洁净室静电测试内容有哪些？

发布时间：2021-05-08 12:37 人气：来源：http://www.whwccj.com

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1 泄露电阻器
2 系统软件接地线电阻
3 容积电阻器
4 表面电阻率
4 系统软件电阻器

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GB50591-2010 《洁净室施工及验收规范》
GB/T25915-2010 《洁净室及相关受控环境》

ISO 14644_2006 Cleanrooms and associated controlled environments

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