OLED洁净工程管理要点

OLED 元器件是在清洁房间内开展生产制造的，洁净室工程品质优劣，决策着生产流水线良品率的高矮，从而危害生产成本。

我企业修建了一个OLED 试验线洁净室工程，文中将系统软件详细介绍该洁净室工程管理方法的关键点。

1 项目概况

该新项目主工业厂房生产制造地区为双层混凝土结构框架剪力墙及门式钢架构造，混泥土平屋面选用软性高分子材料防水卷材平屋面, 钢架结构平屋面选用机械设备固定不动的防水卷材平屋面方法，一层层高4.8 m，二逐层高六.4 m，一层技术性下隔层与二层厂区中间的混凝土楼板选用华夫板方法，运用华夫板上的打洞达到双层中间的送风，华夫板上设定导电率防静电地板，机器设备依据加工工艺规定布局在防静电地板或华夫板上。

2 设备合理布局

一层关键包含的作用屋子为技术性下隔层，送风夹道，沿下隔层地区四周布局有过厅、脱鞋区、一更、化工品供货、特种气体供货、废水搜集、污水提高站、制冷冷却循环水站、纯净水打磨抛光间、真室内空间、配电站、原材料储存间、制成品储存间等。

二层是大进深的加工工艺厂区，布局生产线设备。该层与技术性下隔层中间的构造混凝土楼板是有一定开孔率的华夫板，华夫板上边安裝空架防静电地板，以达到送风的规定；生产制造设备层的装修吊顶安裝离心风机过滤器模块（FFU），以达到生产制造层净化处理规定。

二层关键净化处理区包含的地区有 PVD/CVD、光刻技术间、掩膜清理、引入间、RTA、ELA、CVD、基钢板清理间、小块激光切割、蒸镀、片区、UV 硬底化、基钢板激光切割间、探头、列阵检验间、缓冲间、有车库、FMM库、QA、送风夹道等，关键净化处理区周边的其他作用屋子包含有洁净空调机房、电气设备室、高低压配电室、检修间、材料库等。在关键净化处理厂区的两边设计方案送风、管路立井，产生净化室内空气的循环系统控制回路。而且在工程建筑的两侧各设计方案好几部室内楼梯，产生各层对户外的消防疏散安全通道为达到净化处理生产制造的微振规定，二层的混凝土楼板――华夫板拟选用偏厚的破孔混凝土楼板构造，华夫表面刷环氧树脂胶建筑涂料，为达到生产工艺流程的灵便布局并提升 净化处理总面积的应用高效率，生产制造工作人员经主通道过厅进到脱鞋区，再进到一次换衣，根据职工专用型室内楼梯进到二层二次更衣间，再根据不锈钢风淋室进到厂区。

净化室空调机组由 MAU（新风系统解决系统软件） FFU  干风机盘管一同组成。厂区装修吊顶由离心风机过虑模块（FFU）与金属材料装修吊顶架构构成，FFU 视各生产制造机器设备必须之级别均布，普及率随生产工艺流程要求而定。新风系统由 MAU（新风系统解决系统软件）集中化运输后与房间内的循环系统风混和，经FFU 充压、过虑后送进厂区。生产制造区域内机器设备、工作人员、照明灯具、排架结构等冷负载均由干风机盘管担负。清洁室内湿度及正压力操纵由 MAU 承担。MAU 供排风量要求约 50000CMH×2 1 台，净化室循环系统排风量约773000 CMH。新风系统通道附属不织布手工过滤网及库板隔断制动气室于新风系统制冷机组通道前，增加关键过滤网使用寿命。

在化工品库、汽体间设定单独的空调机组,新风系统经解决后送进房间内，随后根据通风系统全部排至户外，气体不循环系统应用。

加工工艺通风系统：在加工工艺生产过程中会造成含酸、碱、溶剂、高熔点有机化学、危害等有机废气。为维护生产制造工作人员的身心健康，降低对办公环境及工业区周边气体的环境污染，各自设计方案了相对应的部分通风系统、整屋通风系统及有机废气处理系统软件。为清除加工工艺厂区工艺技术等释放的发热量所设计方案的部分通风系统、整屋通风系统的排风系统不需解决可立即排进空气。为清除加工工艺厂区工艺技术释放的含酸、碱、溶剂、高熔点有机化学、危害等有机废气的部分通风系统，排风系统须先经过有机废气净化塔等有机废气处理设备解决，做到我国环保标准后才可以排进空气。加工工艺通风系统排烟风机排风量设置约 S T R 4 0 0 C M H × 1 1 台；G E X - D18000CMH×1 1台；EX-W & GEX-H 12300CMH×1台，备用机与 GEX-D同用；SEX 16 000CMH×1 1台；ORG 4 000 CMH×1 1 台，全部加工工艺排烟风机均带软启动器。

防、排风系统：针对超过300 m2的地面上屋子、长短超过 40 m的疏散走道、长短超过20 m的内过道设定消消火栓系统。以高宽比为50 cm的挡烟垂壁区划防烟分区，较大 防烟分区的总面积为500 m2。消防排烟风机的排风量为 72 000 m3/h（60 000×1.2 倍）。密闭式屋子设定机械设备排风系统时，另外设定机械设备送风系统软件，补排风量为排烟系统量的50%。消防救援窗以及前处理室、消防安全电梯前室或合用前室设定防排烟系统设备。

3 清洁级别规定

关键净化处理区 0.3 ìm、ISO 5.5，輔助地区 0.3ìm、ISO 6. 5。其工艺流程环境监控系统见表1 。

4 工程施工关键剖析

4.1 基本建设全过程务必遵照净化室基本建设四项原则

（1）不带到。

（2）不造成。

（3）不累积。

（4）迅速除去。

不带到，便是不向净化室拉人一切尘土，务必保证 下列标准：

（1）高效送风口与构造不造成尘土泄露。

（2）维持净化室正压力。

（3）工作人员经换衣脱鞋、风淋室后才可进到净化室。

（4）原材料与机器设备经清理后才可进到净化室。不造成，便是没有净化室造成一切尘土，务必保证 下列标准：

（1）工作人员需穿洁净服。

（2）不应用非常容易造成尘土的原材料与机器设备。

（3）不开展多余的挪动。

（4）不带到无用具。不累积，便是没有净化室累积一切尘土，必

须保证 下列标准：

（1）不使机器设备角和四周清理艰难。

（2）净化室尽可能不曝露通风风管和管路。

（3）遵循规范化净化处理工作中程序流程。

迅速除去，便是迅速除去清洁房间内尘土，必

须保证以下几个方面：

（1）提升通气率。

（2）在挨近造成尘土的地区设定气水分离器。

（3）选用适合的气旋方式以防止尘土粘在商品上。

4.2 根据之上标准，净化室工程施工重点工作

搞好净化室气密性阻隔，将净化室与外部彻底防护，保证 外部空气污染物不可以进到净化室范畴，在宣布内装排架结构没完成前，先做临时性防护设备。

创建三级清洁管控，保证 工程施工各环节合乎相对应净化处理管控规范。

架空地板开孔率测算及填料、盲板遍布。为确保华夫板送风匀称，从送风夹道向另一侧盲板的遍布率下降以均衡气旋，避免短路故障。

保证 内装排架结构的密封性，洁净区外场墙面、现浇板务必维持严实，禁止外气泄露进到净化室。保证 送风夹道的密闭式，包含干风机盘管墙的密闭式及送风夹道围护结构构造的密封性，以确保干盘管的横断面风力、排风量规定，另外避免气旋短路故障，没经干盘管直接进入静压箱。

进到二级清洁管控环节，尽早在洁净室内创建正压，方式 是利用新风发电机组为房间内出示新风，创建正压，在新风机外界的新风吸进口增设无防布过虑新风，以增加新风机身初、中效过滤器的使用期限。

洁净室工程施工进行后，历经调节、检验，洁净室各类数据信息均合乎设计方案指标值。

5 总结

根据对本新项目工程施工实践活动的小结，认证了新项目清洁管理方法关键的准确性，洁净室工程施工管理，要严苛遵照洁净室基本建设四项原则，可保证 洁净室建设工程的取得成功。