光伏新能源净化工程-硅晶片清洁清洁现场解决方

清洁实验室-生物平安实验室净化工程解决方案

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1、光伏新能源硅片简介

光伏新能源硅片是由硅片材料加工而成的一片光亮如镜片，是生产半导体集成电路芯片的原材料。目前，微电子产业发展迅速，集成电路技术进入0.18微米以下时代，大大刺激了光新能源硅片的发展，同时对光新能源硅片性能参数的要求也大大提高，因此光新能源硅片的发展前景非常乐观。

1.1光伏新能源硅片生产工艺

大方面，光伏新能源硅片生产包括硅单晶棒生产和光伏新能源硅片生产两大部分，细分为以下主要工序:

ps#ps#大方面，光伏新能源硅片生产和光伏新能源硅片生产，硅片生产两大部分，细分为以下几个主要工序:#kdsps##ct#s_ps#cronds_pls#ds_plands#新能源硅片生产，从单晶片生产和晶片生产开发生产。以某日资硅制造商为例，介绍光伏新能源硅制造工序的空调净化系统和自控系统的设计方案。

1.2分别生产工序环境控制要求

某硅片厂生产4~6英寸光伏新能源硅片，产量480万片/年。该公司的光伏新能源硅片应用于分立部件、功率部件和特殊集成电路的制作。

2、空调净化系统

whwccj空调净化设计与工艺布局、生产流程紧密结合。不同类型、不同用途的现场空调净化系统各有特点，介绍光伏新能源硅片生产工序的空调净化系统方案。

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2.1台空调系统

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#1台切片室、倒角室、研磨室只有温度控制要求，设置冷热泵分体机柜式空调(PAC)保证房间温度要求，室内机靠近车间，接风管，采用双层百叶窗风口侧送风机放置在室外。切片室排风量大，新风采用直接蒸发式热泵型屋面空调S1-1和S1-2补充。现场有防尘要求，在空冷热泵分体盘式空调的回风口设置中效过滤器(大气尘计数效率:≥60%，≥1μm粒子)，同样的屋顶式空调需要设置两级过滤器。

其原理图见图:

2炉室、BSD室只有温度控制要求，设置风冷电热分体柜式空调(PAL)保证房间温度要求，室内机靠近设置在车间，采用方形散流器顶部送风方式，室外机放置在屋顶上。新风被相邻的洁净室压住了。现场有防尘要求，风冷电热分体柜式空调回风口设置有效过滤器(大气尘计数效率:≥60%，≥1μm粒子)。

3t片检查室有温度和湿度控制要求，设置空冷电热分体柜式空调(PAL)保证房间温度要求，室内机附近设置在现场，连接管道，采用方形散流器顶部送风方式的室外机设置在屋顶上。新风经新风单元(MAU-1、2)处理后，接送管道送到室内，相对湿度由新风单元保证。新风机组与净化系统共享。现场有防尘要求，风冷电热分体柜式空调回风口设置中效过滤器(大气尘计数效率:≥60%，≥1μm粒子)，新风机组内设置粗、中效过滤器。

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2.2净化系统

光伏新能源净化工程系统用新风空调单元(MAU)和循环空调单元(AHU)的冷冻媒体采用6-11℃的冷冻水，加热采用0.2MPa蒸汽，加湿采用0.1MPa的清洁蒸汽，清洁蒸汽是纯水

1CP室净化水平为7级，通风次数为30次/小时，CP室工艺设备酸多，采用新风空调单元(MAU-3)高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调方式。其气流流程为新风入口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-清洁蒸汽加湿-送风机-送风管-高效过滤器送风-清洁区。

2ML室净化水平为7级，通风次数为30次/小时，采用新风单元(MAU)循环单元(AHU)高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调方式。新风从其他系统共享MAU-1、2新风组。

3CP/CVD室、LP/CVD室、清洁包装室的净化水平为6级，通风次数为50次/小时，采用新风单元(MAU)循环单元(AHU)高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调方式。新风来自其他系统共享的MAU-1、2新风组。

47级、6级洁净室采用的气流形式为顶部高效过滤器送风口送风，房间侧下百叶窗风口回风。那个气流的流程是新的回风混合！中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-高效过滤器送风口-洁净区-房间侧下百叶窗回风口-回风管-新回风混合。

5k洁净室，质量检查室净化水平为7级，采用新风单元(MAU)循环单元(AHU)风扇过滤单元(FFU)空调方式。采用的气流形式为顶部FFU送风，房间侧下百叶窗风口回风。FFU满布率为33%，洁净室、质量检查室对NH4、SQx浓度有要求，需要在循环单元(AHU)增设化学过滤器。五级净化室的气流流程为:新回风混合-化学过滤器(NH4)-化学过滤器(SQx)-中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-送风静压箱-送风机过滤器单元(FFU)-清洁区-房间侧下百叶窗回风口-回风管-新回风混合。新风来自其他系统共享的MAU-1、2新风组。

6除去CP室外的洁净室所需的新风采用2台新风单元(MAU-1、2)集中处理，新风集中处理后送到各循环单元(AHU)。其气流流程为新风入口-粗效果过滤器-中效果过滤器-预加热器-表冷器-加热器-清洁蒸汽加湿-送风机-送风管-各循环空调单元(AHU)。

7tcp室、ML室、洁净室的酸量比较多，CP室、ML室内高效过滤器送风口的扩散板需要用不锈钢板制作，洁净室内的FFU网板需要用不锈钢板制作。

8。质量检查室应根据工艺要求采用黑色墙板、黑色顶板，相应采用黑色回风口，FFU网板应采用黑色网板。

3、净化系统空调自动控制

新风单元(MAU-1、2)采用变频风扇，由总送风管的静压传感器控制变频器。在访问各风量和正压控制循环单元(AHU)的新管道上设置电动调节阀，通过各洁净室的正压值调节电动调节阀的开度，使洁净室的正压值不随生产设备的排气量的变化而变化，电动调节阀的开度变化导致总输送管道的静压变化

3.1净化车间温湿度控制

净化生产车间湿度由新风机组MAU-1、2保证，控制新风机组的送风状态点，根据送风状态设定值调节干蒸汽加湿器的电动执行机构和表冷器和加热器回水管的电动二通阀开度。露点温度DPT由检查室内湿度敏感元件HE连续整定。

净化生产现场的温度由循环单元AHU保证，根据室内温度调节冷冻器回水管的电动二通阀的开度。

3.2供冷系统控制

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冷冻水系统采用一级泵，以负载控制的方式确定冷水单元和应用泵、冷却塔的开放台数。根据设定供给、回水压差，自动控制供给、回水主管之间的压差流量旁通阀。

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