电子和光电子的高级清洁室，由于技术排气量大，新风量也大，新风量一般为10~220的高级清洁室，因此处理这么多新风的负荷约为400~800W/m2的个别技术排气量大，固新风的负荷也大.

因此，新风负荷大是其第二个负荷特征.

3、生产设备和生产过程的散热、散湿负荷大，是高级洁净室的第三负荷特征.

生产负荷的大小与工艺生产本身的性质、生产设备的密闭、保温、换气、水冷的状况有关.

4、围护结构的传热、照明灯具的散热和作业人员的发热三个负荷相对较小，三个负荷之和不足总空调负荷的10%(其中照明负荷约为25~30W/m2，围护结构的负荷约为20~30w/m2，作业人员的负荷约为10~15W/m2)，这是高级洁净室的第四个负荷特征.，c.洁净室空调净化系统的节能措施，研究高级洁净室空调净化系统的节能，首先从分析其空调负荷特征开始，抓住空调负荷中的主要矛盾，工作一半.

从前面可以看出，高级洁净室空调负荷占90%以上，包括新风负荷、鼓风机温升负荷、工艺设备和工艺过程负荷.

这是它的主要矛盾.

1、降低新风空调负荷的节能措施①减少排气量.

改进工艺和工艺设备，尽量不排风，少排风.

采用密闭式排气罩在同等排气效果下尽量减少排气量.

②减少正压漏风量.

加强洁净室围护结构的密封性，可以保持洁净室所需的正压值，减少所需的正压泄漏风量.

③提高新风空气处理设备的效率.

2、降低鼓风机温度上升负荷的节能措施①，在确保洁净室的清洁度的前提下，尽量减少送风量，尽量用局部的高净化代替全面的高净化.

②加强空调设备和空调系统的密闭性，减少漏风量.

③采用净化送风和空调送风分离的送风方案，使90%的净化送风量在附近循环，减少鼓风机的温度上升负荷.

④采用FFU和新风扇组加干线圈的送风方式，减少风扇的温度上升负荷.

⑤提高鼓风机效率，采取变频措施.

3、技术设备和技术过程的发热是技术生产本身的问题，只能通过技术自己解决.

4、除上述措施外，还可以采取以下措施.

①加强水管和管道的保温.

②减少冷热源的跑、冒、滴、漏.

③采用热回收，充分利用废热.

④尽量利用天然能源作为空调系统的预冷和预热，如太阳能、地下水、土壤能源等.

⑤利用蓄冰和蓄热等优惠政策.，a.过滤器的分类:根据过滤器的性能(效率、阻力、灰尘容量)进行分类，根据中国的相关规范，过滤器可分为粗效、中效、高效、亚效、高效和超高效六类.

看表11、表12.

根据中国空气过滤器GB/T.

根据中国高效空气过滤器，根据国家标准划分表11.

根据国家标准划分表11.

表12、高效过滤器和超高效过滤器的效率和阻力，以及中国过滤器分类和欧美国家分类的比较表，表13.

3#、、、b、各种过滤效率的测试方法，在空气过滤效率方面，同一过滤效率的测试方法的效率值也不同，因此在使用过滤时不仅要知道过滤效率，还要知道效率的测试方法.

1、一般通风用粗效、中效、高效过滤效率的测试方法●计重法:有人工灰尘计重法和大气灰尘计重法，该方法源于美国时期，多用于粗效过滤效率测试.

●比色法:来自美国，国际通行，用于中效过滤器的效率测试.

●人工灰尘计数法:欧洲通行，取代比色法，用于中效测试.

●大气尘计数法:我国标准.表9.、2、高效过滤器测试方法、●钼钠焰法:中国标准.

●DOP法:来自美国，国际通行.

●油雾法:俄罗斯标准，德国和中国也通行.

●MPPS法:欧洲标准取代上述各种方法(最低透过率粒径法).c.各种空气过滤器的功能和作用，各种过滤器具有一定的功能，不是万能的.

其功能决定了其作用和使用范围.

如果选择正确，使用合理，它们就能充分发挥功能，发挥作用，如果选择不当，使用不合理，不仅发挥不了作用，还会产生相反的结果.

它们的功能和作用如下:●粗效过滤器:它们的功能是去除灰尘颗粒，去除灰尘颗粒，在空调净化系统中作为预过滤器.

其作用是保护中效，高效过滤器和空调箱内的其他部件延长寿命.

●中效过滤器:其功能是去除1.

0μm的灰尘颗粒，在空调净化系统中作为中间过滤器.

其作用是减少高效过滤器的负荷，延长高效和空调箱内部件的寿命.

●高中效过滤器:其功能是去除1.

0μm的尘埃粒子，在空调净化系统中作为中间过滤器，在一般通风系统中作为终端过滤器.

●亚洲的效率很高.

过滤器:其功能是去除≥0.

5微米粉尘颗粒，在空调净化系统中作为中间过滤器，在低级净化系统中作为终端过滤器使用.

●高效过滤器:空调净化系统中的终端过滤器，其功能是去除≥0.

3μm的灰尘颗粒，达到净化目的.

是洁净室必备的净化设备.

●超高效过滤器:其功能是去除颧骨≥0.

1微米的灰尘颗粒，是建设高级洁净室(0.

1微米的微米洁净室)的必备净化设备，是该洁净室的终端净化设备.

、、(二)、空气处理单元的选择、空气处理单元包括空调(AHU)、新风扇单元(MAU)和循环单元(RAU)，是空调净化系统中常用的空气热湿交换和空气净化处理设备.a.工业洁净室用空调单元、工业洁净现场的空气处理单元为净化空调系统服务，因此空气处理单元也必须满足净化空调所需的特点.

1、清洁现场的温度、湿度和清洁度要求严格，一般来说室内热负荷大的空气处理蛆、冷却后的空气露点温度低，因此空气处理单元的保温性能好(保温材料产生聚苯乙烯和聚氨酯发泡时的保温层厚度≥40mm)，在防止表面、冷却消耗过大的同时，也要避免冷桥现象的发生.2.由于净化空调系统的总阻力很大，所以空调单元的鼓风机的压力头很高(-1500Pall)，因此空调单元的围护板壁的强度和刚性很好，不产生负压段的凹陷，正压段突出的变形.3.为了减少冷损失和漏风，空调单元的密封性能要求良好，特别是段落与段落的连接部和开门部的密封.

按标准要求空调空调单元的漏风率≤1%.

4为了保证清洁现场的温度、湿度和清洁度，尽量节约能源，要求空调单元有更好的自动控制，如鼓风机的变频等.

另外，由于空气的冷、热、湿处理功能多，空调形大，长度长.

，生物洁净室用空调单元，生物洁净室以微生物(细菌、病毒等)为主要研究对象，微生物与尘埃粒子不同，是生存、繁殖的颗粒，因此服务于生物洁净室的空气处理单元具有以下特点.

因为湿气是微生物生长的最佳条件.

因此，空调单元内部不能集水集尘，结构应方便排水的表冷器凝结水应具有自动反吸功能，不能顺利排出凝结水的淋水段.3.空调单元的加湿只能使用干蒸汽加湿器(电极或电热蒸汽加湿器)，而不能使用湿膜、超声波和高压喷雾等有水的加湿器.4.为了防止空气带水，空调表冷却器的断面风速v<2.0m/s.5、空调单元的密封可靠，其漏风率≤1%.，6.空调单元的强度和刚性好，具有一定的压力.7.各级(粗效、中效、亚效)过滤器的过滤效率高，最好采用一次性抛弃型过滤器.

、、c、钟冷器、加热器、加湿器的选择、1.

钟冷器是空调单元冷却除湿的重要设备，一般钟冷器由铜管和铝翅片构成.

冷冻器的热交换面积(排数)必须计算，在设计中，设计者必须向供应商提供空气在冷冻器处理前后的参数(温度、相对湿度冷冻水的回水温度提供给供应商，供应商计算和配置冷冻器.

在表冷器后面设置挡水板，在表冷器下部设置滴水盘，冷凝水排水平滑，在排水管上合理设置水封.

水封的高度必须与空调内的压力一致.

2、加热器是空调单元的加热设备.

空调单元有一次加热(预热)和二次加热(再热)两组.

加热的热媒有蒸汽、热水和电.a.一次加热(预热)器设置在新风进入空调组，以防止冻结和混合结霜、结雾为目的.

因此，一次加热器一般用于北方(长江以北)寒冷的地区.

长江以南不冻结的地区不得设置一次加热器.

一次性加热后的新风温度一般为：5℃.

用加热器后的温度探针控制加热量.

一次加热的热媒体最好是蒸汽和电用热水制作热媒要考虑加热器本身的防冻问题.b.二次加热(再热)器设置在表冷器后，为了调节清洁现场内的温度、湿度，设置目的是达到设计参数.

二次加热量越小，空调的运转费用就越节约，设计时选择二次加热量小的节能方案.

二次加热的热媒最好用热水.

因为热水在温湿调节时比较稳定可靠.c.清洁现场的温度、湿度精度要求极高，非常严格的情况下，为了确保在管道上设置微调的电加热器.

3、加湿器是空调单元的加湿设备，冬天为了保证清洁现场所需的相对湿度，必须加湿空调的送风.

加湿器一般有以水为加湿源的蛆虫加湿两种.

例如湿膜、淋水、超声波、高压喷雾等加湿器.

这种加湿方简单，价格便宜，加湿量也大，但加湿精度差.

一般相对湿度要求多用于>10%.

水加湿的方法不应用于生物洁净室.

因为水加湿会为微生物提供良好的生存和繁殖条件.

另一种加湿方法是以蒸汽为加湿源的等温加湿.

例如蒸汽加湿器、干蒸汽加湿器、电极式(电热式)蒸汽加湿器等.

这种加湿方法必须有蒸汽源，没有蒸汽必须用电产生蒸汽.

该加湿方法价格高，但加湿精度高，相对湿度要求≤±5%时采用等温加湿方法.

广泛应用于电子工业洁净现场和生物洁净室的加湿.

，4、淋水室和化学过滤的应用，①淋水室是空调热湿交换的空气和冷却剂直接接触的方式.

这种淋水形式不仅可以用于热湿交换，还可以处理新风的质量.

比如集成电路用的洁净车间，其污染源不仅仅是尘埃颗粒，重金属离子和分子低浓度的化学污染成为超大型集成电路生产的重要污染源，当净化空调系统的新风采用淋水室湿法处理时，可以去除新风中的NNH4大门、与SO4大门、NNO3大门等分子级的化学污染，采用自来水和纯水二级淋水效果更好.

②活性碳过滤器和化学过滤器是空调单元中去除异味和分子级低浓度化学污染的重要设备，一般多用于新风单元.

、、清洁现场噪音按照国家规范清洁现场设计规范的规定，单向流清洁室空态噪音小于≤65dBA.

非单向流清洁室空态噪音小于≤60dBA.

这要求在净化空调系统的送风、回气管道(排气管道上)设置必要的消音设备，特别是在回气管道上.

消声器声器的选择.

4#、清洁现场净化空调系统的消声器和消声弯头不得污染净化系统.

最好使用微孔板式消声器和消声弯头，也可以选择其他清洁空调系统专用的阻力或抗力消声设备.

，净化空调单元鼓风机的选择，净化空调系统鼓风机设置在空调单元内，鼓风机具有a、足够的馀压特征.

一般来说，除了克服机外管网系统的总阻力外，还应考虑克服高效过滤器的最终阻力和一定的安全富馀.

但是，鼓风机的压力选择过大，不仅能源消耗大，还会产生很大的噪音.

，b，需要足够的送风量.

也就是说，消除室内馀热、馀湿和净化的最大风量，还需要10%的安全馀量.

c、鼓风机应为变频鼓风机，送风量可根据系统阻力的变化自动调节，保证清洁现场内的温度、湿度和清洁度，节约消耗源.

d、高效率和低噪音.，a.FFU(鼓风机过滤单元).

FFU是近年来普遍应用于单向流和混合流的重要净化设备.

标准模块尺寸(1200×600mm，600×600mm，1200×1200mm)风扇和过滤器(高效过滤器、超高效过滤器)的组合体作为洁净室的终端设备，分散或集中配置在洁净现场的天花板上.

为了保证洁净现场的室内参数，经常与干冷盘管和新风扇组合使用.

FFU的意见图是30.

，5#，拜访您本地，本地，本地，本地，本地，本地2、外馀压力≥100Pa，最好是140Pa.

3、FFU的单体噪音应≤50db(a).

由于在单向流动清洁现场，成百上千台的FFU集中设置在天花板上，单体噪音过高的话，重叠噪音是不能接受的.

4、断面的风速可以调整.

智能调节、变频调节是可行的.

b、干冷盘管、干冷盘管是新风机组加干冷盘管和FFU空调净化送风方案的清洁现场控制温度的重要换热设备，设置在清洁现场的回风夹管的下部或上部.

其性能要求如下:1、为了避免系统正常运行时干冷盘管发生凝结现象，干冷盘管的水温高于室内空气露点2℃.

2、为了引导清洁现场的空调系统启动时产生的冷凝水，干冷盘管系统必须设置水滴盘和排水系统.

3、干冷盘管的排数最好是双排，而且空气通过时阻力不大，盘管铝翅片的间隔最好是3mm.

4、为了减少空气通过线圈的阻力，通过线圈的风速应该<2m/s.，，1.吹淋浴室.，吹淋室是净化进入清洁现场的人和物体的局部净化设备，是利用高速v≥25mlow/s的清洁气流(中效和高效过滤器过滤的气流)震动人的衣服，净化附着在人身上的灰尘粒子和物体表面的灰尘粒子.

淋浴室最重要的性能指标是喷嘴出口风速应≥25m/s.

那个鼓风机的风压最好是800Pa.

淋浴房有单人、双人、多人和通道式.

吹淋室的意图是31.

，，2，自我清洁器.

自净化器是风扇和过滤器组合的局部净化设备.

设置在房间里，室内的空气通过过过滤器过滤净化，往返循环净化可以净化室内的空气.

自净器显示图32.

6#、3.

清洁工作台、清洁工作台是设置在空调房间或低水平清洁现场内的局部清洁设备，是鼓风机和高效过滤器的组合体，可以在局部创造100级、金属10级等高水平清洁度.

其性能包括鼓风机的风压和噪音(风压>200Pa、噪音<65dBA)、高效过滤器的效率和断面风速(高效过滤器的效率)≥9.

99%(≥0.

3μm)、断面风速、起伏≥0.

35m/s).

洁净工作台示意图三十三.

，7#，嗯，4，生物安全柜，生物安全柜是用于P1~P4生物安全实验室的生物净化和生物安全设备.

根据使用要求，可分为I级、ii级三级生物安全柜.

生物安全柜用于对人和环境有害的病原菌和微生物的实验.

为了安全，必须保护实验操作者，保护实验对象和周围环境的三个保护.

实验对象必须在100级无菌环境实验的作业人员和环境生物安全盘内有足够的负压度.

生物安全柜示意图34.

8#、5.

层流盖、层流盖也是鼓风机和高效过滤器组合的局部净化设备，在局部地区创造100级以上的净化环境，满足生产技术的要求.

其大小取决于工艺设备的大小.

因为设置在低级清洁现场，对噪音有很高的要求，其吹出的断面风速应≥0.

3m/s，鼓风机风压应>200Pa.

层流盖显示意见图35.

9#，(1)建设投资费用高，高级洁净室建设费用高，一般来说，100级垂直单向流的洁净室、室内装修(墙、顶、地、门、窗等)和空调净化系统(包括制冷空调设备和配件、净化设备和配件等)的初始投资约为10000元人民币/m2的纯水制造设备和系统配管、纯气发生和系统配管、废水管理设备和配管、消防系统、供配电和自控系统、真空清扫系统等单位面积达到00元/m20元.

以生产的上海华虹·NEC超大型集成电路芯片生产线洁净室为例，华虹·NEC每月投入30000张电影8《硅片集成电路前工序生产线有洁净室面积约12000m2，其中10000m2在中心，另外2000m2跨越边缘.

中心部位10000，m2洁净室中，有4000，m2的1级、10级、100级垂直单向流洁净室，另外60000m2分别为1000级和10000级的非单向流洁净室，总送风量6，400，000m3/h.

1998年底生产.

该项目总投资约100亿元，其中动力设备和土建投资为20亿元，占总投资的五分之一.

单核部分的10.

000m2洁净室建设费用高达6000万美元(约5亿元)(日本三机株式会社建设)，每平方米建设费用约50000元/m2.

(2)运行管理费用大，高级洁净室净化风量大，新风量大，温湿度要求严格，空气热湿处理和空气配送能耗大，功耗大，运行费用高.

以上华虹NEC为例，其核心部分为10000mm2洁净室总送风量为6，400，000mm3/h，输送净化空气的鼓风机消耗电力为3840kwho，年电费为1659万元(每次电力为0.

6///)，空气热湿度消耗电力为10000k/h全年空调净化系统本身的运行费用达到7659万元.

折合每年单位面积的运行费用为7659元/m2年.

，、(三)灵活适应性强，科技发展迅速，高科技产品不断出现，特别是电子工业发展日新月异，集成电路发展从2年到3年更新一代，TFT-LCD发展速度更快，从1年到2个阶段.

这就要求为其服务的高洁净室能够适应其发展速度，具有良好的灵活性和适应性.

因为建造清洁的现场是百年大计，不是一两年就.

因此，在设计和建设清洁现场时，必须考虑技术的发展、变更，考虑清洁现场的灵活性和适应性.

从清洁现场的灵活适应角度来看，可以分为三个层次，第一是不变的部分.

怎么改都改不了的部分.

例如基础、梁、柱等结构部分.

其次是可变但不易变化的部分.

如洁净室的包围、装修等，第三是变化容易变化的部分.

例如动力、空气、水、气溶剂的供应部分和废气、废水、废弃物等排放部分.

，，，、、、、、、、、、、、、、、但是，为了生产高可靠、高质量的高科技产品，也必须具备这样的生产环境.

因为建造洁净室的目的是为了使用，是为了获得高成品率的合格产品.

为了达到这个目的，设计和建造洁净室必须把安全性和可靠性放在第一位.

保证所建洁净室在洁净度、温湿度、风速、压力等所有参数均应符合生产工艺要求，保证安全、可靠、无事故.

这一点绝对不能马虎，更不能打折，万无一失，只有这样才有利，才能达到建造洁净室的目的.

，竣工验收的调试应分以下四个步骤进行.

①调试前的准备工作.

②单体试运行.③联动调整.④洁净室的性能测试和综合评价.

a、调整组织的准备:设立以建设部门(业主)为组长的设计部门、施工部门、监理部门人员参加的调整组.

调试组领导调试的全面工作，调试组协调各方面的关系，调试组为调试工作提供各种硬件条件.

b、编制调整大纲，在调整组的领导和组织下编制调整大纲.

调试大纲是调试工作的指导文件.

调整纲要的内容包括组织分工、人员安排、物资调整调整项目、调整方法、调整仪表调整程序、调整进度、调整计划安排等.

调试大纲的编制使调试人员思想清晰、认识统一、步调一致、行动整齐，使调试工作顺利进行.

c、施工现场质量检查.

在调整组的领导组织下，建设部门、设计部门、施工部门、监理部门的相关领导和技术人员参加，全面检查施工现场、施工质量.

从冷冻站、换热站、锅炉室、变配电站、空调室到供冷、供热、供电系统、空调净化系统和自动控制系统.

从设备(冷冻机、锅炉、泵、冷却塔、空调等)、部件(阀、风口、消声器等)、配管和配管到保温、设备基础、配管支架等工程施工质量全面检查.

看是否按图施工，检查与设计图不一致，找施工质量不合格的项目，调查其原因.

对施工、加工、安装等质量问题逐一填写缺陷明细表，提出整改意见，期限(正式调整前)整改完毕.

d、空调设备、空调系统的清扫:1、调试前需要全面彻底清扫洁净室.

对洁净室的地板、墙面、天花板、门窗进行认真、全面、彻底的大扫除(最好委托专业的洁净公司)的空调设备、空调管道(送风管道、回风管道、新管道)、空调零部件(吸尘器、阀门、风口等)进行检查、检查和擦拭.

直到达到清洁要求.

2、安装粗效、中效过滤器首次空吹.

在彻底清理的基础上，安装空调内的粗效和中效过滤器.

空吹整个净化空调系统，空吹时间为24~36小时，初步净化整个系统.

3、安装高效过滤器.

系统空吹后可安装高效过滤器.

高效过滤器在安装前，要求逐一检查泄漏，堵塞泄漏者.

检漏在临时检漏台上进行，灰尘源利用大气灰尘.

只有通过检查的高效过滤器才能安装，安装完毕后才能检查高效过滤器的安装密封(利用灰尘粒子计数器扫描)，达到安装合格.

4、高效过滤器设置检漏合格后，第二次空吹净化空调系统.

空吹时间为24小时，可以进入调整程序.

e、测试仪器、仪表、工具的准备，1、在调试前调整和规定调整中使用的仪器(超过使用时间需要重新规定).

使用的仪表包括测量风速、风量、温度、相对湿度、压差、噪音、振动、转数、时间、大气压力和清洁度的仪表等.

2、调整使用的器材、工具的准备.

例如，电工具、管工具、扳机工具、钳工工具、爬梯等.

另外，请施工部门协助电工、管工、扳手和钳工.

3、调试和测试工作中使用的图纸和记录表的准备.

，单体试运行是对工程中的所有设备、附件等单体进行试运行.

单体试运行的目的是检查和评估这些设备、附件的安装质量和产品出厂质量.

单体试运行的主要内容是水、电先行.

也就是说，首先检查和评估供水供电的设备和系统.

例如泵、变压器、配电箱、开关等.

必须保证供水、供电正常、可靠.

另外，对供冷设备(冷冻机、冷却塔、冷冻泵、冷却水等)、供热设备(锅炉、换热器、热水泵等)、空调设备(表面冷却器、加热器、加湿器、过滤器、鼓风机等)、自动控制设备、仪表、阀门、各系统的附件进行单体评价.

看能否满足设计要求和正常运行.

特别是，风扇、泵等旋转设备是否运转顺畅，是否有噪音、冲突和反转现象的电气设备的配线是否正确的冷冻机和锅炉是否能够满足设计要求的空调中表冷冻器的冷却除湿能力、加湿器的加湿能力等进行单体检查、评价.

如发生故障或发现问题，应及时排除.

大型设备如冷冻机、锅炉、空调等(特别是进口设备)在单独试运行时，最好由制造商的调整人员现场指导或由制造商负责试运行，运行正常后交给使用者.

单体试运行为联动调试做好各单体设备准备.

、、联动调整一般分为风量分配阶段和联动调整阶段.

a、风量分配:风量分配将各计要求调整各洁净室的送风量、回风量、新风量、排风量.

因为清洁现场可能有多个空调供气系统和排气系统，或者空调供气系统必须承担多个清洁室的供气.

因此，风量分配调试是一项工作量大、时间长、耐心细致的工作.

风量分配调整工作也是调整工作的重点工作.

常用的风量分配调试方法采用标准风口法.

标准风口法:清洁室可能有几个、几十个空调送风口、回风口.

因为它们之间是相通的，所以在调整某个风口的送风量时，其他送风口的送风量也会发生变化.

因此，采用标准风口法.

标准风口法是指在风量分配前最大限度地打开所有阀门，在所有风口中找到最不利的风口(风量最小的风口)，将该风口作为标准风口.

在标准风口设置监测仪，随时测试标准风口的风量变化.

然后调整其他所有风口的风量.

因为在调整任何风口的风量时，都会影响调整的风口的风量变化，所以在调整任何风口的风量时，都要以标准风口当时的风量为参考风量，使所有被调整风口的风量随标准风口的风量变化而同步变化.

一个净化空调系统负责多个洁净室空调时，调整以洁净室为单位从末端向总干燥管方向进行，各洁净室首先调整其送风量的相对关系量，然后用系统的总阀门将各送风口、各洁净室的送风量调整为真实的设计送风量.

b、联动调整、联动调整在风量调整和单体试运行后进行.

联动调整是净化空调系统和为净化空调系统服务的所有系统，供冷系统(冷冻机、冷却塔、泵、供冷系统所有部件)、供热系统(锅炉、泵、供热系统所有部件)、供电系统(配电箱、变频器……)和自动控制系统都投入运行，评价各系统的综合性能和联动性能.

必要时，在洁净室内设置一定量的负荷，评价温度、湿度探针、中间仪表和执行机构的联动是否敏感、协调，评价温度、湿度探针是否正确、精度是否合格.

，在风量调整和联动调整的基础上，洁净室空调净化系统及其服务的所有系统都处于正常运行状态.

接着进行洁净室性能测试和综合评价.

a、洁净室性能测试:洁净室性能测试内容包括洁净度测试、风量测试、正压测试、风速测试(单向流洁净室)温度、相对湿度测试、噪音测试等.

1、洁净度测试:样品点配置在工作面上(0.81.0m)，样品点数量金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额金额尘埃粒子计数器采样量超过1升/分的各采样点连续有效采样3次.

取其平均值做该点的测量值.

所有测点的测量值的平均值作为洁净室的清洁度.

2、风量或风速测试:单向清洁室测量断面风速，非单向清洁室测量其风量.

断面风速的测定:从天花板上送风高效过滤器(HEPA)300mm处配置测定点，测定点之间距600mm，用热球风速计测定各点风速.

ISO14698-1 生物洁净室及其相关控制环境(中文版全文)

ISO14698-1 生物洁净室及其相关控制环境(中文版全文)

风量测试:在送风管和送风口测量送风量.

方法是测量管道内各点的动压，测量点间距为100mm.计算送风量.3、正压测试:在关门的状态下，测量洁净室的正压.

采用补偿式微压计测量.

、、b、洁净室的综合评价.

根据洁净室的性能测试，根据洁净室的洁净度、温度、湿度、正压、风量、噪音等测试结果，对洁净室的建设和性能进行竣工检查的综合评价.

、、、洁净室性能测试的目的主要有两个.

一个是洁净室的竣工检查，二个是检查洁净室的运行是否正常.

1、洁净室竣工检验的性能测试，根据(洁净室施工和检验规范)和(洁净室设计规范)的要求，洁净室竣工检验分两步进行，第一步是竣工调整和性能测试，第二步是洁净室性能的综合评价.

洁净室性能综合评价是洁净室工程竣工验收的重要环节，洁净室性能测试是洁净室性能综合评价的基础.

洁净室性能测试所需的项目如下:①鼓风机的风量和转数②风量及其平衡③室内静压及其调整④自动控制系统的联动⑤⑤高效过滤器的检漏⑥室内洁净度等6个项目.

其中主要有清洁度、风量和室内静压三个项目.

2、洁净室运行状态下的定期性能测试，根据(洁净现场设计规范)的要求，由于生产的复杂性和维护管理的主要原因，洁净室的性能下降，必须定期进行洁净室的性能测试，检查的频率如下表所示.

、、、、、、、、、、、、、、、、、、、①液体压力计:液体压力计具有使用方便、价格低、精度高、制造安装方便等优点，但存在测量范围有限、玻璃管易碎等缺点.

常用的工作液体有酒精、水、银等，在洁净室的测定中主要是酒精和水.

液体压力计主要有u型管压力计、斜管压力计、补偿式压力计.

②弹簧压力计:弹簧压力计是根据弹簧部件在测量压力的作用下变形，其变形量与测量压力成为函数关系的原理制作的，其优点是结构简单，携带方便，安装方便，价格便宜.

常用的弹簧压力计主要有弹簧管压力计、膜片管压力计和膜核压力计.

③电学压力计:电学压力计是利用压力原理和高压电阻变化等电学方法测量压力的压力计，适用于测量变化快、数值高或接近绝对真空时的压力.

、、2、风速和风量测定仪器:(1)、电影、电影的风速测定仪的作用原理有机械式、散热率式、动力测定式等.a.机械式风速计:如翼形风速计，利用流动气体的原动压力推进机械装置显示流速的仪表.b.散热率式风速计:根据流体中受热物体的散热率与流体流速成正比关系，可以测定传感器的散热率，测定流体的流速.

常用的散热率式风速计有热量.

线风速计和热球风速计等.

②风量计:洁净室总风量的测试常用管道法，各房间的回风量多用风口法测量，其原理是平均风速乘以断面积.

③洁净度测试仪:a.

尘粒测试仪:目前洁净室洁净度测试主要用光散射尘粒计数器，分为白光尘粒计数器和激光尘粒计数器.

其原理是利用空气中的微粒子对光的散射现象，将采样空气中的微粒子的光脉冲信号转换为相应的电脉冲信号，测定微粒子的粒子数，利用微粒子的光散射强度与微粒子粒子直径的平方成正比的关系，测定微粒子直径的大小.b.生物粒子的检测仪:目前生物粒子的检测方法主要采用培养基法和滤膜法，使用的仪器分为浮游菌采样器和沉降菌采样器.

浮游菌采样器主要有固体冲击式采样器、离心式空气微生物采样器、旋风式微生物采样器、液体冲击式微生物采样器、过滤式微生物采样器和大容量静电沉降采样器等.

沉降菌采样器主要有高压消毒锅、恒温培养箱和培养盘等.

④温度计:通称温度计，根据其作用原理，可分为膨胀式温度计、压力式温度计、热电偶温度计和电阻温度计.a.膨胀式温度计:分为固体膨胀式温度计和液体膨胀式温度计.b.压力式温度计:分为充气压力计式温度计和充气压力计式温度计.c.热电偶温度计:根据热电效应原理制作，两种金属节点温度不同时有电动势，如果知道温度，测量电动势，可以推测另一种温度.d.电阻温度计:基于某种金属及其合金或半导体的电阻随温度变化而变化，正确测量电阻时测量温度.

电阻温度计的优点是精度灵敏度高，反应快，测温范围广，不需要冷节点补偿，可用于远距离温度测量.

⑤湿度测定器:湿度测定器根据其原理可分为干湿球温度计、毛发温度计、电温度计等.

⑥噪声测试器:噪声测定器的原理是用电容式传声器将声能变成电能，经过放大器、检波器等一系列处理，最后给出声压值.

⑦照度测试仪:常用的便携式照度测试仪的原理是用敏感元件制作探针，有光的话会产生光电流，光越强光电流越大，测量电流的话就能测量照度.，1.风量和风速的测定，①.

测试前的准备工作:嗯，测试前首先检查鼓风机的运转是否正常，系统中各部件的设置是否正确，是否有障碍，所有阀门的开放位置是否正确，固定是否可靠.

②、垂直单向流动洁净室风量的测定:垂直单向流动洁净室和水平单向流动洁净室的风量由采用断面平均风速和断面面积的乘积计算，断面的选择和断面的测定点配置如下表所示.

表面十六施工检验规范JGJ71和设计规范GB50073的比较，下午③对非单向流动洁净室风量的测定:非单向流动洁净室风量的测定可以采用管道法和风口法，a.

通过测定部分来测定管道法的测定风量:通过管道法管道法测定管道的测定，必须选择流动比较均匀稳定的地方，并且与局部阻断的情况下矩形管道将测定断面分为几个相等的小断面，尽量接近方形，边长不得超过200mm.

测量点在小截面的中心.

整个测量断面的测量点不少于3个.

对于圆形管道，将测定断面分为几个面积相等的同心环，每个环上设置4个测定点，4个测定点相互垂直的两个直径上.

0#，图三十六六形管道的测定点布置，b.

管道法的测定量量:在施工检查规范的JGJ71中，对于有过滤器的管道的测定点布置，b.

管道法的测定量:在施工检查规范的JGJ71中，对于有过滤器的管道的测定点布置，根据管道的形式选择与管道的断面相同的辅助管道，其长度是两倍的管道的边长，与被测定的管道的外部连接，在辅助管道的出口面上，最少配置6个测定点，用热球的风速计测定点的风速其次，对于同类扩散板的风口，可以根据扩散板的风量阻力曲线和实测扩散板的阻力来检测风口的风量.

，④风量测定结果的判定:，a.

匿名风量应大于设计风量，但不应超过20%.b.实测新风量和设计新风量的差异不得超过10%.c.实测风口风量与设计风量的差异不得超过15%.，，2.清洁度测定:，①.

在施工检查规范中，JGJ71.

规定如下:a.

黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金黄金表17最低采样点表、金、宝、金、金.

测量清洁度的最小采样量按表:表18，表18，表18，表18，表18，表18非单向流洁净室的采样口应朝上.

采样速度尽量接近室内气流速度.

也就是说，等速取样.

测量点的配置原则:每层不少于5个测量点，多于5个测量点时可以分层配置.

测量点配置在距地0.

8m高的对角线上.

、、②清洁度测定结果的判定:a.

象实测状态(空态、静态、动态)与预约状态相同，以其清洁度水平的上限为评定标准.

、B、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、3.

微生物粒子的测定:、①、采样点的配置和要求:、A、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕榈、棕测量点距地面0.8~1.5m，送风口测量点距送风面30cm.

根据需要，可以在关键部位增加测量点.

测量点的配置必须均匀.请参阅下表.、表十九浮游菌测定最低采样点表、b.

测量点距地面0.8~1.5m.根据需要，可以在关键部位增加测量点.

测量点的配置必须均匀.

沉降菌法不仅要满足最低采样总数，还要满足最低采样培养盘总数.请看下表.表二十下沉菌测定最低采样点表，表二十一下沉菌测定最低培养盘数表，浮游菌测定法的最小采样量必须根据清洁度等级来确定.

看下表，表二十二.

浮游菌测定法最小采样量表，②.

②微生物粒子测定方法，a.a.浮游菌测定法，首先要对测定器、培养盘、采样器等进行消毒灭菌，采样口和采样管在使用前必须使用高消毒.

第二，采样者必须穿与洁净室等级相对应的洁净服，在放入或更换培养盘之前，双手用消毒剂消毒.

第三，在机器消毒后放入培养盘之前，先动真空泵抽气，蒸发机器中的剩馀消毒剂，时间不小于5min.

第四，关闭真空泵，放入培养盘，盖上盖子调节取样器.

第五，将取样口放在取样点，依次打开取样器、真空泵，旋转定时器，根据取样量选择取样时间.

第六，取样结束后，将培养盘置于30~50台oC恒温培养箱中，时间不小于48台.

第七，用肉眼数，用5~10倍的放大镜检查，是否有泄漏.b.沉降菌的测定法，首先对测定仪器、培养盘等进行严格的消毒灭菌，在无菌后使用.

第二，一般采用90mm的沉降盘，注入20mL的培养基，放在测定点，打开盖子暴露30min，将培养盘盖倒置，然后在30~35ooC恒温培养箱中，进行48小时以上的培养，用肉眼计算菌落数，记录出生的落数，然后用5~10倍的镜子检查，是否有遗漏.、、4.静压差的测定:①.

静压差的测定要求:首先，静压差的测定在清洁区内所有门关闭的状态下进行.

第二，从清洁度高到清洁度低的房间顺序进行，直到通向室外的房间.

第三，测量口设置在室内不受气流干扰的地方.

第四，测量的数据必须正确到1.0Pa.②静压差的测定步骤:首先，关闭清洁区内的所有门.

第二，用微压差计测量洁净室之间、洁净室与走廊之间、走廊与外部之间的压差.

第三，记录在案件中，③静压差测定用的仪器:静压差测定一般采用的仪器为YJB-150无极补偿式微压计、倾斜式压力计、精密指针式压力计或灵敏度低于1.

0Pa的其他压力计.

④合格标准:首先，不同水平的洁净室(区)和非洁净室的洁净室(区)之间的静压差在5P以上.

第二，洁净室(区)和室外的静压差小于10Pa.

第三，对于洁净度等级比5级严格的单相流洁净室，开门时，门内0.

6m处的室内工作面的灰尘浓度不得超过相应等级的灰尘浓度限制.，，5.温度和相对湿度的测定:①温湿度的测定要求，首先，温湿度的测定前，净化空调系统必须连续运行48小时以上.

第二，根据温湿度的精度范围，选择有足够精度的测定仪表，通过检查标定合格.

②温湿度的测定方法:第一，温湿度的测定点离地面0.

8m，离外壁0.5m.第二，根据温湿度精度范围的要求，测量应连续运行的8~48小时，每次读数间隔不超过30min.

第三，对于没有恒温要求的房间，其温度只测量房间中心的一点即可.

第四，对于有恒湿要求的房间和地区，测量点应放在送货、回风口或代表性点.

③合格标准:为了满足设计要求，90%以上在室温要求范围内，为了满足设计要求，反而不合格.、、、6.照度测定:①、①照度测定要求、室内照度测定必须在室温稳定、光源光输出稳定后进行测定.

②照度的测定方法:第一，照度的测定点离地面0.

85m，间隔1~2m布点，测定点离墙壁1m.

第二，记录实测值，计算总平均照度.

第三，照度测定一般不包括局部照明以外的一般照明.

③合格标准:应符合设计要求，根据(清洁现场设计规范)的要求，清洁室内一般照明的均匀度不得低于0.7.，7.噪音测定:①噪音测定方法:房间面积不大于50m2时，只测定房间中心的一点.

房间面积大时，每增加50m2增加测量点.

测量点距离地面1.0m.有条件时，应测量房间静态状况的噪音和本底噪音.

②合格标准:必须满足设计要求.

根据(清洁现场设计规范)的要求，清洁室的空白状况下，单向流动清洁室的噪音不得超过60dB(a).

单向流和混合流洁净室的噪音不应大于65db(a).，8.自清洁时间的测定:①自清洁时间的测定方法:以大气灰尘为基准测定时，洁净室必须停止运转一段时间，空气中灰尘浓度接近大气中灰尘浓度时，接通电源，直到灰尘浓度达到最低稳定值为止，所需的时间是自清洁时间.

以人工灰尘(香烟、巴兰香等)为基准测定时，在洁净室中央离地面1.

8m高度发烟1~2min，即停止，再稳定1~2min，接通电源，直到灰尘浓度达到最低稳定值为止，所需的时间是自我清洁时间.，，9.安装后的过滤器泄漏检测:①泄漏检测要求:被检测过滤器检测风量，在设计风量的80%~120%的条件下运行.

被检查过滤器上游的粒子浓度被检查过滤，应满足控制粒径≥0.

5μm的浓度，不得小于3.

5x104pc/L，控制粒径≥0.

5μm的浓度，不得小于3.

5x104pc/L，②检查方法:用粒子计数器扫描安装的接缝和主断面.

检漏点距被检表面20~30mm.

扫描速度为5~20mm/s，扫描检查泄漏的部分为过滤器的整个断面、密封剂、安装框架等.

扫描检漏用粒子计数器的最小采样量应大于1L/min.

③合格标准:被检查过滤器下游的粒子浓度换算成透过率，高效过滤器不得超过出厂合格透过率的两倍.

，1、过滤器的基本知识，过滤器是洁净室的主要净化设备，是空气净化的主要手段.

因此，从事洁净室设计、建设和维护管理人员了解和掌握过滤器的基本知识至关重要.

，a，过滤器的分类.

根据过滤器的性能(效率、阻力、灰尘容量)，通常分为粗效、中效、高效、亚效、高效(HEPA)和超高效(ULPA)6种过滤器.

中国国家标准空气过滤器GB/T，14295-93.

将不同过滤器的效率和阻力规定如下:表二十三.

过滤器的效率和阻力(GB/TT1495-93)，国家标准高效空气过滤器在GB-13554-92中规定高效过滤器按性能分为AA、BB、CC、D四大类.d类又通了.称为超高效过滤器(或称为80.

1微米高效过滤器或超低透过率过滤器).

表二十四、过滤器的效率和阻力(GB.

1354-92)，海外将超高效过滤器(ULPA)的过滤效率指标规定为≥0.

12μm粒子的过滤效率，E≥9.995%.关于中国和欧美过滤器的分类，如下:表二十五过滤器的分类表、b、过滤器的过滤器理、过滤器理主要有拦截(过滤器)、惯性冲突、布朗扩散和静电等.

①拦截:过筛子.

大于筛孔的颗粒被拦截并过滤，小于筛孔泄漏.

、、、、、、、、、、、、、、、、、②惯性冲突:粒子特别大的粒子随气流流动，进行不规则的运动.

由于颗粒的惯性或某种场力作用偏离气流方向，不随气流运动，与障碍物碰撞、粘合而过滤.

颗粒越大，惯性越大，效率越高.

一般是粗效和中效过滤器的过滤机理.

③布朗扩散:气流中的微粒子进行不规则的布朗运动，与障碍物碰撞粘在钩子上，过滤.

颗粒越小，布朗运动越强，与障碍物碰撞的机会越多，效率越高.

这也被称为扩散机理.

这是亚高效、高效和超高效过滤器的过滤机理.

纤维直径越接近粒径效果越好.

、、c、过滤器的性能、过滤器的性能一般包括过滤效率.初阻力hc.容尘量g.①过滤效率.e=过滤器过滤掉的粒子量./.未过滤前空气中粒子总量×100%，一般≤0.

1μm粒子主要进行布朗扩散运动，粒径越小，效率越高.，>0.5μm子主要是惯性冲突运动，粒径越大，效率越高.0.1>d>0.5μm之间的粒子过滤效率最低，即最大穿透率的粒径.

②初阻力HC:气流绕纤维运动产生微小阻力，无数微小阻力之和即过滤材料对空气的阻力.

过滤器的阻力与气流速度有关，速度越大，阻力越大.

、、过滤器的阻力分为初阻力(Hc)和终阻力(Hz).

，初阻力(Hc)是过滤器开始使用时额定风量下的阻力.

，，最终阻力(Hz)是更换过滤器时的阻力.

一般Hz=2×Hc.

③容尘量g:过滤器到达最终阻力时容纳在过滤器上的灰尘重量.

，d，过滤速度，过滤速度是指空气垂直于过滤材料的方向通过过过滤材料的速度.

不是过滤器的正面风速.

过滤速度越大粒子的惯性力越大，对粗、中效过滤器效率越高，但过滤速度越大，过滤器对空气的阻力也越大.

因此，一般粗效过滤器的过滤速度为1~2分m/s，中效过滤器的过滤速度为0.

2~1分m/s.

过滤速度越大，不利于微粒子的布朗运动，因此高效、超高效的过滤速度一般控制在0.

02m/s左右.

、e、过滤材料和结构形式、粗效过滤材料一般为玻璃纤维、化纤、无纺布等结构形式多为板式、折叠式和袋式.

中效过滤器的过滤材料一般为玻璃纤维、化学纤维、无纺布等结构多为袋式、楔形折叠式.

高效过滤器的过滤材料主要是超细玻璃纤维过滤纸.

结构类型均为折叠式.

有隔板和无隔板的区别.

、、f、过滤器的使用和更换、①过滤器的使用、粗效、中效、高中效、亚效、高效、超高效6过滤器各有各的用途，必须正确使用.

如果使用不当，不仅会发挥作用，还会产生不良和相反的效果.

因此，设计、建造和维护洁净室的人员应特别注意.

粗效果过滤器作为预过滤器使用，一般设置在空调箱中，其作用是过滤大粒子的粒子，保护其后的空调设备(例如表冷器和加热器等)、中效和高级过滤器.

一般粗效过滤器不能作为终端过滤器.

中效过滤器一般设置在空调箱的正压段，其作用是保护亚高效、高效过滤器等终端过滤器.

去除的是≥1.

0μm的中小粒子.

一般来说，中效过滤器是中间过滤器，不能用于预过滤器，也不能用于终端过滤器.

高效和超高效过滤器都是净化系统的终端过滤器.

一般放在洁净室的天花板上.

高效过滤器(HEPA)是洁净室必备的终端过滤器.

超高效过滤器是0.

1μm、10级、1级、1级以上洁净室所需的终端过滤器.

②更换过滤器，过滤器经过一段时间的运转，过滤器的阻力达到最终阻力Hz，一般会更换.

否则，性能会下降，无法发挥作用，影响系统的正常运转.

对于粗、中效过滤器来说，一次使用后废弃的也有可以清洗后继续使用的，但是清洗后的粗、中效过滤器的阻力远大于初始阻力，效率也提高了.

但是，亚高效、高效、超高效过滤器是一次性的，使用后废弃.

，1、洁净室的尘源，洁净室的尘源，除了来自室外大气的尘粒和进入洁净室的人和物体的灰尘外，洁净室内的尘源主要来自洁净室内的操作者、洁净室的包围和洁净室内的生产技术设备和生产过程的灰尘.

①清洁室内工作人员的产尘.

工作人员的产尘与穿着的清洁工作服的材料、型号、服装状况和工作人员自身的动作有关.

因此，洁净室内的工作人员必须穿上规定的工作服，动作也必须受到一定的限制.

正常情况下，一般电子组装工艺穿全身型清洁工作服轻微工作时，人员产尘量为3.5.0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-05-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-05-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0-0是洁净室内最主要的尘源.

②洁净室的包围和室内表面的产尘.

随着洁净室装修材料的发展，出现了耐磨、抗静电、少产尘的材料，洁净室内建筑的产尘量越来越小.

一般来说，洁净室单位的建筑面积产尘为3.5.0.×104/m2.分数(0.5μm.可以看出，10平方米的建筑产尘只有相当多的工作人员产尘量.

③生产设备和生产过程的产尘:该产尘量与设备和生产过程本身有直接关系.

不同设备、不同生产技术的产尘量大不相同.

根据日本的资料，一台电动机的产尘量约为4.5.45.×104.在台湾.在台湾.(≥0.5μm).2、清洁室、①人工擦拭法:用清洁室专用擦拭布和纯水擦拭清洁室的地板、墙壁、屋顶、家具和设备表面.

这种清洁方法比较彻底.

②分散真空吸尘法:一般这种方法只适用于低水平(1000级、10000级、10000级、1000、000级)混乱洁净室.

方法简单灵活方便，每天工作结束后可以用这种方法清扫.

但是，移动式真空吸尘器内的圆筒形高效过滤器效率低(≥9.5%，≥0.5μm)不适用于高级洁净室.

一般情况下，500、m2洁净室可以设置2台真空吸尘器，每增加500、m2增加1台，最多不超过10台.

③集中式真空吸尘法:集中式真空吸尘是由吸尘口、管网、集中吸尘泵、吸尘器构成的系统.

吸尘泵和吸尘器设置在特殊的室内，噪音非常大，室内不仅要远离现场和办公区，还要适当地进行隔音消音处理.

吸尘泵应该有备用，不应该少于2台.

系统管道应用无缝钢管焊接连接暗装铺设.

其弯头弯曲率半径为4、6d弯曲不得弯曲，三通夹角为小于45oo，不得有四通(可用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用.

用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于的.

用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于的.

用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于的.

用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用于用系统末端为吸尘口，平时有盖子密封，使用时打开盖子插入吸尘软管进行吸尘.

一般除尘软管作用半径为8.

每个系统同时工作的除尘口为4~5个.

每个除尘口的风量为150m3/小时.

因为集中式真空吸尘不会影响室内的清洁度，所以集中式真空吸尘方法多用于等级高(100级、10级、1级)、面积大的洁净室.

洁净室的清扫制度一般每班(每天)打扫一次，每周打扫一次，每月打扫一次.

另外，必须设置负责人负责管理、监督和检查.

需要一定的训练制度.

影响清洁室内空气质量的因素很多.

例如，洁净室内新鲜空气量的大小室内氧含量的室内负离子数室内装修设置等材料和生产过程中产生的低浓度分子级化学污染物的状况和生产过程中产生的酸、碱、有机等废气会影响洁净室内的空气质量.

1、洁净室内新鲜空气量.

《洁净现场设计规范》50073-2001规定:保证给洁净室内每人每小时的新鲜空气量在40m以上.

根据平衡方程:人们正常呼吸排出的CO2--------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------h，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，因此，洁净室内人们正常工作所需的新鲜空气量.L新的.新的.新的=M/C-C0.=0.03/0.001-0.0003=42.

86m3/h.

因此，新鲜空气量可以按照规范要求执行.

新鲜空气量过小不利于清洁室内作业人员的健康，新鲜空气量过大，运行能耗过大，运行费用过高不经济.

但最少不低于40m3，/.

，2、洁净室空气的含氧量，大气中氧气的含量约为21%，氮气约为79%，其他气体的含量的比例微乎其微.

洁净室是密封的空间，在洁净室内工作的人经常感到不舒服、呼吸、头痛等，洁净室内空气中的氧气含量减少吗？为了这个问题，1983年制作《洁净现场设计规范》GBJ73-84时，北京卫生部门专家测试了北京878家洁净室内氧含量，结果洁净室内氧含量约占20%，基本正常，但洁净室含有其他化学污染物和空气，使人感到不舒服.

、、3、洁净室空气中的负离子量、a)、甲、甲、丁、丁、丁、丁、丁、丁、丁、丁、丁、丁、丁、丁、丁、丁、丁、丁、丁、丁、丁、丁、丁小离子是由3~12个具有基本电荷的分子组成的复合物(1#等)，中离子是由约100~1000个分子组成的复合体，一般寄存在微粒子上的大离子是106个分子组成的核心.

表266年负离子含量表(个/.

cm3)，在99年初、8月初的精品购物指南杂志空气中的负离子一文称为空气中的维生素.

这篇文章给出了不同地方空气中的负离子含量.

表27空间空气中的负离子含量表(1/1cm3)，②空气中的负离子对人体的作用，其实负离子是空气中有负荷的分子，负氧离子是有负荷的氧分子2#.

是由空气电离产生的.

在自然界中雨天晴朗，森林，瀑布，海边空气中负离子含量多.

广东肇庆有一景区鼎湖山以负离子而闻名，其负离子在空气中含量高达20万至30万个/cm3.

实践证明空气中的负离子对人体有一定的生理作用，降低血压、抑制哮喘、镇静神经、消除疲劳，提高人体免疫力和抗菌能力，使人精神饱满，工作效率高.

实验证明，空气中的负离子与呼吸器官接触时，发生电荷转移，刺激器官，离子越轻，活动能力越强，刺激器官越明显.

这种生物刺激的结果会提高人体血液中自由氧的含量，促进人体呼出CO2和吸入O2的数量增加，这意味着对人体有一定的好处.

洁净室中的空气是通过粗、中、高效过滤器过滤的空气，因此洁净室空气中的负离子含量几乎为零.

这也是洁净室内人们不舒服的原因之一.

，③负离子发生器，中国在80~90年代之间有很多制造商研究和生产负氧离子发生器，但由于技术原因电离空气的电压不稳定等因素，负氧离子(3#发生大量臭氧(4#)，臭氧对人体有害，伤害人眼角膜和鼻粘膜等但是，这个产品在保证质量的前题下是非常必要的.

不仅在洁净的室内，在日常生活中也是必要的.

，4、洁净室空气中的其他化学成分，洁净室，特别是电子工业用的洁净室，由于室内装饰材料和生产用的原材料(各种气体、溶剂等)和生产过程中排出的废气(含酸、碱、含有机等化学污染物)等向洁净室空气中排出大量的化学物质，不仅会污染洁净室内的空气质量.

的双曲馀弦值.

因此，在设计、建设和使用洁净室时，必须重视和处理工艺设备的局部排气和废气管理.

除了工艺设备本身要加强密封外，还要加强通风，提高排风效果，做好气流组织，改善洁净室内空气质量.

、、、清洁的工作服.

也称为洁净服(无菌服)是洁净室内工作人员的专业服装.

洁净工作服对其衣物的要求很严格，服装的类型也因洁净室的洁净度而异.

1、清洁工作服的衣服，清洁工作服的衣服多为长纤维防静电的尼龙和聚脂材料.

清洁工作服对衣物的要求(从空气清洁99年第一期摘下)，表二十八届无清洁工作服的材料特性、二、无清洁工作服的类型:a、连体型(全身):帽子、上衣、裤子、鞋套等集中连接，手套、口罩、眼罩等b、分体型:帽子、上衣、裤子、鞋套四个分体型.

多用于洁净度低的洁净室.

c、大衣型:有帽子、大衣、拖鞋，没有裤子.

用于低洁净度洁净室和准洁净室.

、、3、清洁工作服清洗、清洁工作服清洗管理等我国尚无标准和规范，目前使用清洁工作服的公司管理也极不规范.

有些工厂有自己的洗衣房(洗衣房)，用离子水或纯水和中性洗涤剂洗后，在干净的环境下晾干.

全厂统一管理，统一清洗，但成本高.

这是最好的情况.

有些工厂有自己的洗衣房(一般房间)，用普通的自来水和一般的洗涤剂，在一般条件下晾干.

这种情况也很多.

最糟糕的是把清洁的工作服交给员工回家洗.

普通洗衣机，普通自来水，普通洗衣粉，室外晾晒.

洗涤后看起来很白很干净，但洗涤不规范，洗涤后的清洁工作服的产尘比洗涤前多，这也不能说是清洁工作服.

，4，介绍国外清洁工作服的清洁管理情况，日本有一家公司叫做CIC.

我们去参观的时候，清洁工作服的洗衣间是100级的清洁室，洗衣时先用清洁剂洗，洗衣粉是用0.

2μU过滤器过滤的全氯乙烯(或三氯乙烯)，主要是去油迹，洗后用纯水和专用的中性洗衣粉洗，用高效过滤器过滤的热风吹干.

洗好的衣服在专用的桌子上熨平、折叠、装袋.

为了灭菌，塑料袋内充满环氧乙烷，灭菌后的环氧乙烷自行释放.

如果有破损的地方，事先缝补.

最后，这些安装在密封塑料袋中的清洁工作服按规定安装在密封塑料箱中外运，这些工作在100级清洁室内进行.

密封的塑料箱按省、市、县、区、工厂、班、组编号，以免出错.

使用工作服的工厂每个用户都有三套工作服，其中一套穿在身上，一套交付清洗，一套备用.

清洁工作服的所有清洗过程都由CIC负责，不让用户担心，而且管理井井有条，非常规范.

CIC还有实验室，实验室有完善的测试手段，定期抽样测试洗涤的清洁工作服，保证清洁工作服的洗涤质量.

从清洗质量、管理规范和清洗成本等方面，这种管理和清洗方法远远优于分散到各使用厂自行清洗.

因此，我国长江三角洲、珠江三角洲、北京、天津环渤海等三个经济发达、高新技术企业集中地区分别设立CIC段这样的清洗和管理公司，不仅有利于清洗工作服的使用公司、社会、环境保护.

，1、在我国洁净现场设计规范的GB，50073-2001中，规定洁净区域内不应设置厕所，人员净化用室内厕所应设置前室的人员净化程序图中，将厕所设置在大厅内的鞋交换区域之前，以避免厕所污染洁净区域为目的.

5#，这个设置位置给洁净室的作业人员上厕所带来很大的麻烦，上厕所从洁净室出来换衣服，换鞋，以后回到洁净室换鞋，换衣服，吹风等人身处理程序.

但是，为了保证洁净区的卫生和清洁，必须这样执行.

2、清洁厕所，在日本参观时见过清洁厕所.

86年我国洁净设备厂也生产过这样的洁净厕所.

具有排气负压的100级水平的厕所，厕所、洗脸盆、干燥器都是自动化的，之后不能用厕纸(也没有厕纸)，用热水冲洗，用热风干燥.

这样的厕所直接放在洁净室旁边，作业人员不需要更衣、换鞋等手续，对作业人员非常方便.

然而，价格昂贵，运行成本高，管理也存在一定问题.

国内很少见，只能在必要的场合安装.

，1、设置值班鼓风机的目的是设置值班鼓风机，在洁净室不工作的情况下，为了确保洁净室的洁净度不受外部污染空气的破坏，必须维持洁净室内的一定正压设置值班鼓风机.

值班鼓风机的送风也必须经过粗、中、高效过滤器三级过滤，并且必须进行冷却、除湿、加热等热湿处理.

否则，清洁室内的设备、设备、产品等可能会产生结露、霉菌、锈蚀.

因此，值班鼓风机运行时必须有值班供冷、供热系统.

否则，只有值班鼓风机是不可行的.

2、我国目前值班鼓风机设置情况，我国目前工厂洁净室一般不设置值班鼓风机系统.

因为三班制全年连续运行的洁净室不需要设置值班鼓风机.

即使是班级制的白天工作，晚上停止的工厂也会提前启动空调净化系统，工作前清洁洁室，工作后清洁室的清洁度可以满足生产技术的要求，不需要另外设置值班风扇系统.

但特殊情况下，工艺要求必须设置值班风扇系统时，必须按要求科学设置值班风扇系统.

3、洁净室的自我清洁时间、单向流洁净室的净化原理是活性原理，通风次数高，一般400600次下降/下降时(6~10次下降/下降)将污染空气从送风侧挤压到回风侧，因此自我清洁时间短.

一般30秒~60秒完成.

非单向流洁净室的净化原理是均匀扩散的稀释原理，而且其通风次数比单向流少得多，根据净化水平的不同通风次数不同，一般通风次数为15~60次/时.

因此，自我清洁的时间很长.

一般非单向流的自净时间为15~30分钟，净化水平越低，送风量越少，自净时间越长.

、、1、淋浴室的作用、淋浴室的设置有3个作用.

第一，用高速(≥25m/s)的清洁气流吹向人和物体表面，吹走人和物体表面附着的灰尘粒子，摇晃.

为了达到这个目的，必须有一定的淋浴速度和一定的淋浴时间.

一般按照生产的企业标准吹风速度，UV≥25m/s.吹风时间.T-----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------第二，精神教育和警告，进入清洁区的任何人都要注意，淋浴后进入清洁区，在清洁区内必须遵守清洁室的规定，不得擅自乱跑.

第三个作用是分隔作用，淋浴室是清洁区和非清洁区的屏障和分隔.

保护洁净室不受非洁净区的污染.

为了达到这个目的，淋浴室必须设置不能同时打开的两扇门(互锁)，使用清洁区和非清洁区的空气不能直接通过，起到遮挡的作用.

2、关于淋浴室的淋浴效果，淋浴室的淋浴效果，在80年代电子部十院和电子部十一院的相关同志进行了详细的测试和科学的实验.

结果表明，淋浴室对人体表面灰尘颗粒的淋浴效果为10%~30%.(≥0.5μm(≥5μm)和h15%~h35%(≥5.

0μm(≥5.

0μm)，这个实验数据显示，淋浴室不仅具有警告作用、遮挡作用，还具有去除人和物体表面的灰尘的作用，特别是对单向流动洁净室的作用，1、维持洁净室正压的目的，《洁净现场设计规范》决定在GB.

不同等级的洁净室和洁净区和非洁净区之间的压差不小于5Pa，洁净区和室外的压差不小于10Pa.

维持洁净室的压差是防止周围低水平的洁净空间、非洁净空间和室外空气的渗透和倒灌，影响洁净室洁净度的重要措施.

洁净室失去了正压，也可以说失去了洁净度，不称其洁净室.

由此可见，保持洁净室正压的重要意义.

洁净室的正压是指洁净室门窗关闭条件下的正压值.

2、洁净室的正压泄漏量、洁净室的正压通过调节洁净室的送风量，实现了比回风量和排风量之和大的正压泄漏量.

洁净室的正压泄漏量的大小不仅与维持的正压值的大小有关，还与洁净室的密闭度有关.

洁净室的正压漏风量可以用间隙法计算，也可以用通风次数来估算.

间隙法应按下式计算:、、、、、、、、、(m3/h)、、、、、、、、、、、、、、(m3/h.

m)、、、、、、、、、、、、、、、、表二十九、围护结构单位长度间隙的正压漏风量q(m3/h)m)、表30换气次数表、3、维持洁净室正压的方法，a、设置机械馀压阀，调节平衡重锤，使正压维持所需的正压值，该方法简单方便，一般馀压阀设置在洁净室的下风向侧，洁净室正压超过规定值时馀压阀这种方法很常用.

b、用洁净室的正压值自动控制新风量和回风量，使正压漏风量自动稳定在某个数量，稳定洁净室规定的正压值.

这种方法比较先进，但投资比较高.

c、在回风口加上过滤器和阻尼，实现洁净室的正压.

方法简单，但维护困难，正压值难以维持.

，1，消毒和灭菌的定义，消毒:消毒对人体有害的微生物、病原菌、病毒.

灭菌:灭绝一切的微生物.

无论是对人体有害、有益的微生物.

、、2、消毒和灭菌方法、a、药法:无菌药物擦拭、喷雾、熏蒸方法进行消毒灭菌，这些药物具有一定的腐蚀性，要求灭菌表面具有良好的耐腐蚀性.

灭菌药:①乙烯氧化气熏蒸.

25℃，30%，相对湿度，8~16小时.

有一定的毒性.②过氧乙酸.浓度是2%.25℃，20分钟.

具有一定的腐蚀性.

③丙烯酸气体熏蒸.

25℃，相对湿度80%.

用量7g/m3.

有一定的毒性.

④甲醛气体熏蒸.

25℃，相对湿度80%.

用量35ml/m3.

有一定的毒性.

⑤福尔马林气体熏蒸.

25℃，相对湿度，10%.10分钟.有刺激性.b、紫外线照射:紫外线一般波长为1360~3900，波长为2537，紫外线杀菌能力最强.

紫外灯的杀菌能力会随着时间的增加而减弱.

一般来说，点燃100小时的输出功率是额定输出功率.

当紫外灯点燃到70%时，点燃时间是紫外灯的平均寿命.

紫外灯超过平均寿命后，无法达到预期的灭菌效果，应更换紫外灯.

紫外线灯的灭菌效果因菌种而异，灭菌的照射量相当于灭菌的照射量的40~50倍.

紫外线灯的灭菌效果也与空气的相对湿度有关，相对湿度为60%，是设计值，相对湿度超过60%时，必须增加照射量.

紫外线灯的照射必须在没有人的状态下进行.

因为对正常人体有一定的伤害，所以紫外线灯的灭菌照射表面效果很好，但对流动的空气灭菌没有什么效果.

c、高温和高压蒸汽灭菌:高温干热灭菌温度一般为160℃~200℃.

2小时达到灭菌目的的高压蒸汽湿热灭菌温度为121℃时灭菌时间为15~20分钟.

d、其他溶菌酶、纳米、射线照射等灭菌方法.

但是最常用的就是过滤器的过滤方法进行灭菌，过滤器在过滤灰尘颗粒的同时也会将附着在灰尘上的细菌和微生物过滤掉.

，1、国内一般情况下，目前国内建造的清洁室的墙壁和屋顶多用彩色钢板包围，明亮、月白多.

地板多为抗静电塑料板或抗静电还氧自流平材料，颜色多为绿色和暗红色等深色.

洁净室内部的颜色一般以人们的视觉感觉舒适，长期在室内工作不易疲劳，精神集中，生产效率高为原则.

此外，明亮的围栏也能提高室内照度.

一般灯具布置在25.

~30w/m2.

室内照度可达800~1000Lx.

，，2，特殊情况，国内各工厂根据技术区划，根据清洁度决定清洁室内围护的颜色.

同一地区内的墙壁、屋顶、地板、作业人员穿的工作服都是同一颜色，不同地区的颜色不同.

这种划分界限明显易于管理.

例如，北京某制药厂将生产技术分为三个区、三个区的颜色分别为绿、黄、红.

绿区是包装和灭菌区:墙壁、屋顶、地板、作业人员的服装都是绿色的.

其清洁度为300，000级，温湿.

度的要求也很低.

黄区是片剂和针剂区:墙壁、屋顶、地板、作业人员的服装都是黄色的.

其清洁度为100，000级，温度、湿度精度要求高于绿色区域.

红区为针剂原料灌封区:墙壁、屋顶、地板和工作服均为红色，该区洁净度为10，000级(局部100级)，温湿度精神最高.

上班时，所有作业人员从一楼到二楼换鞋，外套回到一楼，穿着绿色工作，穿着作服进入绿色区域，绿色区域的作业人员留在绿色区域，其馀作业人员变成黄色工作服进入黄色区域，黄色区域的作业人员留在黄色区域，红色区域的作业人员变成红色工作服进入红色区域.

退出时相反，清洁工作服取出清洗.

，1、静电的危害，a、静电产生电场可以破坏电子和微电子产品造成废品的静电放电产生电磁波会引起电子设备(计算机和控制设备)的误动作，放电产生火花可以暴露感光材料.

b、洁净室内静电的带电体，灰尘附着在其表面，成为洁净室的污染源，影响洁净室的洁净度.

c、洁净室的静电聚集放电会引起火灾和爆炸影响洁净室的安全.

洁净室内生产使用大量易燃易爆气体、溶剂和有机物，洁净室密闭性强，人员避难引起火灾，损失更大.

，，2，静电的原因，由于某种原因导致电荷移动，正负荷失去平衡，物体带有静电，电荷移动的主要原因是at、接触带电:其中包括摩擦带电、滚动带电、剥离带电、喷射带电等.

b、感应带电、c、流动带电、d、电晕带电、3、防静电对策、a、洁净室围护的防静电:也就是说，用高导电率材料建造洁净室的围护(墙顶电阻值为104~106导静电材料或电阻值为106~109的防静电材料制成.

主要有良好的接地力.

墙壁和顶部由表面电阻值为106~108ω的铝蜂窝和岩棉彩钢板等金属材料制成.

需要良好的接地.

b、人防静电:洁净室工作人员穿防静电的洁净工作服，在衣服织物中加入金属纤维、碳纤维等导电材料.

必要时，作业人员手腕上有接地腕环.

c、生产技术允许时，也可以通过提高清洁室内空气的相对湿度来消除静电.

，1、洁净室防火的重要性，a、洁净室是密闭现场.

一般来说，外门和外窗不设置，净化水平越高，其位置越是核心中间部分的无窗密闭现场.

如果发生火灾，不仅会造成财产损失，更重要的是人员难以疏散，会造成人员伤亡.

b、洁净室是重要的科研和生产场所，生产使用大量易燃、易爆气体、溶剂和有机物质，同时使用大量有毒有害物质，一旦发生火灾，结果就无法想象.

c、洁净室为高科技服务，洁净室本身建设费用高(2000~10000元/m2)，洁净室内生产设备价格高，有些微电子设备每台数百万美元.

如果发生火灾，财产损失很大.

集上述因素，洁净室的防火非常重要.

、、2、洁净室防火措施、a、建筑结构材料应用不燃材料制作.

洁净室装修材料也应采用不燃材料制作.

应严格按照洁净现场设计规范5.

2防火和避难部分的要求执行.

b、生产技术尽量不使用易燃易爆材料.

必须使用时，尽量采取密封措施不散布，加强通风.

技术生产使用易燃易爆气体时，建议在气源瓶和使用设备之间加入中间分配箱，通常与易燃易爆有毒有害气源断裂.

c、采取必要的警报和灭火措施，①加强早期警报.

采用空气采样器和感温探头系统联合报警，实现阴火和明火的早期警报(空气采样器对阴火敏感，感温探头对明火敏感).

②设置室内外消火栓和洁净室自动淋浴灭火系统.

●洁净室需要完善的室外消火栓灭火系统.

●在洁净室的室内和上技术三明治、下技术三明治设置完善的室内消火栓灭火系统和预作用水喷洒灭火系统.

一般情况下，预作用喷雾系统的配管内充满压缩空气，探针发出警报后，该系统启动泵排气充水，发生火灾后，在起火处烧毁玻璃浸水自动喷雾灭火.

③设置避难排烟系统，●根据清洁现场设计规范，GB50073-2001要求清洁室的避难走廊设置排烟和防烟系统保证人员的避难安全.

●利用技术设备的排气系统和空调净化系统兼作火灾时的排气系统，避免人员的目的.

●根据消防部门和保险公司的要求，必要时设计洁净室的全面排烟系统.

4、组织需要训练有素的消防灭火队伍.

该团队产生在作业工人团队中，有火情的团队可以执行导游疏散和组织灭火.

形成危险不乱，有组织领导的局面.

、、1、洁净室的能源消耗特征，无尘室的空调洁净系统的运行能源消耗比一般舒适的空调运行能源消耗大得多，根据洁净水平洁净室的空调洁净能源消耗是一般舒适的空调能源消耗的1.

5~15倍，其单位面积的电力消耗为2.0.1~1.0Kw/m2.

a、洁净室的主要能源消耗，①为了维持洁净室要求的温度和相对湿度，必须对洁净室的送风进行必要的热、湿处理(冷却、除湿、加热、加湿…)，必须向空调净化系统供冷供热，供蒸汽消耗大量的能源.

②为了保证洁净室的洁净度、温度、湿度等参数，必须向洁净室输送大量空气，送风的鼓风机和供水泵等动力设备也必须消耗相当大的能量.

③上述供冷、供热、蒸汽消耗的能量、供气、供水设备消耗的电力越高，能量消耗越大.

下表为不同级别洁净室能耗统计表.

表三十一级洁净室能源消耗统计表，注:单位面积消耗电力是指空调净化系统的消耗电力(包括制冷、加热、加湿、送风等)，④洁净室冷负荷中的主要负荷是新风冷负荷，消除工艺设备和工艺过程中产生的冷负荷的10%.

，b，洁净室能耗大的原因，①洁净送风量大.

不一样净化层面的洁净室送风量与同一面积的舒适空调送风量的对比是它的1.

555倍，并且送风风压也是它的2-3倍，因此送风机的温升消耗冷量较大.

②洁净室空调净化系统新风量大，一般新风量与排气量和正压漏气量之和，因此生产技术排气量大，新风量大.

因此，新风的热湿处理能源消耗也很大.

③洁净室的技术设备和技术过程发热量大，而且连续2班制或3班制运行.

因此，能源消耗也很大.

④洁净室内生产技术的温度、湿度及其精度要求高、严格.

也是能源消耗大的原因.

、、c、洁净室的节能、①洁净室的设计参数(洁净度和温湿度)和洁净室的面积特别是10级、100级等高级单向流动洁净室的面积.

清洁水平越高，温湿度精度要求越高，单位面积能耗越大.

因此，实事求是这个高就高，不要无原则地提高要求.

洁净室的面积不要留太多空间.

特别是高档洁净室的面积尽量采用混合流，以低档洁净室代替高档洁净室.

尽量缩小10级，100级单向流洁净室的面积.

②严格控制洁净室的净化送风量，不要留下太大的安全系数.

控制监督施工质量，减少洁净室和管道漏风量，加强保温减少冷损失，提高设备效率，尽量利用变频措施节能.

③严格控制新风量.

尽量降低排风量，采取措施提高排风效果，降低排风量，减少新风空调处理的能耗.④加强管理.减少跑、冒、滴、漏.

充分利用热回收和天然能源作为空调系统的预冷和预热.

、、1、洁净室检查测试、洁净室检查一般有三种状态.

也就是说，空态、静态和动态.

空态:洁净室的竣工状态.

洁净室空调净化系统正常运行，室内无工艺设备和工作人员状态.

静态:洁净室空调净化系统正常运行，工艺设备无人运行.

动态:洁净室生产的正常工作状态.

检查测试一般是空态测试.

有时按合同也会有静态和动态测试.

检查测试的必要项目是洁净度测试、温度、湿度及其精度测试、洁净室正压测试和洁净室送风量、回风量和新风量测试.

除了必须测量项目外，还可以根据测试合同选择项目.

例如噪音、振动、风速、照度…….

检查测试报告书是洁净室竣工检查的重要文件.

、、2、洁净室在线测试、在线测试是定期或不定期在洁净室正常工作的条件下，对洁净室的洁净度、温度、湿度和正压的测试.是动态测试.在线测试结果可反映洁净室的性能和各种参数能否满足生产技术的要求.

，一般净化现场，特别是电子工业用的清洁现场有严格的恒温、恒湿要求，不仅对现场内的温度、湿度有严格的要求，对温度和相对湿度的变动范围也有严格的要求.

因此，在净化空调系统的空气处理中，必须采取相应的措施.

例如，夏天降温、除湿(夏天室外空气高温、高湿)，冬天加热加湿(冬天室外空气寒冷干燥).

对于净化空调系统的加湿问题，常用的加湿方法有淋湿、湿膜、高压喷雾、超声波等水的加湿方法，这些加湿方法是等蛆加湿过程.

喷雾蒸汽、喷雾蒸汽和电极(电热)的加湿是向空调送风喷雾蒸汽，其加湿方法是等温加湿过程.

从确保洁净现场内相对湿度的精度来看，上述淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法控制的精度不高，洁净现场内相对湿度的精度要求≤±10%时最好不要采用.

采用蒸汽和电热(电极)式加湿的方法.

喷雾蒸汽的加湿方法应注意，喷雾蒸汽的效率问题不是空调箱内喷雾的蒸汽全部加入空调送风，而是部分排出凝结水.

因此，在选择干蒸汽加湿的加湿量时，必须考虑喷雾效率.

一些制造商给出的喷雾效率为70%.

根据多年经验，各种加湿器的应用范围不同，如淋水、湿膜、高压喷雾等水加湿器，其特点是加湿量大，投资费用低，相对湿度控制精度差，因此相对湿度要求不严格(theng10%左右)相对湿度控制精度高的干蒸汽加湿和电极(电热)式加湿投资高，因此多用于相对湿度精度要求严格的恒温恒湿清洁现场空调系统加湿.

以微生物为控制对象的生物清洁室(例如生物制药、清洁手术室、生物安全实验室、实验无菌动物饲养室等)的重点是控制微生物的产生和传播，湿气和水分是微生物繁殖和繁殖的条件，因此水湿润的淋水、湿膜、高压喷雾等方法不能用于生物清洁室，只能用干蒸汽加湿和电极(电热)式加湿.

另一个值得注意的问题是，近年来中国南方深圳、广州、华东上海苏州等地冬季室外空气相对湿度比规范的室外空调计算相对湿度低.

例如，冬季室外计算相对湿度深圳、广州为70%，上海和苏州为75%，近年来实测的室外相对湿度只有30%左右，建设运行的清洁现场加湿量不足，室内相对湿度低，不符合设计要求.

一些工厂为了简单省钱，在原来的空调内增加湿膜和喷雾加湿，增加湿度.

但是，事与愿望不同，不仅不能加入湿度，加入的东西很快就饱和成为凝结水分析，不能达到加湿的目的.

因为湿膜和高压喷雾属于等蛆加湿的过程，加湿前的空调空气必须加热到一定温度后才能达到加湿的目的.

不加热是不可行的.

加湿问题中应注意的另一个问题是空调内空气流动带水的问题.

一些工程由于加湿的水问题没有得到很好的处理，后面的中效过滤器甚至高效过滤器都被带来的水弄湿了.

干式蒸汽加湿器也应注意蒸汽管和冷凝水管的坡度和坡度问题，使冷凝水迅速排出到空调外.

加湿器设置在空调风扇段内时，应采取措施防止水滴凝结到马达上，马达短路断电.

，空调系统的水管和管道必须用绝热的保温材料保温.

其目的是减少冷(热)的损失，节能，确保清洁现场所要求的温度和相对湿度.

二是夏天防止空调管道和冷水管道的结露滴水，一般清洁现场的天花板是软天花板(彩钢板或其他轻质板材)管道的结露滴水渗透到清洁现场，影响现场的正常运行.

如果是民间办公大楼和酒店等公共建筑，由于冷水管和送风管的保温不能结露水滴，软天花板可以看到湿的，印刷的，眼睛看不见.

因此，不要轻视空调管道(水管)的保温问题，解决不了后患，出了问题花更多的钱也很难修补.

作者本人在2003~2004年的2年间受到朋友的委托，在深圳处理了多个清洁现场的技术三明治上管道凝结滴水的问题，在清洁现场的地板上放置了很多塑料桶来迎接从天花板上掉下来的水，不仅室内温湿度不合格，还影响了正常的生产.

在天花板上，管道的保温材料都浸在凝结水中，特别是远离外墙的外窗.

管道的结露更加严重.

业主非常头痛，施工单位也无能为力.

特别是7、8、9、这几年的雨季非常集中，这些凝露水滴的清洁现场大多在交货一年后出现问题.

这个问题的解决主要从两个方面开始，第一个是解决保温材料的性能和保温层的厚度，第二个是解决吊顶管道技术三明治的换气问题.

第一，保温材料的性能和保温层的厚度问题:现在市场上销售的保温材料品种多，保温性能也不同，价格也高低不同，一般常用的不燃保温材料有岩棉和玻璃棉等，常用的不燃保温材料有聚乙烯和橡胶等.

采用岩棉和玻璃棉作为冷管保温时，外面必须用铝箔作为防湿层(保护层)，防湿层不处理或破损的话，空气中的水分会结露进入纤维内部使保温材料失效.

聚乙烯和橡胶多为闭孔发泡具有良好的保温隔湿性能，但市场上各供应商销售的聚乙烯和橡胶五花八门，难以保证低价竞争产品的质量.

签合同时提交的样品和大量提交的保温材料的保温性能和阻燃隔湿性能大不相同，质量无法保证.

我们设计院在设计时，为供应商提供管道内冷风的参数和管道所在环境的参数，供应商计算保温层的厚度，为了避免供应商计算的厚度，设计院负责审查计算书，保温后发生结露和滴水现象，除施工因素外，保温材料供应商负责处理和赔偿.

第二，天花板上管道技术三明治的换气问题:实践证明天花板上管道技术三明治必须有换气设施，无换气的天花板结露现象越严重，有外窗的技术三明治靠近外窗的管道结露现象越轻，远离外窗的深处结露现象越严重.

天花板上管道技术三明治的换气可以采用自然换气(打开外窗)，也可以采用机械排气自然换气的换气方式，如果技术三明治面积大，无法解决问题，也可以采用机械换气对面机械排气的换气方式.

，净化空调系统的加热主要分为空调箱内的空气一次加热(或预热)、空气二次加热(也称为再加热)和设置在管道上的电加热.

空调加热的热源常用的主要有蒸汽、热水和电加热.

系统中的一次加热多用于寒冷的北方(黄河以北)冬天作为预热用，防止塞外的寒冷空气进入空调箱后冻结其他空调附件，防止新风和回风混合时产生雾和凝结.

一次加热的热媒体最好是蒸汽，以热水为热媒体时，要防止预热器本身冻结.

系统中的二次加热是清洁现场内的温度调节和湿度控制所必需的，二次加热的热媒体主要是热水，热水作为热媒体调节方便，控制精度高.

一般温度精度要求≤±1℃时，应用热水制作热媒.

温度控制要求不严格或没有精度要求时，也可以用蒸汽制作热媒.

现场温度控制精度要求高(例如<±0.

5℃)单用二次加热控制精度难以达到时，在管道上设置微调精密控制的电加热器，在采用电加热器时，必须采取必要的安全保护措施.

另一方面，电加热器必须接地，有无风断电的保护，另一方面，电加热器前后1米的管道必须采用不燃的保温材料保温(例如岩棉和玻璃棉).

，，文章来源:http://www.

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com/，洁净室工程师训练教材，文章来源:http://www.

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ISO14644-1 (2015英文版全文)

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