洁净现场设计规范(GBJ73-84)(洁净室设计标准)旧版

什么是空态、静态、动态-洁净室检测状态说明(IQ、OQ、PQ)

什么是空态、静态、动态-洁净室检测状态说明(IQ、OQ、PQ)

洁净现场设计规范(GBJ73-84)(洁净室设计标准)旧版全文，洁净现场设计规范，中华人民共和国国国家标准，GBJ73-84，主编部门:中华人民共和国电子工业部，批准部门:中华人民共和国国家计划委员会，实施日期:1985年6月1日，关于发布《洁净现场设计规范》的通知，计划19842483日，根据原国建设委员会(78)建设字第562号文的要求，电子工业部门共同编制的《洁净现场设计规范》部门已经审查了.

现批准清洁现场设计规范GBJ73-84为国家标准，从1985年6月1日开始实施.

本规范由电子工业部管理，其具体说明等工作由电子工业部第十设计研究院负责.

国家计划委员会于1984年12月1日制定说明，本规范根据原国家基本建设委员会(78)建设字第562号文的要求，由我部负责主编.

具体由我部第十设计研究院与机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四计划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第六设计研究院、化工部第六设计研究院、中国有色金属总公司北京有色金设计研究院、中国建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程研究院等部门共同编制.

在编制过程中，规范编制组进行了广泛的调查研究，认真总结了中国清洁现场建设和使用的实践经验，组织了有关机构开展必要的科学考试研究，广泛征求了全国有关机构的意见.

最后，我部与有关部门审查原稿.

本规范分为八章和七个附录，主要内容包括总规则、空气清洁度等级、整体设计、建筑、空气净化、供水排水、工业气管、电气等.

鉴于本规范系的初次编制，在执行过程中，希望各部门结合工程实践和科学研究，认真总结经验，发现需要修正和充实的地方，将意见和相关资料送到本部第十设计研究院，以供今后修正时参考.

电子工业部，一九八四年八月二十七日，洁净现场设计规范，目录，第一章总则，第二章压缩空气洁净度等级，第三章压缩总体设计，第一章压缩总体设计，第一章压缩总体设计，第二章压缩总体设计，第二章压缩总体设计，第二章压缩总体设计，第压缩总体规定，第二节人员净化和材料净化设施，第三节防火和疏散，第四节装修，第五节装配式洁净室，第五章压缩总体设计，第五章压缩总体设计，第二节压缩总体设计，第三节压缩总体设计，第三节，清洁设计，第四节，清洁设计第1.0.2条本规范适用于新建和改建、扩建的清洁现场设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物清洁室.

本规范有关防火疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层清洁现场和地下清洁现场的设计.第1.0.3条利用现有建筑进行清洁技术改造时，清洁现场的设计必须根据生产技术的要求，根据土地条件，区别对待，充分利用现有的技术设施.第1.0.4条清洁现场设计应为施工设置、维护管理、检查测试和安全运行创造必要条件.第1.0.5条清洁现场设计除本规范外，还应符合现行国家标准、规范要求.，第2.0.1条空气清洁度按表2.0.1规定分为4个等级.

空气清洁度表2.0.1，，注:空气清洁度为100级的清洁室内大于5微米尘粒的计数，应多次采样，多次出现时，可以认为该测试数值可靠.第2.0.2条对清洁室空气清洁度等级的检查，应以动态条件下测试的尘粒数为依据.

洁净室空气清洁度的测试应符合附录二条规定.，第3.1.1条清洁现场位置的选择，必须根据以下要求进行技术经济方案的比较，一、大气含尘浓度低、自然环境好的区域，二、必须远离铁路、码头、机场、交通要道、散发大量粉尘和有害气体的工厂、储藏库、堆积场等严重的空气污染、振动或噪音干扰区域，如果不能远离严重的空气污染源，则必须位于最大频率的风向上风侧，或者全年最小频率的风向下风侧第3.1.2条对兼具微振控制要求的清洁现场位置的选择，应实际测量周围现有振动源的振动影响，并与精密设备、精密仪表允许环境振动值进行分析比较.第3.1.3条清洁现场最大频率风向上风侧有烟囱时，清洁现场与烟囱之间的水平距离不得小于烟囱高度的12倍.第3.1.4条清洁现场与交通干燥道之间的距离不得小于50米.第3.1.5条清洁现场周围应设置环形消防车道.

如果有困难，可以沿现场两条长线设置消防车道.第3.1.6条清洁现场周围的路面层，应选择整体性好、灰尘少的材料.第3.1.7条清洁现场周围应绿化.

可铺设草坪，种植对大气含尘浓度无有害影响的树木，形成绿化区域，但不得妨碍消防操作.第3.2.1条工艺布局应符合以下要求.

一、工艺布局合理紧凑.

洁净室和洁净区内只配置必要的技术设备和有空气洁净度等级要求的工序和工作室，二、在满足生产技术要求的前提下，空气清洁度高的洁净室和洁净区应接近空气调节室的空气洁净度等级相同的工序和工作室应集中配置的洁净区入口应配置空气洁净度等级低的工作室，三、洁净室内要求空气洁净度高的工序应配置在上风侧容易产生污染的工艺设备应配置在接近回风口的位置，四、考虑大型设备的设置和维护运输路线，确保设备的设备的设置和设置，进行设置口和配置，进行最短的配置，必须进行单独的配置.第3.2.2条清洁现场应设置较少的房间，但在以下情况下，一、根据生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区间，或者有防火分隔要求者，二、生产过程中产生较强的噪音，发出较多的热量、尘粒和有害气体，并且不能采取局部措施控制者，三、生产联系较少，经常不同时使用的两个生产区间.第3.2.3条清洁现场的平面和空间设计，应将清洁区清洁区域、人员清洁、材料清洁和其他辅助房间.

同时要考虑生产操作、工艺设备安裝和维护保养、气流组织型号、管线布局、净化空调系统等各种各样技术设施的综合性协调功效.第3.2.4条清洁现场的设计必须合理确定各种管道的平面位置和坚固的方向标高.第3.2.5条清洁现场内各种固定技术设施(送风口、照明器、回风口、各种管道等)的配置，首先应考虑清洁空调系统的要求.第3.3.1条清洁室内噪声水平，一、动态测试时，清洁室内噪声水平不得超过70分贝a.

二、空态测试时，乱流洁净室的噪音水平不得超过60分贝a的层流洁净室的噪音水平不得超过65分贝a.

注:①由于技术经济条件的限制，或者噪音超过70分贝a对生产没有影响时，噪音水平可以适当放宽，但不得超过75分贝a②上述噪音水平是指室内各工作点的耳朵位置(人离开)的测定值.

对于变动噪音，取相同位置在正常工作日内的等效连续声压水平.第3.3.2条清洁室噪音频谱的限制，应采用倍频程声压级别的各频带声压级别不得超过表3.3.2的规定.噪音频谱限制表3.3.2、、第3.3.3条清洁现场的平面、剖面配置应考虑噪音控制的要求，其围护结构应具有良好的隔音性能，应接近各部分的隔音量.第3.3.4条清洁室内各种设备应选择低噪音产品.

辐射噪音超过洁净室允许值的设备应设置专用隔音设施(如隔音室、隔音罩等).第3.3.5条净化空气调节系统噪音超过允许值时，应采取隔音、消音、隔振等控制措施.

除事故排气外，应对清洁室内的排气系统进行降噪设计.第3.3.6条净化空气调节系统，根据室内噪声水平的要求，管道内风速应按以下规定选择.

一、总管道为6-10米/秒，二、无送、回风口的文管道为6~8米/秒，三、有送、回风口的文管道为3~6米/秒.第3.3.7条清洁现场的噪音控制设计必须考虑生产环境的空气清洁度要求，不必因控制噪音而影响清洁室的清洁条件.第3.4.1条清洁现场和周围辅助站内有强烈振动的设备(包括泵等)及其通向清洁室的配管，应采取积极的隔振措施.第3.4.2条对清洁现场内外各种振动源，应测量对清洁现场的综合振动影响.

受条件限制时，也可根据经验评估综合振动的影响.

并与精密设备、精密仪表的允许环境振动值进行比较，确定采取必要的田振措施.第3.4.3条精密设备、精密仪表的隔振措施应考虑减少灰尘量，保持洁净室内合理的气流组织等要求.

采用空气弹簧隔振台时，应处理气温，达到清洁室空气清洁度等级.，第4.1.1条清洁现场建筑平面和空间布局应具有适当的灵活性.

洁净区的主体结构不应采用内壁承载力.第4.1.2条洁净室的高度由纯高控制，纯高度应为100毫米的基本模数.第4.1.3条清洁现场主体结构的耐久性与室内装备和装修水平相协调，具有防火、温度变形控制和不均匀沉降性能(地震区应符合抗震设计规定).

现场变形缝应避免通过清洁区域.第4.1.4条送货、回风管道和其他管道需要暗铺时，应设置技术夹层、技术夹层或沟沟等通过极层的纵向管道需要暗铺时，必须设置技术纵向井.第4.1.5条对一般生产和清洁生产的综合现场，其方案设计和结构处理应避免对人流、物流运输和防火产生不良影响.第4.2.1条清洁现场应设置人员清洁、材料清洁用房和设施，必要时应设置生活用房和其他用房.第4.2.2条人员净化用房，应包括雨具保管室、管理室、换鞋室、保管室、洗漱室、清洁工作服室和空气淋浴室等.

厕所、淋浴室、休息室等生活用房、工作服清洗室和干燥室等其他用房，可根据需要设置.第4.2.3条人员净化用房和生活用房的设计，必须满足以下要求.

一、人员净化用房口应设置鞋清洁器.

二、保管外衣室和清洁工作服室应分别设置.

外衣柜和清洁工作柜应根据设计人数每人设置一个柜子.

三、洗漱室应设置洗手和干燥设备.

水龙头应按最大班人数每10人设置一个.

四、清洁区不得设置厕所.

人员净化用室内卫生间应设置前室.

五、空气淋浴室应设置在清洁区人员入口，与清洁工作服室相邻.

单人空气淋浴室按最大班级人数每30人设置一台.

只有100级垂直层流洁净室时，可以改造闸门室.

清洁区工作人员超过5人时，空气淋浴室侧应设置旁通门.第4.2.4条人流路线应避免往复交叉.

人员净化用房和生活用房的配置，一般按图4.2.4人员净化程序配置.第4.2.5条应根据空气清洁度等级和员工数量，合理确定清洁现场员工净化用房和生活用房的建筑面积.

一般来说，清洁区域的设计人数平均每人可以计算4~6平方米.第4.2.6条清洁工作服室内，空气净化需要一定的要求.第4.2.7条洁净室的设备和材料出入口，必须根据设备和材料的性质、形状等征用设置材料净化用室及其设施.

材料净化用房的配置应防止净化后材料在传递过程中受到污染.第4.3.1条清洁现场的耐火等级不得低于二级.

天花板材料应为非燃烧体，耐火极限不得小于0.25小时.第4.3.2条清洁现场内一般生产工作室火灾危险性，可按附录3分类.第4.3.3条甲乙类生产的清洁现场，应采用单层现场.

其防火墙之间最大允许占地面积，单层厂房3000平米，多层厂房2000平米.第4.3.4条甲、乙类生产或设置在甲、乙类生产环境中的组装式清洁室，其天花板和墙板(包括内部填充物).是非燃烧体.第4.3.5条在防火区内的综合现场，其清洁生产和一般生产区间应设置非燃烧体隔墙封闭到屋顶.

隔墙及其对应顶板的耐火极限不得小于1小时，隔墙门窗的耐火极限不得小于0.6小时.穿过隔墙或顶板的管道周围的间隙应用非燃烧材料紧密填充.第4.3.6条技术垂直井壁应为非燃烧体，耐火极限不得低于1小时.

井壁检查门的耐火极限在0.

6小时以下的纵井内在各层或间隔一层的地板上，应采用相当于地板耐火极限的非燃烧体作为水平防火分隔的水平防火分隔的配线周围的间隙，应采用非燃烧材料紧密堵塞.第4.3.7条清洁现场的所有生产层、所有防火区或所有清洁区的安全出口数量不得少于两个.

但是，满足以下要求的人可以设置安全出口.

一、甲、乙类生产现场各层总建筑面积不超过50平方米，同时生产人员总数不超过5人，二、丙、丁、戊类生产现场符合国家现行建筑设计防火规范规定者.

安全出口应分散均匀配置，从生产地点到安全出口不经过曲折人员净化路线.第4.3.8条清洁区和非清洁区和清洁区与室外相通的安全避难门必须向避难方向打开.

安全避难门不得采用吊门、转门、侧门、电控自动门.第4.3.9条在清洁现场的同外墙可供消防员通往现场清洁区的门窗，其开口间隔在80米以上时，应在该区外墙的适当部位设置专用消防口.

专用消防口的宽度在750mm以下，高度在1800mm以下，需要明显的标志.

楼层的专用消防口必须设置阳台，从二楼向上设置爬楼梯.第4.4.1条清洁现场建筑围护结构和室内装修应选择气密性好、温度和湿度等变化作用下变形小的材料.

墙面装修需要附加结构骨架和保温层时.

应采用非燃烧体或难燃烧体.第4.4.2条清洁室内墙壁和天花板表面，应满足平坦、光滑、不起灰、避免眩光、除尘方便等要求，减少凹凸面，阴阳角形成圆角.

室内装饰应用于操作.

如果是抹灰，应采用高级抹灰标准.第4.4.3条洁净室地面应满足平坦、耐磨、易除尘清洗、静电不易积聚、防眩光、舒适等要求.第4.4.4条清洁现场技术三明治的墙面、天花板应抹灰.

如果需要在技术夹层内更换高效的空气过滤器，请增加涂料的精加工.

地面、回风沟和地下技术夹层应采取防水、防潮、防霉措施.

建筑风道和回风沟内表面装修标准应适应整个送、回风系统，易于除尘.第4.4.5条洁净室和人员洁净室设置的外窗，应采用双层玻璃金属窗，具有良好的气密性.第4.4.6条清洁室内的密闭门应向空气清洁度高的房间打开.

在没有窗户的洁净室的密闭门上设置观察窗.第4.4.7条洁净室门窗、墙壁、天花板、地板(楼)面的结构和施工间隙，应采取可靠的密封措施.第4.4.8条清洁室内颜色优雅柔和.

室内各表面材料的光反射系数，天花板和墙面应为0.6-0.8的地面应为0.15-0.35.第4.5.1条在新建或改建的清洁现场设计中，面积小、层高低、空气清洁度高的生产环境可采用组装式清洁室.第4.5.2条组装式清洁室的房间需要空气净化要求，必须符合组装式清洁室的空气清洁度等级.

周边建筑的耐火等级不得低于二级.第4.5.3条组装式清洁室的天花板可以由组装式清洁室本身的内壁板和支柱支撑，也可以固定在周边建筑物上.

回风沟和回风坑应设置在周边建筑物的地面以下.第4.5.4条组装式洁净室设计应满足该室内安装壁板的要求.

组装式洁净室的部件，连接结构整体性强，气密性好，组装、拆卸、包装、运输方便.第4.5.5条组装式清洁室周围的墙板中，应该有一面或两面贴近周围建筑物的墙壁.

紧贴时，墙板与墙体之间的安装间隙应封闭.

接近时，应保持清洁距离.

组装式洁净室时，墙板外侧设有技术夹层时，墙板与周边建筑内墙面之间的净宽度不得小于600毫米.，第5.1.1条清洁现场各清洁室空气清洁度等级的确定，必须满足以下要求.

一、清洁室内有多种工序时，必须根据各工序的要求采用不同的空气清洁度等级.

二、在满足生产技术要求的前提下，洁净室的气流组织应采用局部工作区域的空气净化和全室空气净化相结合的形式.第5.1.2条层流洁净室、乱流洁净室、运行班次和使用时间不同的洁净室，其净化空气调节系统应分别设置.第5.1.3条清洁室内的计算温度、湿度，一、满足生产技术要求，二、生产技术无温度、湿度要求时，清洁室温度为20~26℃，湿度不足70%，三、人员清洁室和生活室温度为16-28℃.第5.1.4条清洁室内必须保证-一定的新鲜空气量，其数值必须取下以下风量中的最大值.

一、乱流清洁室后送风量的10-30%，层流清洁室总送风量的2~4%，二、补偿室内排风，保持室内正压值所需的新鲜空气量，三、保证室内每人每小时的新鲜空气量在40立方米以上.第5.1.5条清洁区的清洁，应采用移动式高效吸尘器或设置集中吸尘系统.

洁净室内集中吸尘系统的管道，必须暗中铺设.第5.1.6条在净化空调系统设计中，对施工和维护管理的要求可根据附录4和附录5的规定.第5.2.1条清洁室必须保持一定的正压.

不同等级的洁净室和洁净区和非洁净区之间的静压差，不得小于0.

5毫米的水柱的洁净区和室外的静压差，不得小于1.

0毫米的水柱.第5.2.2条洁净室应维持不同正压值所需的正压风量，按下式计算:q=a.△(q.l)(5.2.2)，在式中q维持洁净室正压值所需的正压风量(立方米/时)，a根据围护结构的气密性决定的安全系数，取得l.l-l.2的q米)l围护结构的间隙长度(米).第5.2.3条围护结构单位长度间隙泄漏风量，可按表5.2.3采用.围护结构单位长度间隙泄漏风量表5.2.3，，第5.2.4条送风、回风和排气系统的开关应连锁.

系统打开时，连锁程序首先启动鼓风机，然后启动鼓风机和排气风扇.

如果系统关闭，连锁程序应该相反.第5.2.5条非连续运行的洁净室，可根据生产技术要求设置值班鼓风机，处理新风.第5.3.1条气流组织的选择，一、清洁工作区域的气流速度，必须满足空气清洁度和人体健康的要求.

清洁工作区的气流应单一，二、回风口应均匀配置在清洁室下部，三、馀压阀应设置在清洁室气流下风侧，不应设置在清洁工作区的高度范围内.第5.3.2条洁净室的气流组织和送风量，应按表5.3.2选择.空气流组织和送风量表5.3.2，，注:1.

垂直层流洁净室采用相对两侧壁下部均匀配置回风口方式，只适用于两侧壁间隔不超过5米，2.

乱流洁净室送风量的确定，应考虑室内含尘浓度不均匀扩散的因素，，第5.3.3条乱流洁净室送风量，应取下规定的最大值:一、控制室内空气洁净度所需的送风量，二、表5.

32规定的送风量，三、根据热、湿负荷和稀释空气所需的送风量第5.3.4条生产技术只要在洁净室内的局部工作区域达到更高的空气洁净度，其气流组织的设计就必须首先通过该工作区域，或者在洁净室的不同区域形成不同气流型和空气洁净度等级的洁净工作区域，其类型分别可以根据图5.3.4-1、图5.3.4-2进行选择.第5.3.5条清洁室内不应设置清洁工作台的乱流清洁室内可设置清洁工作台，但其位置应远离回风口.第5.3.6条清洁室内有局部排气装置时，其位置应设置在工作区气流的下风侧.第5.4.1条各级空气清洁度的空气净化处理应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤.

注:100，000级空气净化处理高效空气过滤器代替高效空气过滤器.

(原文链接:http://www.

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com/a-60/)、第5.4.2条在确定集中式或分散式净化空调系统时，应综合考虑生产技术特点和洁净室空气清洁度等级、面积位置等因素.

生产技术连续、洁净室面积大、位置集中、噪声控制和振动控制要求严格的洁净室应采用集中式净化空调系统.第5.4.3条净化空调系统设计应合理利用回风.

工艺过程中产生大量有害物质，局部处理不符合卫生要求或危害其他工艺时，不得利用回风.第5.4.4条净化空气调节系统除直流系统和值班风扇设置系统外，还应采取防止室外污染空气通过新风口渗透到清洁室内的防倒灌措施.第5.4.5条空气过滤器的选择、配置和安装方式应满足以下要求.

一、初效空气过滤器不应选择浸油式过滤器，二、中效空气过滤器应集中设置在净化空气调节系统的正压段，三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤器应设置在净化空气调节系统的末端，四、中效、亚高效空气过滤器应按额定风量选择，五、阻力、效率相近的高效空气过滤器应设置在同一洁净室内，六、高效空气过滤器的设置方式应简单可靠，应检漏和更换.第5.4.6条送风机可根据净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择.

中效、高效的空气过滤器的阻力应初始阻力的两倍计算.第5.4.7条净化空调系统需要电加热时，应选择管状电加热器，位置应配置在高效空气过滤器的上风侧，并采取防火安全措施.第5.5.1条洁净室的暖气模式，一、100级、1000级、10000级洁净室、10000级洁净室、不应采用散热器暖气l0万级洁净室、不应采用散热器暖气.

二、值班供暖可利用技术夹层散热器间接供暖，或间歇运行净化空气调节系统，值班鼓风机系统进行热风供暖.第5.5.2条散热器应采用表面光滑、不易积尘、易于清扫的类型.第5.5.3条清洁室内产生粉尘和有害气体的技术设备，应设置局部排气装置，排气罩的操作口面积应尽量缩小.第5.5.4条局部排气系统在下列情况下，必须单独设置.

一、非同一净化空气调节系统，二、排气介质混合后，腐蚀性、毒性、燃烧爆炸的危险性可能发生或加剧，三、排出的有害物质毒性大不相同.第5.5.5条洁净室排气系统的设计，一、应采取防倒灌措施，二、含易燃易爆物质局部排气系统的防火、防爆措施.第5.5.6条换鞋室、保管室、洗漱室、厕所和淋浴室等，应采取通风措施.

其室内静压值应低于清洁区域.第5.5.7条洁净室事故排气系统的换气次数，每小时采用15~20次.

事故排气装置的控制开关应分别设置在洁净室和室外操作方便的场所，与净化空调系统连锁，室内应设置警报装置.第5.6.1条管断面尺寸的确定，应考虑清洁管内壁，在适当的位置设置密闭的清洁口.

管道壁厚按附录6选择.第5.6.2条净化空气调节系统的新管道、回气总管应设置密闭调节阀.

送风机的吸入口和需要调节风量的地方，必须设置调节阀.

无尘厂房治理规程

无尘厂房管理规程

洁净室内排风系统应设调节阀、止回阀或密闭阀.

总管道穿过地板和管道穿过防火墙，必须设置防火阀.第5.6.3条净化空气调节系统管道和调节阀、高效空气过滤器保护网、孔板和扩散孔板等附件的制作材料和涂料，必须根据输送空气的清洁要求及其所在空气环境条件来决定.

清洁室内排气系统的管道、调节阀、止回阀等附件的制作材料和涂料，必须根据排气的性质及其空气环境条件来决定.第5.6.4条在中效和高效效空气过滤器前后设置测压孔.

在新管道、送回管道和需要调节风量的管道上，必须设置风量测定孔.第5.6.5条排除腐蚀性气体的管道可采用塑料管道.

其他管道和管道的保温和消声材料及其粘结刑，必须采用非燃烧材料或难燃烧材料.，第6.1.1条清洁现场供水排水干燥管，应铺设在技术三明治、技术纵井、沟槽内或地下埋设.

洁净室内应少铺设配管.

引进洁净室的支管应明亮，但对空气洁净度等级要求高的洁净室可以暗淡涂抹.第6.1.2条清洁现场管道外表面有可能结露，应采取防止结露措施.第6.1.3条管道必须穿过清洁室的天花板、墙壁和地板.

管道与套管之间应采取可靠的密封措施.第5.1.4条.管道不应穿过防火墙.

必须通过时，穿墙管及其套管应为非燃烧体管材.第6.2.1条清洁现场供水系统的设计，应根据生产、生活和消防等各用水对水质、水温、水压和水量的要求，分别设置直流、循环或再利用的供水系统.

高纯水系统应设循环管道.第6.2.2条管材的选择，一、纯水管、高纯水管应采用硬PVC管、聚丙烯管或不锈钢管，二、冷却循环供水和回水管应采用镀锌钢管，三、生产用水设备与管道的连接应采用优质软管，四、管道配件应采用适当的材料.第6.2.3条清洁现场可设置热水供应设施的洗手间洗手间应供应热水的软化水、纯水管适应预约清洗口的纯水终端净化装置应放在靠近水的地方.第6.2.4条清洁现场周围应设置洒水设施.第6.3.1条清洁现场排水系统的设计，应根据生产排出的废水性质、浓度、水量等特点确定排水系统，具有废水处理和综合利用设施.第6.3.2条清洁室内的排水设备和连接重力回水管道的设备，必须在其排出口以下部分设置水封装置，有防止水封被破坏的设施.第6.3.3条100级、1000级洁净室内，必须设置不应设置地漏的情况下，应采用复盖地漏，不应设置排水沟.

10,000,100,000级洁净室内允许通过排水竖管，但竖管上不得设置检修口.第6.3.4条清洁现场应采用不易积存污垢、易于清洁的卫生器具、管材、管架及其附件.第6.4.1条清洁现场应根据生产的火灾危险性分类和建筑物耐火等级等因素决定消防设施.第6.4.2条清洁现场室内消火栓供水系统的消防用水量不得小于10升/秒，每股水量不得小于5升/秒，第6.4.3条清洁现场的消火栓设置一、消火栓水枪充实水柱，不得小于10米二、消火栓的栓口直径为65毫米，配备的水带长度不得超过25米，水枪口直径不得小于19毫米.第6.4.4条洁净室及其技术夹层和技术夹层内，应同时设置卤素和二氧化碳等灭火设施和消防供水系统.

对于设有贵重设备仪器或生产的火灾危险性大的洁净室，火灾发生时消防员难以进入救援的技术夹层和技术夹层等部位，应同时设置卤素代烷和二氧化碳等固定灭火装置和消防供水系统.，第7.1.1条工业气管干管应铺设在技术夹层、技术夹层内.

氢气和氧气管道应明亮铺设在技术夹层、技术夹层内时，应采取良好的措施.

引进洁净室的支管应明确涂抹.第7.1.2条高纯气体管道的设计，应符合以下要求.

一、根据计算确定管径，二、管道系统应尽量短，三、不应设置预约口，四、不应出现盲管等不易吹出的部位，五、干管和支管应设置吹出口，六、管道系统应设置必要的取样口.第7.1.3条穿过洁净室的墙壁和地板的气体管道，必须铺设在埋入管道内.

套管内的管段不得有焊接.

管道与套管之间应采取可靠的密封措施.第7.1.4条氢和氧管的末端或高处应设置散管.

放散管应高出屋脊1米，并置在防雷保护区.第7.1.5条气体净化装置应根据气源和生产技术对气体纯度的要求进行选择.

气体终端净化装置应设置在接近气点的地方.第7.1.6条气体过滤器应根据生产技术对气体含尘量的要求进行选择.

高纯度气体管道应设置高气体过滤器.第7.2.1条根据气体及其纯度和用途，配管材料应按照以下规定选择.

一、气体纯度大于或等于99.

99%时，应采用不锈钢管.

二、气体纯度大于或等于99.

99%时，应直接采用不锈钢管、铜管、无缝钢管.

三、气体纯度小于99.

99%时，可采用无缝钢管.

四、管道与设备的连接段，应采用金属管.

非金属管时，应采用四氟乙烯管、乙烯管，不得采用乳胶管.第7.2.2条高纯气体管道应采用密封性能好的阀门和附件，其材料适应管道.

阀门的密合圈应为有色金属、锈钢或聚四氟乙烯材料.

阀门的填充材料应采用聚四氟乙烯材料.第7.2.3条高纯气体管道与附件连接的密封垫应采用不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶材料.第7.3.1条管道连接应焊接.

高纯度气体管道应采用插座焊接.第7.3.2条管道与设备、阀门的连接处应采用法兰、螺纹或其他密封性能优良的连接件.

螺纹应用聚四氟乙烯带密封.第7.3.3条高纯气体管内的内壁、阀门和附件在设置前，必须进行清洗、脱脂等预处理.第7.4.1条工业气体管道设计的安全技术，一、氢气管道的支管和放散管应设置防火器，二、氢气和氧气管应设置、各种气管应设置明显标志.第7.4.2条清洁室内使用氢气时，应在室内设置警报装置.第7.4.3条各种气瓶应集中设置在清洁现场外.

当日用气量不超过一瓶时，气瓶可安装在洁净室内.，第8.1.1条清洁现场的电力负荷等级，必须根据生产技术的要求确定.

净化空调用电负荷、照明负荷，应由变电所专线供电.第8.1.2条电源线(不包括消防用电)应设置切断装置，应设置在非清洁区域容易管理的场所.第8.1.3条清洁室内配电设备，应选择不易积尘的设备，应暗装.

大型配电设备不应设置在洁净室内.第8.1.4条清洁室内的电线应暗敷，管材应采用非燃烧材料.

从非洁净区进入洁净区的电气管口，应采取可靠的密封措施.第8.2.1条清洁室内的照明光源，应采用荧光灯.

如果不不到照明设计的技术经济指标要求，也可以采用其他光源.第8.2.2条清洁室内一般照明灯应安装.

灯具嵌入天花板暗装时，其安装间隙应采取可靠的密封措施.

洁净室内不得采用格栅型照明器具.第8.2.3条无采光窗清洁区工作面照度值，不得低于表8.2.3的规定值.无照明窗清洁区工作面照度值表8.2.3，，第8.2.4条无照明窗清洁区混合照明中的一般照明，其照度值应按等级混合照明照度值的10-l5%采用，不得低于150勒克斯.第8.2.5条清洁现场应设置避难用事故照明.

应急安全出口和疏散通道拐角处应设置标志灯.

在专用消防口设置红色应急照明灯.第8.2.6条清洁室内一般照明的照明均匀度不得小于0.7.第8.3.1条清洁现场净化空气调节控制系统应满足生产技术对温度、湿度和正压的要求.

净化空调系统采用的电加热器，应设置无风断电保护.第8.3.2条清洁现场内应设置与现场内外联系的通信装置.第8.3.3条清洁现场(包括技术夹层)应单独或组合设置感温、感光、感烟等形式的火灾探测器.

报警器(受信台)应设置在值班场所，供电可靠.第8.3.4条清洁区应设置紧急按钮.

发生火灾危险时，请发出警报信号，同时切断鼓风机的电源.

，，，，洁净室空气清洁度测试，一、洁净室空气清洁度，应进行以下测试:(态测试、空气测试:洁净室完成，洁净空气调节系统正常运行，室内无工艺设备和生产人员静态测试:洁净室净化空气调节系统正常运行，技术设备安装，室内无生产人员测试.

(2)动态测试，洁净室在正常生产状态下测试.

二、洁净室风量、风速、正压、温度、湿度、噪音的检测，可按一般通用、空气调节的相关规定执行.

三、空态、静态测试、(一)测试前准备、1、彻底清洁洁洁净室及其净化空调系统.

2、采用光散射粒子计数器检测高效空气过滤器泄漏.

首先，测定高效空气过滤器上风侧静压箱内(或管道内)粒径在0.

5微米以上的尘粒数在30000粒以上/升以上.

如果不够的话，可以引进烟雾，开始检查泄漏.

颗粒计数器(或泄漏检测装置)的取样口距离高效空气过滤器2~3厘米，可以以2~4厘米/秒的速度移动，扫描高效空气过滤器的整个断面、封口和安装框架.

粒子计数器的读数在空气口大于0.

5微米的尘粒超过3粒/分钟时上升(或其穿透率超过0.

01‰)认为这个地方有明显的泄漏，必须堵塞.

(2)测试内容，1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排气量等，2、洁净室压力值3、层流洁净室断面风速和气流流动4、洁净工作区域的洁净度5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试6、洁净室内噪音.

(3)清洁工作区空气清洁度的测试方法，粒径在0.

5微米以上的尘粒计数，应采用光散射粒子计数法.

粒径在5微米以上的尘粒计数.

也可采用滤膜显微镜计数法.

光散射粒子计数法:1、光散射粒子计数器采样量，100级:每次采样量超过1升.

l，000级-l0，000级:每次取样量超过0.3升.10万级:每次取样量超过0.1升.对于100级洁净室，应采用大流量粒子计数器进行测试，如果没有条件，每次采样量可采用1升以上的粒子计数器.

2、采样注意事项，(1)采样管必须清洁，连接处不得泄漏.

(2)采样管的长度应根据仪器的允许长度.

没有规定时，不得超过1.5米.(3)采样管口的流速应接近洁净室断面的平均风速.

测试人员应在采样口下风侧.

(4)采样顺序应从含尘浓度低到高.

3、测量点的配置，(l)检查在清洁工作区域内进行.

生产技术没有特殊要求时，采样高度应离地面1米.

(2)层流洁净室测量点总数在20点以上，测量点间隔为0.5~2.0米，粒径在0.

5微米以上的尘粒数允许超过一点.

水平层流洁净室的测量点只配置在第一洁净工作区域.

(3)乱流洁净室可根据洁净面积小于50平方米配置5个测量点(附图2).

每增加20-50平方米，增加3-5个测量点.

4、数据整理(1)各测量点的数据整理应在测量仪器稳定运行的条件下连续三次取样，取其平均值，即该点的测量数值.

(2)决定大于或等于0.

5微米的尘粒数:层流洁净室取各测定点的最大值，乱流洁净室取各测定点的平均值.

(4)正压值测定应采用精度可达0.

01毫米水柱的微压计.

四、动态测试.

在清洁工作区域的操作场所选择具有代表性测量点的气流方向，测试方法与空态、静态测试相同.

，清洁现场生产的火灾危险性分类例如0#，清洁空气调节系统设计对施工的要求，一、管道、静压箱和附件的施工应满足以下要求:(一)施工现场应保持清洁.

管道及其附件、静压箱、空调器、技术三明治、机械室及其他设备、装置等的清扫作业应在施工的同时进行(2)管道、静压箱、附件等制作后，应保管在清扫、干燥的场所，采取防止灰尘堆积的措施(3)复合钢板、镀锌钢板制作的管道，加工、安装、施工过程中造成的损补充涂料(4)清扫、擦拭应选择不产尘、不产生纤维的工具和材料.

二、高效和亚高效空气过滤器的设置，必须满足以下要求:(一)土建工程、净化空调系统的初期效果、中期效果空气过滤器的设置完成，全系统必须在检查、擦拭、吹洗运行12小时后进行，(二)高效空气过滤器在设置时必须从保护袋中取出过滤纸破损、橡胶泄漏和外框变形的，不得安装(3)过滤器与安装框架之间，必须采取密封措施(4)过滤器安装到位后，必须进行泄漏检测和泄漏检测.

三、组装式清洁室、空气淋浴室、空气闸门室、馀压调节阀等净化设备和部件的设置，必须严格按照产品的设置、施工要求进行.

，净化空调系统设计对维护管理的要求，一、洁净室空气，应按附表5的规定监测，洁净室空气监测频率为附表5，1#，净化空调系统管壁厚管壁厚附表6，2#，本规范用语说明，一、执行本规范条文时，要求严格的用语说明如下，在执行中区别对待.

1、表承严格，必须这样制作不可或缺的词语.

正面词采用必要，反面词采用严禁.

2、表示严格，一般情况下应该使用这样的语正面词采用应，反面词采用不应或不应.

3、表示允许有一点选择，条件允许时，首先应该这样做的词:正面词采用合适或可，反面词采用不合适.

二、条文中明确记载了必须按照其他相关标准和规范执行的写法.没有必要.没有必要.必须按照指定的标准和规范执行的写法.

，，文章来源:http://www.

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com/，清洁现场设计规范GBJ73-4(清洁室设计标准)旧全文，文章来源:http://www.

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com/分钟2012年07月12日.

洁净车间规章制度

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